一种智能化半导体固定传输装置的制作方法

本发明涉及半导体加工，具体为一种智能化半导体固定传输装置。

背景技术：

1、半导体加工用输送装置是一种在半导体加工生产线上使用的设备，其作用是将半导体晶圆或其他加工材料从一个处理站点传送到另一个处理站点。这些输送装置通常使用机械臂、传送带和运输箱等设备来实现自动化的传送过程。在半导体制造中，输送装置非常重要，因为它们可以大大提高制造效率和准确性。通过使用自动化输送装置，可以避免制造过程中可能引入的人为错误，并且可以保持制造环节的一致性和精准度。在半导体加工生产线中，输送装置需要遵循严格的控制参数和安全标准。例如，在传送过程中必须避免任何形式的污染，以保证制造出的半导体器件符合高质量的标准。同时，输送装置还需要与其他设备进行同步操作，以确保整个生产线的稳定性和高效性。

2、现有的半导体产品在进行传输时，通常为人工或机器手臂进行拿取转移，人工拿持上料的方式工作效率底下，同时还容易对产品造成损伤，机械手臂上料的方式则投入较大，设备操作的技术要求较高。为此提出一种智能化半导体固定传输装置。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术不足，本发明提供了一种智能化半导体固定传输装置，解决了：现有的半导体产品在进行传输时，通常为人工或机器手臂进行拿取转移，人工拿持上料的方式工作效率底下，同时还容易对产品造成损伤，机械手臂上料的方式则投入较大，设备操作的技术要求较高的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种智能化半导体固定传输装置，包括传输台和安装在传输台上的送料机构，所述传输台的顶面开设有传输槽且传输槽的内部设置有输送带，输送带贯穿送料机构，输送带的表面等距安装有若干个固定机构，所述传输槽的内部且位于输送带的内侧安装有送气机构；

5、所述送料机构包括送料架和压板，所述送料架的表面中部开设有料槽且料槽内镶嵌连接有夹料机构；

6、所述夹料机构包括底座和安装在底座顶面两侧的夹块，所述夹块的侧壁上开设有夹槽且夹槽的开口方向与输送带的移动方向一致，夹块的顶面均匀安装有连接管，连接管的端部、夹块的侧壁、底座的顶面均开设有清洁孔，底座的底部安装有进气机构；

7、所述送气机构包括导气板、安装在导气板两侧壁上的导气管和安装在传输台内部的气泵，气泵的输出端与导气管连接，导气板的顶面均匀安装有若干个齿牙，齿牙的顶面开设有出气孔且出气孔与导气管相连通。

8、作为本发明的进一步优选方式，所述送料架的表面下方开设有取料孔且通过取料孔套设在输送带上，送料架的两侧壁上安装有伸缩缸且伸缩缸的伸缩杆上端与压板连接。

9、作为本发明的进一步优选方式，所述进气机构包括安装板和固定在安装板两侧的连接柱，连接柱为中空结构且上端贯穿输送带并与底座的底部连接，连接柱的内部与清洁孔相连通。

10、作为本发明的进一步优选方式，所述安装板的表面开设有安装槽且安装槽内安装有三组齿轮，齿轮为中空结构且表面开设有进气孔，齿轮的轴端安装有轴杆。

11、作为本发明的进一步优选方式，所述齿轮与齿牙啮合连接，且齿轮表面的进气孔与齿牙表面出气孔相连通。

12、作为本发明的进一步优选方式，所述轴杆与连接柱转动连接，轴杆的表面且位于连接柱的内部开设有通孔。

13、作为本发明的进一步优选方式，所述夹料机构包括两个夹板和连接板，两个夹板的对立面上开设有固定槽，连接板共设置两组且两端分别与夹板的对立面固定连接，固定槽的内部和连接板的表面均安装有防滑垫。

