一种载板缓存组件、装置及太阳能电池镀膜设备的制作方法

本申请涉及太阳能电池生产，尤其涉及一种载板缓存装置及太阳能电池镀膜设备。

背景技术：

1、太阳能电池在制造过程中一般需要pvd(physical vapor deposition，物理气相沉积)工序对硅片进行处理，在pvd的工艺流程中，上料机将装有硅片的载板输送到进料室，然后装有硅片的载板依次经过镀膜工艺腔室、出料室，最后由下料机下料。

2、为避免下料机或者下料机的下游设备出现故障后，载板在镀膜工艺腔室和出料室内堆积，一般会在pvd工序中的出料室和下料机之间设置载板缓存装置。在下料机或者下料机的下游设备故障期间，出料室的载板可以被运输至缓存装置进行缓存。

3、但是，现有技术中的缓存装置，缓存动作复杂，影响pvd工艺流程中出料室的出料效率。且现有的缓存装置在缓存载板时是用传送带传送载板的，传送带表面容易摩擦积粉，不易清理。

技术实现思路

1、本申请提供一种载板缓存组件、装置及太阳能电池镀膜设备，以解决上述的至少一个技术问题。本申请实施例所提供的技术方案具体如下：

2、第一方面，本申请提供一种载板缓存组件，所述载板缓存组件包括：

3、基架，设置有滑轨；

4、载板缓存架，包括连接件和若干层载板支撑架，所述连接件移动设置于所述滑轨，若干层所述载板支撑架沿所述滑轨的延伸方向层层平行等距设置于所述连接件上；

5、驱动机构，与所述连接件连接，可以驱动所述载板缓存架沿所述滑轨的延伸方向移动。

6、在一些实施方式中，所述载板支撑架包括安装件和若干设置于所述安装件的传送辊；

7、若干所述传送辊沿与所述滑轨的延伸方向垂直的方向排列设置。

8、在一些实施方式中，所述载板支撑架还包括若干转轴和若干传动轮；

9、所述转轴，转动设置于所述安装件，所述传送辊设置于所述转轴的一端；

10、所述传动轮，设置于所述转轴的另一端，且所述传动轮和所述传送辊位于所述安装件相对的两侧。

11、在一些实施方式中，所述载板支撑架还包括导正轮；

12、所述导正轮转动设置于所述安装件，用于沿所述转轴的中心轴线方向引导待缓存载板与所述传送辊配合，所述导正轮的转动轴线方向与所述转轴的中心轴线方向垂直。

13、在一些实施方式中，沿所述传送辊的排列方向，每相邻的两个所述传送辊之间均至少设置一个所述导正轮。

14、在一些实施方式中，所述安装件设置有安装轴，所述导正轮转动设置于所述安装轴的一端；

15、当所述载板支撑架还包括若干转轴和若干传动轮，所述安装轴贯穿所述安装件设置，所述安装轴的另一端转动设置有张紧辊，在所述传送辊的排列方向上，所述安装轴位于相邻两个所述转轴之间，且在垂直于所述传送辊的排列方向上，所述安装轴偏离相邻两个所述转轴的中心轴线所在的平面。

16、在一些实施方式中，所述安装件为u型或c型，所述传动轮位于所述安装件中。

17、在一些实施方式中，所述连接件包括连接板和与所述滑轨配合的滑块，所述连接板的一侧连接所述滑块，相对的另一侧连接若干所述载板支撑架。

18、第二方面，本申请还提供了一种载板缓存装置，所述载板缓存装置包括两组任一如上所述的载板缓存组件，两组所述载板缓存组件的载板支撑架相对设置。

19、第三方面，本申请还提供一种太阳能电池镀膜设备，所述太阳能电池镀膜设备包括镀膜加工室组和如上所述的载板缓存装置，所述镀膜加工室组包括沿载板输送方向依次设置的进料室、镀膜工艺腔室和出料室，所述载板缓存装置用于设置于所述镀膜加工室组的出料室的一侧。

