晶棒输送托盘的制作方法

本技术涉及晶棒运输，特别是一种晶棒输送托盘。

背景技术：

1、晶棒在制备完成后需要进行多项检测才能够并送入切片机内加工形成硅片。在相关现有技术中，主要以人工或搬运托盘等方式将晶棒搬运至各个检测平台和切片机上。

2、但是，人工搬运的搬运效率较低，劳动强度较大；而搬运托盘的稳定性及可靠性较差，晶棒在运输过程中容易被磨损，或者在托盘上发生滚动甚至掉落，存在安全隐患。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种晶棒输送托盘，该晶棒输送托盘能够提高晶棒运输的稳定性及可靠性。

2、本实用新型提供一种晶棒输送托盘，包括：底座；支撑件，所述支撑件为多个，且沿预设方向间隔布置于所述底座；以及，加强筋，所述加强筋为两个，且沿所述预设方向分别设置于所述支撑件的两侧，全部的所述支撑件均通过所述加强筋与所述底座固定；其中，每个所述支撑件均设有v型支撑槽，多个所述v型支撑槽共同形成沿所述预设方向延伸并用于支撑晶棒的支撑通道；所述加强筋包括相互连接呈l型的第一加强段及第二加强段，所述第一加强段与所述支撑件连接，所述第二加强段与所述底座连接。

3、上述晶棒输送托盘中，晶棒能够沿预设方向相对于支撑件滑动上下料，当晶棒稳定于支撑件上时，晶棒输送托盘能够带动晶棒滑动至各检测区域以及切割区域内，以对晶棒进行各项检测和切片。在晶棒输送托盘上设置多个支撑件能够缩短单个支撑件的长度，便于加工支撑件，提高支撑件的加工精度。由于支撑件是通过两侧的加强筋与底座固定的，因此能够便于用户装配支撑件，保证支撑件的装配精度；并且，加强筋还能够保证多个支撑件始终沿预设方向间隔布置，不会相对于底座发生偏移，l型的加强筋能够在提升强度的同时减少材料用量，第二加强段与底座连接能够保证加强筋的稳定性及可靠性；第一加强段与支撑件之间的接触面积较大，从而能够提高加强筋的支撑效果，保证支撑件的稳定性及可靠性，保证支撑通道始终沿预设方向延伸，晶棒位于支撑通道内时不容易被磨损。同时，支撑件的v型支撑槽还能够防止晶棒相对于支撑件滚动或掉落，从而保证晶棒在运输过程中的稳定性及可靠性，降低安全隐患。

4、在其中一个实施例中，沿所述预设方向，所述支撑件的两侧均设有卡槽，所述第一加强段卡设于所述卡槽内。

5、如此设置，卡槽与第一加强段配合能够进一步增大第一加强段与支撑件之间的接触面积，提高第一加强段的支撑效果，从而提高支撑件的稳定性。

6、在其中一个实施例中，所述晶棒输送托盘还包括两个把手，沿所述预设方向，两个所述把手间隔设置于所述底座的两端。

7、如此设置，把手能够便于用户搬运晶棒输送托盘或手动控制晶棒输送托盘滑动，提高操作的便利性。

8、在其中一个实施例中，所述把手设有与所述v型支撑槽对应的避让槽，所述避让槽的底壁设有第一缓冲件。

9、如此设置，避让槽就能够避免把手过高而干扰晶棒滑动上下料，第一缓冲件能够在晶棒滑动上下料的过程中对晶棒起到缓冲作用，避免晶棒与避让槽的底壁发生碰撞而损坏。

10、在其中一个实施例中，所述把手包括相互固定呈l型的安装部及把手部，所述安装部与所述底座连接，所述把手部设有抓握槽。

11、如此设置，l型的把手能够在提升强度的同时减少材料用量，安装部与底座连接能够保证把手的稳定性及可靠性；抓握槽能够便于用户抓握把手，避免出现打滑等现象而导致晶棒输送托盘掉落，提高晶棒输送托盘使用的安全性。

12、在其中一个实施例中，所述底座包括层叠设置的第一底板及第二底板，所述支撑件设置于所述第一底板背离所述第二底板的一面；所述第一底板设置为pvc板，所述第二底板设置为钢板。

13、如此设置，pvc板具有良好的耐腐蚀性、绝缘性和阻燃性，并且pvc板的硬度大、强度高，从而能够保证底座的强度硬度，保证晶棒运输的安全性及可靠性。钢板能够进一步提高底座的强度，保证晶棒输送托盘在滑动过程中具有足够的摩擦力和支撑强度。

