一种掩膜版自动仓储装置的制作方法

本技术属于掩膜版加工领域，更具体说涉及一种掩膜版自动仓储装置。

背景技术：

1、光刻掩膜版(photomask)也称光罩或mask，是一种用于微电子制造过程中的图形转移工具或模版。通过曝光、显影以及蚀刻等工序，在玻璃铬版上制作需要的微观图形，主要应用于微电子平版印刷。在整个光刻掩膜版的制作流程大致分为铬版清洗，光刻胶涂布，烘烤，膜厚测量，光刻，显影，蚀刻，脱膜清洗，镜面清洗，缺陷检查，cd测量，tp测量，缺陷修补等环节。

2、目前随着自动化生产线的高度普及，掩膜版的生产也开始走向自动化、无人化，全程由机器人进行掩膜版的搬运、传输。但是在掩膜版诸多生产环节当中，有的环节完成一张掩膜版作业所需的时间很短，有些环节完成一张掩膜版作业所需的时间却很长，这样就会造成产品的堆积而造成生产线的拥堵。现阶段为了缓解拥堵问题只有两种方案，一种是人为的将拥堵环节的掩膜版从产线下料装入中转盒中，等待不拥堵时再将该装盒的掩膜版人为的上料继续加工生产，但是这种方法的缺点是人在抬掩膜版的过程中，会将其弄脏，增加清洗难度和后端测量的准确性，而且有摔落报废的风险。另一种方案是增加生产设备，这种方法的缺点是成本会增加。基于现阶段生产的需求，发明一种能够自动存取掩膜版的掩膜版自动仓储装置，能够解决工序的产品堆积拥堵问题，同时也能避免对产品造成污染问题就显得尤为重要。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种掩膜版自动仓储装置，实现自动对掩膜版进行全自动移动、搬运、上下料和存储，解决掩膜版生产中因不同工序之间加工时间不同造成掩膜版剩余需要人工暂存问题，解决掩膜版上料下料中转中被污染的问题。

2、本实用新型技术方案一种掩膜版自动仓储装置，包括暂存料架和向暂存料架取放掩膜版的取料机构，所述暂存料架包括料架本体和设置在所述料架本体上的若干放版工位；所述放版工位沿料架本体高度方向设置有若干层，沿料架本体长度方向设置有若干个，沿料架本体宽度方向设置有一层；所述放版工位上沿料架本体宽度方向设置有第一螺杆，所述第一螺杆上连接有第一移动座，所述第一移动座上固接有第一夹持组件；

3、所述取料机构包括沿料架本体长度方向设置的导向板，所述导向板上设置有移动架，所述移动架上设置有第二夹持组件；

4、所述第一夹持组件沿料架本体宽度方向移动，向取料机构侧靠近，第二夹持组件向第一夹持组件上取放掩膜版。

5、优选地，所述放版工位上，料架本体上固接有固定架，沿料架本体宽度方向，所述固定架两端延伸出料架本体，所述第一螺杆两端分别与所述固定架两端连接；所述第一螺杆远离取料机构侧连接有第一电机；

6、所述固定架上还设置有与所述第一螺杆平行的第一导杆，所述第一导杆两端分别与所述固定架两端固接；

7、优选地，所述第一夹持组件包括与所述第一移动座固接的第一安装板，所述第一安装板远离第一移动座的侧面上设置有第一固定夹爪和第一升降夹爪，所述第一固定夹爪设置在所述第一安装板底边沿位置，所述第一升降夹爪与所述第一固定夹爪相对设置且位于第一固定夹爪上方并连接有第一升降组件。

8、优选地，沿料架本体宽度方向，第一安装板宽度大第一移动座宽度；所述第一固定夹爪和所述第一升降夹爪均设置有两个，沿料架本体宽度方向，两第一固定夹爪和两第一升降夹爪分别设置在第一安装板两侧。