14、作为本发明的进一步优选方式，所述送料架的表面且位于取料孔的上方安装有托板，托板呈l型结构且表面与最下端的夹料机构贴合连接。

15、(三)有益效果

16、本发明提供了一种智能化半导体固定传输装置。具备以下有益效果：

17、本发明，在需要对产品进料的时候可以预先将产品放置在送料机构中，小型产品可通过夹料机构夹持后再放入送料机构，输送带在持续转动的过程中其表面的固定机构通过取料孔来拾取料槽中的物料，物料嵌入到固定机构的夹槽中进行夹持输送，输送后可将物料从输送带移动的方向将物料从固定机构上取下，可持续送料，相较人工和机械手送料具有较强的稳定性、可控性，其使用的技术要求低，便于操作，同时在输送过程中还能够对产品表面进行清洁、烘干和除尘。

技术特征：

1.一种智能化半导体固定传输装置，包括传输台(1)和安装在传输台(1)上的送料机构(2)，其特征在于：所述传输台(1)的顶面开设有传输槽且传输槽的内部设置有输送带(4)，输送带(4)贯穿送料机构(2)，输送带(4)的表面等距安装有若干个固定机构(3)，所述传输槽的内部且位于输送带(4)的内侧安装有送气机构(5)；

2.根据权利要求1所述的一种智能化半导体固定传输装置，其特征在于：所述送料架(9)的表面下方开设有取料孔(13)且通过取料孔(13)套设在输送带(4)上，送料架(9)的两侧壁上安装有伸缩缸(10)且伸缩缸(10)的伸缩杆(8)上端与压板(7)连接。

3.根据权利要求1所述的一种智能化半导体固定传输装置，其特征在于：所述进气机构包括安装板(25)和固定在安装板(25)两侧的连接柱(23)，连接柱(23)为中空结构且上端贯穿输送带(4)并与底座(18)的底部连接，连接柱(23)的内部与清洁孔(22)相连通。

4.根据权利要求3所述的一种智能化半导体固定传输装置，其特征在于：所述安装板(25)的表面开设有安装槽且安装槽内安装有三组齿轮(26)，齿轮(26)为中空结构且表面开设有进气孔，齿轮(26)的轴端安装有轴杆(24)。

5.根据权利要求4所述的一种智能化半导体固定传输装置，其特征在于：所述齿轮(26)与齿牙(16)啮合连接，且齿轮(26)表面的进气孔与齿牙(16)表面出气孔(17)相连通。

6.根据权利要求4所述的一种智能化半导体固定传输装置，其特征在于：所述轴杆(24)与连接柱(23)转动连接，轴杆(24)的表面且位于连接柱(23)的内部开设有通孔。

7.根据权利要求1所述的一种智能化半导体固定传输装置，其特征在于：所述夹料机构(6)包括两个夹板(27)和连接板(28)，两个夹板(27)的对立面上开设有固定槽(30)，连接板(28)共设置两组且两端分别与夹板(27)的对立面固定连接，固定槽(30)的内部和连接板(28)的表面均安装有防滑垫(29)。

8.根据权利要求1所述的一种智能化半导体固定传输装置，其特征在于：所述送料架(9)的表面且位于取料孔(13)的上方安装有托板(12)，托板(12)呈l型结构且表面与最下端的夹料机构(6)贴合连接。

技术总结
本发明公开了一种智能化半导体固定传输装置，包括传输台和安装在传输台上的送料机构，传输台的顶面开设有传输槽且传输槽的内部设置有输送带，输送带贯穿送料机构。本发明在需要对产品进料的时候可以预先将产品放置在送料机构中，小型产品可通过夹料机构夹持后再放入送料机构，输送带在持续转动的过程中其表面的固定机构通过取料孔来拾取料槽中的物料，物料嵌入到固定机构的夹槽中进行夹持输送，输送后可将物料从输送带移动的方向将物料从固定机构上取下，可持续送料，相较人工和机械手送料具有较强的稳定性、可控性，其使用的技术要求低，便于操作，同时在输送过程中还能够对产品表面进行清洁、烘干和除尘。

技术研发人员：倪志苗
受保护的技术使用者：江苏圣捷集科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15