柔性震动盘供料装置的制作方法

本技术涉及晶圆芯片供料设备，尤其涉及一种柔性震动盘供料装置。

背景技术：

1、散装芯片需要人工摆盘，生产效率低、消耗人力、品质不稳定、易造成二次污染。

2、现有技术中，cn202121817030.3，一种晶圆高精度自动供料装置，其供料结构抓取的精度不高，且对设备要求高，设备成本高。

3、因此有必要设计一种柔性震动盘供料装置来解决以上问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是，提供一种柔性震动盘供料装置，以克服目前现有技术存在的上述不足。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种柔性震动盘供料装置，其包括驱动吸取模组、设置在所述驱动吸取模组下方的送料模组，所述送料模组包括直震供料模组、以及承接于所述直震供料模组的柔性震动模组，所述柔性震动模组包括第二安装架、设置在所述第二安装架底板上的音圈电机模组、设置在所述音圈电机模组传动端上的盖板以及安装在所述盖板上的料盘。

4、优选的，所述直震供料模组包括第一安装架、设置在所述第一安装架上的直震电机、设置在所述直震电机上的出料仓，所述出料仓的出料口设置于所述料盘的上方。

5、优选的，所述驱动吸取模组包括y轴直线电机模组、受所述y轴直线电机模组驱动的x轴安装底座、水平安装在所述x轴安装底座上的x轴直线电机模组、受所述x轴直线电机模组驱动的驱动板、安装在所述驱动板上的ccd识别单元和真空吸附单元。

6、优选的，所述ccd识别单元包括ccd相机安装座、设置在所述ccd相机安装座上的ccd检测相机、设置在所述ccd检测相机下方的同轴光源。

7、优选的，所述真空吸附单元包括安装在所述驱动板上的滑轨、设置在所述滑轨顶端的驱动件、通过滑块可滑动安装在滑轨上且受驱动件驱动的真空吸附安装块、安装在所述真空吸附安装块上的z轴旋转马达、受所述z轴旋转马达驱动的真空吸嘴。

8、本实用新型的有益效果是：本技术方案将直震供料模组和柔性震动模组结合使用，先通过直震供料模组缓慢进行上料，传输至柔性震动模组后，通过柔性震动模组使得料盘内的物料震动，可将散料的芯片平铺在料盘内，再配合驱动吸取模组精准的将产品吸取，并转移到下一工位，解决传统振动盘解决不了的超小薄片类、易刮擦损伤类、异形零件上料无法分选的痛点问题，更契合自动化中的小批量、多品种的柔性生产需要，能够快速更换产品型号，适用于不同产品。

技术特征：

1.一种柔性震动盘供料装置，其包括驱动吸取模组、设置在所述驱动吸取模组下方的送料模组，其特征在于：所述送料模组包括直震供料模组、以及承接于所述直震供料模组的柔性震动模组，所述柔性震动模组包括第二安装架、设置在所述第二安装架底板上的音圈电机模组、设置在所述音圈电机模组传动端上的盖板以及安装在所述盖板上的料盘。

2.根据权利要求1所述的一种柔性震动盘供料装置，其特征在于：所述直震供料模组包括第一安装架、设置在所述第一安装架上的直震电机、设置在所述直震电机上的出料仓，所述出料仓的出料口设置于所述料盘的上方。

3.根据权利要求1所述的一种柔性震动盘供料装置，其特征在于：所述驱动吸取模组包括y轴直线电机模组、受所述y轴直线电机模组驱动的x轴安装底座、水平安装在所述x轴安装底座上的x轴直线电机模组、受所述x轴直线电机模组驱动的驱动板、安装在所述驱动板上的ccd识别单元和真空吸附单元。

4.根据权利要求3所述的一种柔性震动盘供料装置，其特征在于：所述ccd识别单元包括ccd相机安装座、设置在所述ccd相机安装座上的ccd检测相机、设置在所述ccd检测相机下方的同轴光源。

5.根据权利要求3所述的一种柔性震动盘供料装置，其特征在于：所述真空吸附单元包括安装在所述驱动板上的滑轨、设置在所述滑轨顶端的驱动件、通过滑块可滑动安装在滑轨上且受驱动件驱动的真空吸附安装块、安装在所述真空吸附安装块上的z轴旋转马达、受所述z轴旋转马达驱动的真空吸嘴。

技术总结
本技术涉及晶圆芯片供料设备技术领域，尤其涉及一种柔性震动盘供料装置。其包括驱动吸取模组、设置在所述驱动吸取模组下方的送料模组，所述送料模组包括直震供料模组、以及承接于所述直震供料模组的柔性震动模组。本技术的有益之处：本技术方案将直震供料模组和柔性震动模组结合使用，先通过直震供料模组缓慢进行上料，传输至柔性震动模组后，通过柔性震动模组使得料盘内的物料震动，可将散料的芯片平铺在料盘内，解决传统振动盘解决不了的超小薄片类、易刮擦损伤类、异形零件上料无法分选的痛点问题，更契合自动化中的小批量、多品种的柔性生产需要，能够快速更换产品型号，适用于不同产品。

技术研发人员：刘金杰,廖茂密
受保护的技术使用者：昆山普杰科特半导体有限公司
技术研发日：20230615
技术公布日：2024/1/15