20、本申请实施方式的有益效果是：本申请提供的载板缓存组件，载板缓存架移动设置于基架上，并在载板缓存架上沿载板缓存架的移动方向层层平行等距设置若干层载板支撑架。使用时，可以设置两组载板缓存组件，两组载板缓存组件设置载板支撑架的一侧相对设置，待缓存载板设置于两组载板缓存组件之间。通过载板缓存组件的驱动机构驱动整个载板缓存架上下移动，从而在需要对出料的载板进行缓存时，移动载板缓存架使载板缓存架上的一层载板支撑架与出料载板的位置对应。待载板进入该层载板支撑架后，继续移动载板缓存架，使载板缓存架上的另一层载板支撑架与下一出料的载板对应。

21、可见，使用本申请提供的载板缓存组件缓存载板的过程中，在载板进入对应层的载板支撑架后，通过驱动载板缓存架上下移动即可对下一出料的载板进行缓存，在载板缓存组件的缓存动作简单，从而在pvd工艺流程中，当下料机或者下料机的下游设备出现故障时，可以在较短的时间内完成载板的存储动作，节省载板缓存时间，起到平衡节拍和抑制工艺腔室堵转的作用，保障出料室的出料效率，从而提升整体的生产效率。

22、此外，本申请提供的载板缓存组件，载板支撑架包括传送辊，载板支撑架通过传送辊输送载板，当载板与传送辊配合的侧边为u型槽，载板与传送辊摩擦产生的粉尘可以由u型槽的下边收集，方便粉尘的清理。

技术特征：

1.一种载板缓存组件，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的载板缓存组件，其特征在于，所述载板支撑架包括安装件和若干设置于所述安装件的传送辊；

3.如权利要求2所述的载板缓存组件，其特征在于，所述载板支撑架还包括若干转轴和若干传动轮；

4.如权利要求3所述的载板缓存组件，其特征在于，所述载板支撑架还包括导正轮；

5.如权利要求4所述的载板缓存组件，其特征在于，沿所述传送辊的排列方向，每相邻的两个所述传送辊之间均至少设置一个所述导正轮。

6.如权利要求5所述的载板缓存组件，其特征在于，所述安装件设置有安装轴，所述导正轮转动设置于所述安装轴的一端；

7.如权利要求3-6任一项所述的载板缓存组件，其特征在于，所述安装件为u型或c型，所述传动轮位于所述安装件中。

8.如权利要求1所述的载板缓存组件，其特征在于，所述连接件包括连接板和与所述滑轨配合的滑块，所述连接板的一侧连接所述滑块，相对的另一侧连接若干所述载板支撑架。

9.一种载板缓存装置，其特征在于，包括两组权利要求权1-8任一项所述的载板缓存组件，两组所述载板缓存组件的载板支撑架相对设置。

10.一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于，包括镀膜加工室组和权利9所述的载板缓存装置，所述镀膜加工室组包括沿载板输送方向依次设置的进料室、镀膜工艺腔室和出料室，所述载板缓存装置设置于所述镀膜加工室组的出料室的一侧。

技术总结
本申请提供一种载板缓存组件、装置及太阳能电池镀膜设备，涉及太阳能电池生产技术领域。载板缓存组件包括基架、载板缓存架和驱动机构，其中基架具有滑轨；载板缓存架包括连接件和若干层载板支撑架，连接件移动设置于滑轨，若干层载板支撑架沿滑轨的延伸方向层叠设置于连接件；驱动机构与连接件连接，用于驱动载板缓存架沿滑轨的延伸方向移动。使用时，通过驱动机构驱动载板缓存架上的一层载板支撑架与出料的载板位置对应，待载板进入该层载板支撑架上后，移动载板缓存架使另一层载板支撑架与下一出料的载板对应，在缓存过程中，载板进入对应层载板支撑架后，驱动载板缓存架上下移动即可对下一出料的载板进行缓存，动作简单，缓存效率高。

技术研发人员：马胜涛,蔡涔,许明现,于永峰,吴天祥
受保护的技术使用者：东方日升（江苏）新能源有限公司
技术研发日：20230825
技术公布日：2024/3/17