一种自动切换料盒组件的制作方法

本技术涉及半导体制造，具体涉及一种自动切换料盒组件。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，目前随着各项技术的发展，晶圆激光切割机对产品进行切割后，去除了人工取料放入料盒的工序，即通过摆盘机械手完成晶粒放料的工作，但现有摆盘机械手在进行晶粒摆放时，通常在摆满一个料盒后，需要人工及时更换空料盒来实现后续晶粒的摆放，因此每台设备前都需要占用至少一个人工，从而多台设备的使用易使用人较多，成本较大，且虽一人可同时管理多个设备，并对多个设备进行跟换料盒，但长时间下人工易出现时间差，导致料盒更换不及时，造成产品的堆叠，并且还会造成人工劳动强度大。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种自动切换料盒组件，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

3、一种自动切换料盒组件，包括支撑台，所述支撑台的顶部固定安装有龙门架，所述龙门架的顶部设置有横向直线滑台模组，所述横向直线滑台模组上设置有夹持组，且所述支撑台的表面贯穿开设有上料口和下料口，所述上料口的底部设有第一支撑架，所述第一支撑架上安装有上料机构，且所述下料口的底部设有第二支撑架，所述第二支撑架上安装有下料机构；

4、所述上料机构包括连接于第一支撑架上的稳固板、安装于稳固板上的伺服电缸以及连接于伺服电缸输出端的托板，且所述托板的底部连接有导杆，所述导杆的另一端活动贯穿于稳固板。

5、优选的，所述夹持组包括连接于横向直线滑台模组的第一座板、安装于第一座板上的纵向直线滑台模组、连接于纵向直线滑台模组上的第二座板以及安装于第二座板上的夹爪气缸，所述夹爪气缸的两输出端分别连接有固定板，所述固定板上固定安装有夹爪。

6、优选的，所述支撑台的顶部安装有若干固定件，若干所述固定件沿上料口的外沿均匀设置，且所述固定件上固定安装有限位杆。

7、优选的，所述支撑台的顶部设置有导向板，所述导向板贴合于下料口的内侧壁。

8、优选的，所述夹爪的内侧壁开设有卡口。

9、通过采用上述技术方案，本实用新型所取得的有益效果为：

10、本实用新型中，通过横向直线滑台模组的工作配合纵向直线滑台模组的工作，使得夹爪气缸工作后夹爪能够将托板上最顶端的空料盒夹持，继而随着横向直线滑台模组和纵向直线滑台模组的工作，空料盒能够被放置在导向板的内侧，期间下料机构可做抬升工作，促使下料机构将空料盒托住；基于此，空料盒再被取走后，上料机构可使托板抬升保证空料盒处于最高处，而空料盒被摆满时能够跟随下料机构进行下落，从而下料机构上能够一次性放置多个满料盒，减少人工频繁更换料盒的问题，便于多台设备能够被一人管理，降低一定的成本。

技术特征：

1.一种自动切换料盒组件，包括支撑台(1)，其特征在于：所述支撑台(1)的顶部固定安装有龙门架(2)，所述龙门架(2)的顶部设置有横向直线滑台模组(3)，所述横向直线滑台模组(3)上设置有夹持组，且所述支撑台(1)的表面贯穿开设有上料口(4)和下料口(5)，所述上料口(4)的底部设有第一支撑架(6)，所述第一支撑架(6)上安装有上料机构(8)，且所述下料口(5)的底部设有第二支撑架(7)，所述第二支撑架(7)上安装有下料机构(9)；

2.根据权利要求1所述的一种自动切换料盒组件，其特征在于，所述夹持组包括连接于横向直线滑台模组(3)的第一座板(10)、安装于第一座板(10)上的纵向直线滑台模组(11)、连接于纵向直线滑台模组(11)上的第二座板(12)以及安装于第二座板(12)上的夹爪气缸(13)，所述夹爪气缸(13)的两输出端分别连接有固定板(14)，所述固定板(14)上固定安装有夹爪(15)。

3.根据权利要求1所述的一种自动切换料盒组件，其特征在于，所述支撑台(1)的顶部安装有若干固定件(16)，若干所述固定件(16)沿上料口(4)的外沿均匀设置，且所述固定件(16)上固定安装有限位杆(17)。

4.根据权利要求1所述的一种自动切换料盒组件，其特征在于，所述支撑台(1)的顶部设置有导向板(18)，所述导向板(18)贴合于下料口(5)的内侧壁。

5.根据权利要求2所述的一种自动切换料盒组件，其特征在于，所述夹爪(15)的内侧壁开设有卡口(19)。

技术总结
本技术涉及半导体制造技术领域，具体为一种自动切换料盒组件，包括支撑台，所述支撑台的顶部固定安装有龙门架，所述龙门架的顶部设置有横向直线滑台模组，所述横向直线滑台模组上设置有夹持组，且所述支撑台的表面贯穿开设有上料口和下料口。本技术通过横向直线滑台模组配合纵向直线滑台模组的工作，使得夹爪能够对空料盒进行夹持，并放置在下料机构上被托住，由此，空料盒再被取走时，上料机构可使托板抬升保证空料盒处于最高处，而空料盒被摆满时能够跟随下料机构进行下落，从而下料机构上能够一次性放置多个满料盒，减少人工频繁更换料盒的问题，便于多台设备能够被一人管理，降低一定的成本。

技术研发人员：王森光
受保护的技术使用者：苏州市超越研创智能装备有限公司
技术研发日：20230421
技术公布日：2024/1/15