一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜的制作方法

本发明涉及光罩盒智能货柜技术，具体为一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜。

背景技术：

1、光罩盒，意为储存光罩的盒子，主要用于避免光罩遭受外部微尘粒子及化学污染；

2、现有技术中，放置在智能货柜内部货位模组位置处的光罩盒数量较多，每个光罩盒的工艺均不相同,工作人员在智能货柜内部进行某个光罩盒的查找并取出时，多采用人工查找的方式，光罩盒在智能货柜内部的位置较紧凑，且光罩盒形状大小均一致，不便于工作人员的查找，且该种查找方式易耗费较多的时间，不利于工作效率的提高；

3、针对上述技术问题，本申请提出一种解决方案。

技术实现思路

1、本发明的目的就在于通过光罩盒放置进入智能货柜内部的货位模组位置处时，货位模组内部的微动行程开关可在光罩盒放入且与之进行接触后，传递信号给智能货柜控制系统，控制系统传递信号给对应位置处的rfid读写器读取光罩盒外侧的贴片标签，读取的信息传递至工控机，使工作人员在进行光罩盒的查找时，仅需在工控机位置处输入对应光罩盒的maskid就能找到对应光罩盒在智能货柜内部的位置，无需工作人员人为进行查找，解决光罩盒智能货柜内部电子设备受粉尘影响较大，且安装后的光罩盒不便于工作人员后续检修操作的问题，而提出一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜。

2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜，包括货柜框架，所述货柜框架外侧壁四个方向上均连接有侧连接板，所述货柜框架前表面一侧连接有前连接板，所述货柜框架前表面另一侧转动连接有货柜前门，所述货柜框架下表面连接的侧连接板四个拐角位置处连接有移动轮，所述前连接板前表面上方连接有工控机，所述货柜框架内侧对应所述前连接板与所述货柜前门连接位置处连接有分隔框架，分隔框架外侧壁连接有分隔板，所述货柜框架内部对应所述货柜前门位置处均匀分布有四个分层板，所述货柜框架内部对应所述前连接板位置处均匀分布有两个分层板，所述货柜框架后表面两侧转动连接有货柜后门。

4、作为本发明的一种优选实施方式，靠近所述货柜前门位置处的四个所述分层板上表面均连接有若干个均匀分布的货位模组，所述货位模组内部中间位置处连接有光罩盒。

5、作为本发明的一种优选实施方式，靠近所述前连接板位置处的两个所述分层板上表面均连接有电气安装板，所述电气安装板上表面一侧均连接有电源，位于下方的所述电气安装板上表面靠近所述电源一侧连接有空气开关，且靠近空气开关位置处还连接有moxa连接设备。

6、作为本发明的一种优选实施方式，货位模组外侧壁一侧中间位置处连接有rfid读写器，所述货位模组后表面上方连接有pcb安装板。

7、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

8、光罩盒智能货柜内部在进行光罩盒的存取过程中，光罩盒放置进入智能货柜内部的货位模组位置处时，货位模组内部的微动行程开关可在光罩盒放入且与之进行接触后，传递信号给智能货柜控制系统，控制系统传递信号给对应位置处的rfid读写器读取光罩盒外侧的贴片标签，读取的信息传递至工控机，使工作人员在进行光罩盒的查找时，仅需在工控机位置处输入对应光罩盒的maskid就能找到对应光罩盒在智能货柜内部的位置，使得光罩盒查找更加的方便。

技术特征：

1.一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜，包括货柜框架(6)，所述货柜框架(6)外侧壁四个方向上均连接有侧连接板(4)，所述货柜框架(6)前表面一侧连接有前连接板(3)，所述货柜框架(6)前表面另一侧转动连接有货柜前门(1)，所述货柜框架(6)下表面连接的侧连接板(4)四个拐角位置处连接有移动轮(2)，所述前连接板(3)前表面上方连接有工控机(5)，其特征在于，所述货柜框架(6)内侧对应所述前连接板(3)与所述货柜前门(1)连接位置处连接有分隔框架，分隔框架外侧壁连接有分隔板(10)，所述货柜框架(6)内部对应所述货柜前门(1)位置处均匀分布有四个分层板(9)，所述货柜框架(6)内部对应所述前连接板(3)位置处均匀分布有两个分层板(9)，所述货柜框架(6)后表面两侧转动连接有货柜后门。

2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜，其特征在于，靠近所述货柜前门(1)位置处的四个所述分层板(9)上表面均连接有若干个均匀分布的货位模组(8)，所述货位模组(8)内部中间位置处连接有光罩盒(7)。

3.根据权利要求1所述的一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜，其特征在于，靠近所述前连接板(3)位置处的两个所述分层板(9)上表面均连接有电气安装板(12)，所述电气安装板(12)上表面一侧均连接有电源(11)，位于下方的所述电气安装板(12)上表面靠近所述电源(11)一侧连接有空气开关，且靠近空气开关位置处还连接有moxa连接设备。

4.根据权利要求2所述的一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜，其特征在于，所述货位模组(8)外侧壁一侧中间位置处连接有rfid读写器(14)，所述货位模组(8)后表面上方连接有pcb安装板(13)。

技术总结
本发明涉及光罩盒智能货柜技术，用于解决工作人员在众多智能货柜内部进行对应光罩盒的查找时，人工查找费时费力效率低的问题，具体为一种适用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜，包括货柜框架，所述货柜框架外侧壁四个方向上均连接有侧连接板；本发明通过光罩盒放置进入智能货柜内部的货位模组位置处时，货位模组内部的微动行程开关可在光罩盒放入且与之进行接触后，传递信号给智能货柜控制系统，控制系统传递信号给对应位置处的RFID读写器读取光罩盒外侧的贴片标签，读取的信息传递至工控机，使工作人员在进行光罩盒的查找时，仅需在工控机位置处输入对应光罩盒的MaskID就能找到对应光罩盒在智能货柜内部的位置，查找更加的方便。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：无锡芯享信息科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/17