一种宽幅钼板靶成型轧制用转料机构的制作方法

本技术涉及靶材加工，具体为一种宽幅钼板靶成型轧制用转料机构。

背景技术：

1、由钼制备的溅射靶材已广泛应用于电子部件和电子产品中，如薄膜半导体管-液晶显示器、等离子显示器、场发射显示器、触摸屏，还可用于太阳能电池的背电极、玻璃镀膜等领域。作为钼行业新兴的高端产品，钼溅射靶材的技术含量高，纯度高、相对密度高、晶粒细小均匀。

2、宽幅钼靶材生产工段的工艺流程为：烧结板坯—加热—热轧—退火—矫平—探伤—水切—机加工—表面抛磨—产品检测—真空包装—入库。目前，在热轧过程中，需要利用转料机构对钼板坯进行多个道次的纵向、横向间换向轧制，以控制产品尺寸以及降低钼板的各向异性并提高其加工性能。但是现有的转料机构转料步骤为：液压升高—旋转—降低复位，导致转向时间长；而金属钼的塑性变形温度范围窄，转料时间越长会导致钼板材失温越多，不利于钼板材的换向轧制，从而降低其内部晶粒的破碎效果，并且无法降低钼板的各向异性。

3、因此，本申请提供一种宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，用于解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，可以对板材进行输送和转向，对板材进行转向时速度快，能够避免钼板材失温过多，有助于钼板材的换向轧制，方便对钼板材内部晶粒进行破碎，有利于降低钼板材的各向异性，从而提高钼板材质量，使用方便，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，包括安装架，所述安装架的上表面四个边角均上下滑动设置有输送模块，且四个输送模块按物料输送方向分为对称且平行设置两组输送模组，且每组输送模组的中部设有驱动模块，两个输送模组之间对称设置有两个用于使板材转动的转向模块，转向模块上下滑动设置在安装架上。

3、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述输送模块和驱动模块均包括若五个呈十字型分布且输送方向一致的轮毂电机，所述驱动模块的轮毂电机直接安装安装架上。

4、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述输送模块还包括上下滑动设置在安装架上的固定座，所述输送模块轮毂电机安装在固定座上，所述转向模块与输送模块结构相同。

5、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装架的下表面设有对输送模块和转向模块高度进行调节的调节机构，所述调节机构包括调节板，所述调节板的中部转动设置有安装在安装架上的固定轴，所述调节板的两侧均开设有条形孔，且条形孔的内部活动穿插有连接轴，且其中一根连接轴安装在输送模块中固定座的底部，另一根连接轴安装在转向模块中固定座的底部，且两组输送模组中同一方向的输送模块分别通过不同的调节板与同一个转向模块中固定座的底部连接，所述转向模块中固定座的底部设有电动推杆。

6、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装架的上表面中部设有均匀分布且可以滚动的滚珠。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

8、本实用新型示例的宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，电动推杆伸长后带动转向模块上移，转向模块、调节板、和输送模块组成了以连接轴为支点的杠杆，转向模块上移时调节板带动输送模块下移，此时转向模块、驱动模块和滚珠对板材进行支撑，并且转向模块、驱动模块用于对板材进行转向操作。

9、本实用新型示例的宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，可以对板材进行输送和转向，对板材进行转向时速度快，能够避免钼板材失温过多，有助于钼板材的换向轧制，方便对钼板材内部晶粒进行破碎，有利于降低钼板材的各向异性，从而提高钼板材质量，使用方便。

技术特征：

1.一种宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，包括安装架（1），其特征在于：所述安装架（1）的上表面四个边角均上下滑动设置有输送模块，且四个输送模块按物料输送方向分为对称且平行设置两组输送模组，且每组输送模组的中部设有驱动模块，两个输送模组之间对称设置有两个用于使板材转动的转向模块，转向模块上下滑动设置在安装架（1）上。

2.根据权利要求1所述的宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，其特征在于：所述输送模块和驱动模块均包括若五个呈十字型分布且输送方向一致的轮毂电机（3），所述驱动模块的轮毂电机（3）直接安装安装架（1）上。

3.根据权利要求2所述的宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，其特征在于：所述输送模块还包括上下滑动设置在安装架（1）上的固定座（2），所述输送模块轮毂电机（3）安装在固定座（2）上，所述转向模块与输送模块结构相同。

4.根据权利要求3所述的宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，其特征在于：所述安装架（1）的下表面设有对输送模块和转向模块高度进行调节的调节机构，所述调节机构包括调节板（4），所述调节板（4）的中部转动设置有安装在安装架（1）上的固定轴（5），所述调节板（4）的两侧均开设有条形孔，且条形孔的内部活动穿插有连接轴（41），且其中一根连接轴安装在输送模块中固定座（2）的底部，另一根连接轴安装在转向模块中固定座（2）的底部，且两组输送模组中同一方向的输送模块分别通过不同的调节板与同一个转向模块中固定座（2）的底部连接，所述转向模块中固定座（2）的底部设有电动推杆（6）。

5.根据权利要求1所述的宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，其特征在于：所述安装架（1）的上表面中部设有均匀分布且可以滚动的滚珠（7）。

技术总结
本技术公开了一种宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，包括安装架，所述安装架的上表面四个边角均上下滑动设置有输送模块，且四个输送模块按物料输送方向分为对称且平行设置两组输送模组，且每组输送模组的中部设有驱动模块，两个输送模组之间对称设置有两个用于使板材转动的转向模块，转向模块上下滑动设置在安装架上。该宽幅钼板靶成型轧制用转料机构，可以对板材进行输送和转向，对板材进行转向时速度快，能够避免钼板材失温过多，有助于钼板材的换向轧制，方便对钼板材内部晶粒进行破碎，有利于降低钼板材的各向异性，从而提高钼板材质量，使用方便。

技术研发人员：单鹏,黄飞虎,王淑辉
受保护的技术使用者：洛阳汇晶新材料科技有限公司
技术研发日：20230224
技术公布日：2024/1/12