一种辊道结构及其链式清洗设备的制作方法

本技术涉及半导体清洁领域，具体涉及一种辊道结构及其链式清洗设备。

背景技术：

1、如图1所示，为现有技术的用于半导体清洗领域的传动辊的剖视图，其采用实心工程塑料制成，单体重量大，并且传动辊两端不便于拆装，维护时从布满腐蚀性液体的槽体中取出较为困难。因此，对现有技术的传动辊进行结构调整，设计一种重量更轻，平整性好，并且也便于安装和拆卸的传动辊是必要的。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种辊道结构及其链式清洗设备，以解决上述问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种辊道结构，包括：支架和若干传动辊，所述传动辊两端分别与所述支架的两侧壁转动连接；

3、所述支架上间隔开设有若干嵌插口；其中

4、所述传动辊依次嵌插在各所述嵌插口内。

5、进一步地，所述传动辊一端的端头处套设有一嵌入式插件，所述嵌入式插件与所述嵌插口相对应；以及

6、所述传动辊与所述嵌入式插件转动连接；其中

7、安装时，所述传动辊通过所述嵌入式插件依次嵌插在各所述嵌插口内。

8、进一步地，所述传动辊上固定设置有一传动部，所述传动部包括套设在所述传动辊端头处的轴承套和固定设置在所述传动辊端头处的传动齿轮；

9、所述传动齿轮设置在所述轴承套外侧；

10、所述嵌入式插件外套在所述轴承套外壁；其中

11、所述传动齿轮转动时，所述传动齿轮带动所述传动辊同步转动。

12、进一步地，所述传动辊远离所述传动齿轮的一端的端头设置有从动部，所述从动部与所述传动辊的端头转动连接；

13、所述从动部包括外套在所述传动辊的端头上的辊轴承和设置在所述辊轴承外侧的卡箍；

14、所述传动辊的端头上开设有一卡槽，所述卡箍可拆卸的套设在所述卡槽内。

15、进一步地，所述传动辊包括辊体和辊面，所述辊体设置在所述辊面内侧；以及

16、所述辊面沿长度方向等间距开设有若干吸附槽。

17、进一步地，所述辊体由铝管制成，所述辊面由pp材质或者pvdf材质制成。

18、进一步地，所述辊体由不锈钢制成，所述辊面由pp材质或者pvdf材质制成。

19、此外，本实用新型还提供了一种链式清洗设备，包括上述的一种辊道结构，

20、所述辊道结构固定设置在一蚀刻槽上，所述蚀刻槽内装有蚀刻液，所述辊面部分浸没在蚀刻液内。

21、相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：1、通过设置嵌入式插件使得传动辊可嵌入式安装在支架上，使安装更便捷。2、在两端端头设置耐磨性优良的轴承，提高耐磨性，增加传动辊的使用寿命。3、通过将传动辊棍体材料变为铝管或者不锈钢材料，能够减轻传动辊的重量，减小支架变形导致传动辊的水平偏差，造成电池片过刻的异常。

技术特征：

1.一种辊道结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种辊道结构，其特征在于，

3.如权利要求2所述的一种辊道结构，其特征在于，

4.如权利要求3所述的一种辊道结构，其特征在于，

5.如权利要求1所述的一种辊道结构，其特征在于，

6.如权利要求5所述的一种辊道结构，其特征在于，

7.如权利要求5所述的一种辊道结构，其特征在于，

8.一种链式清洗设备，包括如权利要求4、6或7所述的一种辊道结构，其特征在于，

技术总结
本技术涉及半导体清洁领域，具体涉及一种辊道结构及其链式清洗设备。本技术提供了一种辊道结构，包括：支架和传动辊，所述传动辊两端分别与所述支架的两侧壁转动连接；所述支架上间隔开设有若干嵌插口。所述传动辊依次嵌插在各所述嵌插口内。通过设置嵌入式插件使得传动辊可嵌入式安装在支架上，使安装更便捷。在两端端头设置耐磨性优良的轴承，提高耐磨性，增加传动辊的使用寿命。通过将传动辊材料变为铝管或者不锈钢材料，能够减轻传动辊的重量，减小支架变形导致传动辊的水平偏差，造成电池片过刻的异常。

技术研发人员：左国军,刘洪勇,陈强,万红朝
受保护的技术使用者：常州捷佳创精密机械有限公司
技术研发日：20230615
技术公布日：2024/1/15