14、在其中一个实施例中，所述晶棒输送托盘还包括支撑板，每个所述v型支撑槽上均设有两个所述支撑板，两个所述支撑板分别设置于所述v型支撑槽的两侧壁，所述支撑板设置为尼龙件。

15、如此设置，由于尼龙件的强度高，回弹性及耐磨性较好，因此支撑板能够在保证支撑强度的同时，避免晶棒被磨损，并且还能够延长支撑件的使用寿命。

16、在其中一个实施例中，所述晶棒输送托盘还包括设置于所述底座的标签，所述标签用于标定位于所述支撑件上的所述晶棒的信息。

17、如此设置，能够通过标签与外部识别系统配合实现晶棒与外部计算机之间的数据交互。

18、在其中一个实施例中，所述晶棒输送托盘还包括多个间隔设置于所述底座的侧壁的第二缓冲件。

19、如此设置，第二缓冲件能够对底座起到缓冲作用，避免晶棒受到较大的冲击力而损坏，保证晶棒能够在晶棒输送托盘上平稳运输。

20、在其中一个实施例中，所述晶棒输送托盘还包括多个间隔设置于所述底座的侧壁的导向轮。

21、如此设置，导向轮使得晶棒输送托盘能够轻松地滑动，不容易发生卡死等现象。

技术特征：

1.一种晶棒输送托盘，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶棒输送托盘，其特征在于，沿所述预设方向，所述支撑件（2）的两侧均设有卡槽（22），所述第一加强段（31）卡设于所述卡槽（22）内。

3.根据权利要求1所述的晶棒输送托盘，其特征在于，所述晶棒输送托盘还包括两个把手（4），沿所述预设方向，两个所述把手（4）间隔设置于所述底座（1）的两端。

4.根据权利要求3所述的晶棒输送托盘，其特征在于，所述把手（4）设有与所述v型支撑槽（21）对应的避让槽（41），所述避让槽（41）的底壁设有第一缓冲件（42）。

5.根据权利要求3所述的晶棒输送托盘，其特征在于，所述把手（4）包括相互固定呈l型的安装部（43）及把手部（44），所述安装部（43）与所述底座（1）连接，所述把手部（44）设有抓握槽（441）。

6.根据权利要求1所述的晶棒输送托盘，其特征在于，所述底座（1）包括层叠设置的第一底板（11）及第二底板（12），所述支撑件（2）设置于所述第一底板（11）背离所述第二底板（12）的一面；

7.根据权利要求1所述的晶棒输送托盘，其特征在于，所述晶棒输送托盘还包括支撑板（8），每个所述v型支撑槽（21）上均设有两个所述支撑板（8），两个所述支撑板（8）分别设置于所述v型支撑槽（21）的两侧壁，所述支撑板（8）设置为尼龙件。

8.根据权利要求1所述的晶棒输送托盘，其特征在于，所述晶棒输送托盘还包括设置于所述底座（1）的标签（5），所述标签（5）用于标定位于所述支撑件（2）上的所述晶棒的信息。

9.根据权利要求1所述的晶棒输送托盘，其特征在于，所述晶棒输送托盘还包括多个间隔设置于所述底座（1）的侧壁的第二缓冲件（6）。

10.根据权利要求1所述的晶棒输送托盘，其特征在于，所述晶棒输送托盘还包括多个间隔设置于所述底座（1）的侧壁的导向轮（7）。

技术总结
本技术涉及一种晶棒输送托盘，涉及晶棒运输技术领域，包括底座、支撑件及加强筋，支撑件为多个，且沿预设方向间隔布置于底座，加强筋为两个，且沿预设方向分别设置于支撑件的两侧，全部的支撑件均通过加强筋与底座固定；每个支撑件均设有V型支撑槽，多个V型支撑槽共同形成沿预设方向延伸并用于支撑晶棒的支撑通道；加强筋包括相互连接呈L型的第一加强段及第二加强段，第一加强段与支撑件连接，第二加强段与底座连接。加强筋能够便于用户装配支撑件，提高支撑件的稳定性及可靠性，保证支撑通道沿预设方向延伸，V型支撑槽能够防止晶棒滚动甚至掉落，从而保证晶棒在运输过程中的稳定性及可靠性，降低安全隐患。

技术研发人员：闫利军,张斌,任腾飞,王宇,袁帅,白恒忠,吴兴平,张志雄,张宏宇,赵志磊
受保护的技术使用者：内蒙古盛欧机电工程有限公司
技术研发日：20230721
技术公布日：2024/1/15