9、优选地，所述第一安装板远离第一移动座的侧面上设置有第一避让槽，所述第一升降组件设置在所述第一避让槽内；所述第一升降组件包括呈竖向设置的第二螺杆和第二导杆，所述第二螺杆顶部固接有第二电机，两第一升降夹爪之间连接有第一连接板，第一连接板置于所述第一避让槽内，且第二螺杆和第二导杆穿过所述第一连接板。

10、优选地，所述料架本体包括底框、顶框和固接在底框与顶框之间的立柱；沿料架本体长度方向，所述立柱设置数量与放版工位竖向相适应；固定架与所述立柱固接。

11、优选地，所述导向板包括底板和设置在所述底板上表面上的第一导轨和第三螺杆，所述第一导轨和所述第三螺杆均沿料架本体长度方向设置，所述第三螺杆穿过所述移动架，所述移动架底部设置有与所述第一导轨相适应的导槽；所述第三螺杆一端连接有第三电机。

12、优选地，沿料架本体长度方向，移动架一侧面上设置有第二导轨和第四螺杆，所述第二导轨和第四螺杆上连接有升降座，所述第二夹持组件与所述升降座远离移动架的侧面固接。

13、优选地，所述第二夹持组件包括与所述升降座固接的第二安装板，所述第二安装板远离升降座的侧面上设置有第二固定夹爪和第二升降夹爪，所述第二固定夹爪设置在所述第二安装板底边沿位置，所述第二升降夹爪与所述第二固定夹爪相对设置且位于第二固定夹爪上方并连接有第二升降组件；

14、所述第二固定夹爪和所述第二升降夹爪均设置有两个，沿料架本体宽度方向，两第二固定夹爪和两第二升降夹爪分别设置在第二安装板两侧；

15、所述第二安装板远离升降座的侧面上设置有第二避让槽，所述第二升降组件设置在所述第二避让槽内；所述第二升降组件包括呈竖向设置的第五螺杆和第五导杆，所述第五螺杆顶部固接有第五电机，两第二升降夹爪之间连接有第二连接板，第二连接板置于所述第二避让槽内，且第五螺杆和第五导杆穿过所述第二连接板。

16、优选地，第一固定夹爪、第二固定夹爪、第一升降夹爪和第二升降夹爪横截面均呈“凹”字状，在第一升降夹爪和第二升降夹爪的内顶面上分别设置有压力传感器；各放版工位上均设置有掩膜版感应器。

17、本实用新型技术方案一种掩膜版自动仓储装置的有益效果是：

18、1、通过设置暂存料架实现对掩膜版进行暂存，通过取料机构实现掩膜版搬运机器人与暂存料架之间的对接，实现自动向暂存料架上取放掩膜版，避免人工搬运掩膜版上下料导致掩膜版污染或损坏的问题。

19、2、暂存料架的设置，使得掩膜版呈竖向放置，占据空间小，同时有效的降低了灰尘在掩膜版上的降落。

技术特征：

1.一种掩膜版自动仓储装置，其特征在于，包括暂存料架和向暂存料架取放掩膜版的取料机构，所述暂存料架包括料架本体和设置在所述料架本体上的若干放版工位；所述放版工位沿料架本体高度方向设置有若干层，沿料架本体长度方向设置有若干个，沿料架本体宽度方向设置有一层；所述放版工位上沿料架本体宽度方向设置有第一螺杆，所述第一螺杆上连接有第一移动座，所述第一移动座上固接有第一夹持组件；

2.根据权利要求1所述的掩膜版自动仓储装置，其特征在于，所述放版工位上，料架本体上固接有固定架，沿料架本体宽度方向，所述固定架两端延伸出料架本体，所述第一螺杆两端分别与所述固定架两端连接；所述第一螺杆远离取料机构侧连接有第一电机；

