一种无污染的物料充装系统的制作方法

本技术属于具体涉及一种无污染的物料充装系统。

背景技术：

1、半导体工艺形成二氧化硅氧化层的方法主要有热氧化(针对能形成自身稳定氧化层的半导体材料)、低压化学气相淀积(lpcvd)、等离子增强化学气相淀积(pecvd)和常压化学气相淀积(apcvd)等，其中由于常压化学气相淀积(apcvd)要求的气流量大，且工艺产生颗粒相对较多，目前大多数半导体工艺已很少使用。

2、正硅酸乙酯(teos)用于低压化学气相淀积(lpcvd)时，正硅酸乙酯(teos)从液态蒸发成气态，在700～750℃、300mtor压力下分解在硅片表面淀积生成二氧化硅薄膜，二氧化硅薄膜沉积的速率可以达到50à/min，薄膜的厚度均匀性小于3％，这些优良的工艺特性和其在使用安全性方面的显著特点已逐步成为沉积二氧化硅薄膜的主流工艺。

3、应用正硅酸乙酯(teos)低压化学气相淀积(lpcvd)技术实现二氧化硅在sic晶片表面的淀积，可在一定程度上弥补sic氧化层过薄和等离子增强化学气相淀积(pecvd)二氧化硅层过于疏松的弊端。采用正硅酸乙酯(teos)低压化学气相淀积(lpcvd)技术与高温氧化技术的合理运用，既保证了氧化层介质的致密性和与sic晶片的粘附能力，又提高了器件的电性能和成品率，同时避免了为获得一定厚度氧化层长时间高温氧化的不足。采用此技术后，sic芯片的直流成品率得到提高，微波功率器件的对比流片结果显示微波性能也得到了明显的提升,功率增益比原工艺提高了1.5db左右，功率附加效率提升了近10％。

4、目前市场在对9n电子级正硅酸乙酯(teos)质量要求极高，从生产到充装到使用，中间任何二次污染带来的质量影响都是很高。但是现有的充装工艺在充装过程中，容易对teos造成二次污染，故一种污染且高效的充装系统亟待提出。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种无污染的物料充装系统。

2、为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

3、本实用新型公开一种无污染的物料充装系统，包括：置于充装工位的电子秤、待充装的充装罐、承有清洗液的清洗罐、充有氮气的氮气罐、装有物料的物料存储罐、对充装罐内的物料进行分析的分析仪以及控制设备；

4、清洗罐通过第一管路与充装罐的进液口连接，且在第一管路上安装有至少一个第一控制阀和至少一个清洗泵；

5、氮气罐通过第二管路与充装罐的进气口连接，且在第二管路上安装有至少一个第二控制阀；

6、物料存储罐通过第三管路与充装罐的进料口连接，且在第三管路上安装有至少一个第三控制阀和至少一个充装泵；

7、分析仪通过第四管路与充装罐的出液口连接，且在第四管路上安装有至少一个第四控制阀和液体探测器，液体探测器用于探测第四管路内是否有液体；

8、第四管路还与排液管连接；

9、电子秤用于采集充装罐的实时重量值；

10、控制设备分别与电子秤、第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀、第四控制阀、清洗泵、充装泵、分析仪以及液体探测器通信连接。

11、本实用新型公开一种无污染的物料充装系统，包括：电子秤、充装罐、清洗罐、氮气罐、物料存储罐、分析仪以及控制设备。本实用新型利用电子秤对充装罐进行实时称重，采集实时重量值。在充装前，利用清洗罐和氮气罐对充装罐内部进行清洗，保证其内部清洁，在充装后，利用分析仪对充装罐内的物料进行分析，保证充装罐充装的物料符合要求。

