具有多段式开关门的存储柜及设备维护推车的制作方法

本技术涉及半导体加工领域，尤其涉及一种具有多段式开关门的存储柜及设备维护推车。

背景技术：

1、半导体设备维护推车目前均为2-3层，部分推车设计了存储柜，但是带柜子的推车开门方式为外开，在一些狭小的空间中无法开柜门，并且也不能很好的针对特定设备耗材做有序存放。

2、因此需要设计一种具有多段式开关门的存储柜及设备维护推车，可以在狭小的空间中开关柜门，并且实现对耗材有序存放的目的。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是提供一种具有多段式开关门的存储柜及设备维护推车，可以实现在狭小的空间中开关柜门的目的，并且对耗材做到有序存放。

2、为了解决上述问题，本实用新型提供了一种具有多段式开关门的存储柜，所述存储柜包括相对的第一侧面与第二侧面，以及位于所述第一侧面与所述第二侧面之间的第三侧面；所述多段式开关门包括：第一门扇，设置于所述第一侧面，所述第一门扇的一侧与门框转动连接，所述第一门扇的宽度与所述门框的侧边宽度相同；第二门扇，设置于所述第一侧面，所述第二门扇与所述第一门扇转动连接，所述第二门扇的宽度小于所述第一门扇和所述门框的宽度之和，并且所述第二门扇的宽度小于所述第三侧面的宽度。

3、在一些实施例中，所述第一门扇表面设置有把手。

4、在一些实施例中，所述第二门扇以及所述门框的对应位置处均设置有吸附块，当所述第二门扇与所述门框贴合时，所述第二门扇的吸附块与所述门框的吸附块相吸附，使得所述多段式开关门半开；所述第三侧面的对应位置处设置有吸附块，当所述第二门扇与所述第三侧面贴合时，所述第二门扇的吸附块与所述第三侧面的吸附块相吸附，使得所述多段式开关门完全打开。

5、在一些实施例中，所述吸附为磁性吸附。

6、在一些实施例中，所述多段式开关门设置为多个。

7、在一些实施例中，所述存储柜内部为多层。

8、为了解决上述问题，本实用新型提供了一种设备维护推车，所述设备维护推车包括具有多段式开关门的存储柜；所述具有多段式开关门的存储柜采用本实用新型所述的具有多段式开关门的存储柜。

9、在一些实施例中，所述设备维护推车上表面为开放区域。

10、在一些实施例中，所述设备维护推车上表面设置有多个凹槽，所述多个凹槽用于放置多个收纳桶。

11、在一些实施例中，所述设备维护推车还包括两个推手，所述两个推手分别设置于垂直于所述推车的第一侧面的两侧。

12、以上技术方案，设置所述第二门扇的宽度小于所述第一门扇和门框的宽度之和，可以在仅打开第二门扇的时候，使所述第二门扇完全与所述第一门扇和门框相贴合；设置所述第二门扇的宽度小于所述多段式开关门所在的第一侧面到与其相背离的第二侧面的距离，可以在打开第二门扇的基础上继续打开第一门扇，使得所述第一门扇完全打开翻折至所述门框表面相贴合，所述第二门扇翻折至所述存储柜的侧面并贴合。可以实现在狭小的空间中开关柜门的目的，并且对耗材做到有序存放。

13、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。

技术特征：

1.一种具有多段式开关门的存储柜，其特征在于，所述存储柜包括相对的第一侧面与第二侧面，以及位于所述第一侧面与所述第二侧面之间的第三侧面；所述多段式开关门包括：

2.根据权利要求1所述的具有多段式开关门的存储柜，其特征在于，所述第二门扇表面设置有把手。

3.根据权利要求1所述的具有多段式开关门的存储柜，其特征在于，所述第二门扇以及所述门框的对应位置处均设置有吸附块，当所述第二门扇与所述门框贴合时，所述第二门扇的吸附块与所述门框的吸附块相吸附，使得所述多段式开关门半开；

4.根据权利要求3所述的具有多段式开关门的存储柜，其特征在于，所述吸附为磁性吸附。

5.根据权利要求1所述的具有多段式开关门的存储柜，其特征在于，所述第一侧面设置有多个所述多段式开关门。

6.根据权利要求1所述的具有多段式开关门的存储柜，其特征在于，所述存储柜内部为多层。

7.一种设备维护推车，其特征在于，所述设备维护推车包括权利要求1～6任一项所述的具有多段式开关门的存储柜。

8.根据权利要求7所述的设备维护推车，其特征在于，所述设备维护推车上表面为开放区域。

9.根据权利要求7所述的设备维护推车，其特征在于，所述设备维护推车上表面设置有多个凹槽，所述多个凹槽用于放置多个收纳桶。

10.根据权利要求7所述的设备维护推车，其特征在于，所述设备维护推车还包括两个推手，所述两个推手分别设置于垂直于所述推车的第一侧面的两侧。

技术总结
本技术提供了一种具有多段式开关门的存储柜及设备维护推车。所述存储柜包括相对的第一侧面与第二侧面，以及位于所述第一侧面与所述第二侧面之间的第三侧面；所述多段式开关门包括：第一门扇，所述第一门扇的一侧与门框转动连接，所述第一门扇的宽度与所述门框的侧边宽度相同；第二门扇，所述第二门扇与所述第一门扇转动连接，所述第二门扇的宽度小于所述第一门扇和门框的宽度之和，并且所述第二门扇的宽度小于所述多段式开关门所在的第一侧面到与其相背离的第二侧面的距离。以上技术方案，可以实现在狭小的空间中开关柜门的目的，并且对耗材做到有序存放。

技术研发人员：杨俊男,闫晓晖
受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司
技术研发日：20230515
技术公布日：2024/1/15