3.根据权利要求1所述的掩膜版自动仓储装置，其特征在于，所述第一夹持组件包括与所述第一移动座固接的第一安装板，所述第一安装板远离第一移动座的侧面上设置有第一固定夹爪和第一升降夹爪，所述第一固定夹爪设置在所述第一安装板底边沿位置，所述第一升降夹爪与所述第一固定夹爪相对设置且位于第一固定夹爪上方并连接有第一升降组件。

4.根据权利要求3所述的掩膜版自动仓储装置，其特征在于，沿料架本体宽度方向，第一安装板宽度大第一移动座宽度；所述第一固定夹爪和所述第一升降夹爪均设置有两个，沿料架本体宽度方向，两第一固定夹爪和两第一升降夹爪分别设置在第一安装板两侧。

5.根据权利要求4所述的掩膜版自动仓储装置，其特征在于，所述第一安装板远离第一移动座的侧面上设置有第一避让槽，所述第一升降组件设置在所述第一避让槽内；所述第一升降组件包括呈竖向设置的第二螺杆和第二导杆，所述第二螺杆顶部固接有第二电机，两第一升降夹爪之间连接有第一连接板，第一连接板置于所述第一避让槽内，且第二螺杆和第二导杆穿过所述第一连接板。

6.根据权利要求1所述的掩膜版自动仓储装置，其特征在于，所述料架本体包括底框、顶框和固接在底框与顶框之间的立柱；沿料架本体长度方向，所述立柱设置数量与放版工位竖向相适应；固定架与所述立柱固接。

7.根据权利要求1所述的掩膜版自动仓储装置，其特征在于，所述导向板包括底板和设置在所述底板上表面上的第一导轨和第三螺杆，所述第一导轨和所述第三螺杆均沿料架本体长度方向设置，所述第三螺杆穿过所述移动架，所述移动架底部设置有与所述第一导轨相适应的导槽；所述第三螺杆一端连接有第三电机。

8.根据权利要求1所述的掩膜版自动仓储装置，其特征在于，沿料架本体长度方向，移动架一侧面上设置有第二导轨和第四螺杆，所述第二导轨和第四螺杆上连接有升降座，所述第二夹持组件与所述升降座远离移动架的侧面固接。

9.根据权利要求8所述的掩膜版自动仓储装置，其特征在于，所述第二夹持组件包括与所述升降座固接的第二安装板，所述第二安装板远离升降座的侧面上设置有第二固定夹爪和第二升降夹爪，所述第二固定夹爪设置在所述第二安装板底边沿位置，所述第二升降夹爪与所述第二固定夹爪相对设置且位于第二固定夹爪上方并连接有第二升降组件；

10.根据权利要求1所述的掩膜版自动仓储装置，其特征在于，第一固定夹爪、第二固定夹爪、第一升降夹爪和第二升降夹爪横截面均呈“凹”字状，在第一升降夹爪和第二升降夹爪的内顶面上分别设置有压力传感器；各放版工位上均设置有掩膜版感应器。

技术总结
本技术公开了一种掩膜版自动仓储装置，包括暂存料架和取料机构，暂存料架包括料架本体和设置在料架本体上的若干放版工位；放版工位沿料架本体高度方向设置有若干层，沿料架本体长度方向设置有若干个，沿料架本体宽度方向设置有一层；放版工位上沿料架本体宽度方向设置有第一螺杆，第一螺杆上连接有第一移动座，第一移动座上固接有第一夹持组件；取料机构包括沿料架本体长度方向设置的导向板，导向板上设置有移动架，移动架上设置有第二夹持组件；第一夹持组件沿料架本体宽度方向移动，向取料机构侧靠近，第二夹持组件向第一夹持组件上取放掩膜版；本技术的掩膜版自动仓储装置，实现自动对掩膜版进行全自动移动、搬运、上下料和存储。

技术研发人员：魏晖
受保护的技术使用者：合肥清溢光电有限公司
技术研发日：20230404
技术公布日：2024/1/13