12、本实用新型具有以下有益效果：

13、第一，利用控制设备对各控制阀和泵进行控制，实现自动充装，充装效率高。

14、第二，充装过程，不与外界接触，无污染。

15、在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

16、作为优选的方案，物料充装系统具有多个充装工位，每个充装工位处均设有一个电子秤。

17、采用上述优选的方案，实现多个充装罐同时进行充装，充装效率高。

18、作为优选的方案，充装罐的底部安装有导向装置，导向装置用于将充装罐运输至对应充装工位的电子秤上。

19、采用上述优选的方案，便于充装罐的运输。

20、作为优选的方案，液体探测器安装于第四管路上靠近充装罐出液口的位置。

21、采用上述优选的方案，更精准的探测充装罐内是否残留有液体。

22、作为优选的方案，控制设备上安装有显示屏，显示屏用于显示充装罐的实时重量值、分析仪的分析值以及充装压力值。

23、采用上述优选的方案，便于充装人员更直观的观察物料的充装情况。

24、作为优选的方案，在充装工位处还安装有火光探测仪，火光探测仪与控制设备通信连接。

25、采用上述优选的方案，利用火光探测仪探测充装工位是否有火光，保证充装流程的安全。

26、作为优选的方案，在充装工位处还安装有烟感探测仪，烟感探测仪与控制设备通信连接。

27、采用上述优选的方案，利用烟感探测仪探测充装工位是否有烟雾，保证充装流程的安全。

28、作为优选的方案，在充装工位处还安装有温感探测仪，温感探测仪与控制设备通信连接。

29、采用上述优选的方案，利用温感探测仪探测充装工位的环境温度，防止火灾发生，保证充装流程的安全。

30、作为优选的方案，第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀、第四控制阀均为气动隔膜阀。

31、采用上述优选的方案，零部件采集便捷。

技术特征：

1.一种无污染的物料充装系统，其特征在于，包括：置于充装工位的电子秤、待充装的充装罐、承有清洗液的清洗罐、充有氮气的氮气罐、装有物料的物料存储罐、对充装罐内的物料进行分析的分析仪以及控制设备；

2.根据权利要求1所述的物料充装系统，其特征在于，所述物料充装系统具有多个充装工位，每个充装工位处均设有一个电子秤。

3.根据权利要求1所述的物料充装系统，其特征在于，所述充装罐的底部安装有导向装置，所述导向装置用于将充装罐运输至对应充装工位的电子秤上。

4.根据权利要求1所述的物料充装系统，其特征在于，所述液体探测器安装于所述第四管路上靠近所述充装罐出液口的位置。

5.根据权利要求1所述的物料充装系统，其特征在于，所述控制设备上安装有显示屏，所述显示屏用于显示充装罐的实时重量值、分析仪的分析值以及充装压力值。

6.根据权利要求1所述的物料充装系统，其特征在于，在充装工位处还安装有火光探测仪，所述火光探测仪与控制设备通信连接。

7.根据权利要求1所述的物料充装系统，其特征在于，在充装工位处还安装有烟感探测仪，所述烟感探测仪与控制设备通信连接。

8.根据权利要求1所述的物料充装系统，其特征在于，在充装工位处还安装有温感探测仪，所述温感探测仪与控制设备通信连接。

9.根据权利要求1所述的物料充装系统，其特征在于，所述第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀、第四控制阀均为气动隔膜阀。

技术总结
本技术公开一种无污染的物料充装系统，包括：电子秤、充装罐、清洗罐、氮气罐、物料存储罐、分析仪以及控制设备；清洗罐通过第一管路与充装罐的进液口连接，且在第一管路上安装有第一控制阀和清洗泵；氮气罐通过第二管路与充装罐的进气口连接，且在第二管路上安装有第二控制阀；物料存储罐通过第三管路与充装罐的进料口连接，且在第三管路上安装有第三控制阀和充装泵；分析仪通过第四管路与充装罐的出液口连接，且在第四管路上安装有第四控制阀和液体探测器，液体探测器用于探测第四管路内是否有液体；第四管路还与排液管连接；电子秤用于采集充装罐的实时重量值。本技术可以实现无污染的自动充装，充装效率高。

技术研发人员：徐浩,刘孝春,周康健
受保护的技术使用者：金宏气体股份有限公司
技术研发日：20230512
技术公布日：2024/1/15