一种靶材烧结垫片的自动布料装置的制作方法

本技术涉及靶材烧结，具体涉及一种靶材烧结垫片的自动布料装置。

背景技术：

1、氧化铟锡(i to)靶材，是一种用于磁控溅射镀膜的靶材材料，用于镀制透明导电的i to膜，广泛应用于显示屏、触摸屏、太阳能电池等领域。i to靶材的纯度要求99.99％以上。所以在烧结窑内烧结时，需要用高纯的垫片支撑，避免其直接与承烧板接触。

2、烧结垫片在承烧板上的铺设是一项精细且工程体量较大的工序，需要将烧结垫片均匀地呈矩形阵列地铺设在承烧板上，目前主要还是通过人工铺设烧结垫片，人工铺设很难将烧结垫片均匀地呈矩形阵列地铺设在承烧板上，且人工成本高、效率低、易损坏烧结垫片，因此，亟需一种靶材烧结垫片的自动布料装置。

技术实现思路

1、为了解决人工铺设烧结垫片的不足，本实用新型提供一种靶材烧结垫片的自动布料装置，能够自动快速的将不同尺寸的烧结垫片均匀地呈矩形阵列地铺设在承烧板上。

2、本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种靶材烧结垫片的自动布料装置，包括矩形支架，所述矩形支架一侧安装有驱动机构，所述矩形支架内安装有两根横向螺纹杆，所述驱动机构可驱动两根所述横向螺纹杆同步转动，两根所述横向螺纹杆之间设置有吊框和铺设机构，所述吊框内固定安装有两根竖向滑杆，两根所述竖向滑杆上活动设置有多个用于叠放烧结垫片的放置盒，所述放置盒左侧具有开口，所述放置盒内设置有推动机构，所述推动机构用于将叠放的烧结垫片逐个推送至所述开口处，所述铺设机构用于将所述开口处的烧结垫片逐个铺设至承烧板表面。

4、作为本实用新型进一步的方案：所述铺设机构包括相对套设于两个所述横向螺纹杆上的两个滑座，两个所述滑座底部均设置有竖板，两个所述竖板之间活动设置调节轴，所述调节轴一端固定连接一号电机，所述调节轴外周对称设置两个一号伸缩杆，两个所述一号伸缩杆的伸缩端固定连接安装架，所述安装架端部固定连接储气腔，所述储气腔与所述安装架之间固定安装有真空泵，所述储气腔远离所述真空泵的一侧均匀设置若干吸盘，所述吸盘与所述储气腔内部连通。

5、作为本实用新型进一步的方案：所述推动机构包括固定设置于所述放置盒内壁的二号伸缩杆，所述二号伸缩杆的伸缩端固定连接推板。

6、作为本实用新型进一步的方案：所述放置盒内底部表面设置为倾斜面，所述倾斜面由所述开口向所述放置盒内下斜，下斜角度为5°-10°。

7、作为本实用新型进一步的方案：两根所述竖向滑杆表面均设置有刻度标尺。

8、作为本实用新型进一步的方案：所述驱动机构包括：

9、外壳，固定设置于所述矩形支架侧面；

10、二号电机，固定设置于所述外壳内侧壁上；

11、转动辊，其一端与所述二号电机转动轴固定连接，另一端可转动连接于所述外壳内侧壁上；

12、两个主动锥齿轮，相对固定套设于所述转动辊上；

13、两个从动锥齿轮，分别固定套设于两个所述横向螺纹杆位于所述外壳内的端部，两个所述从动锥齿轮分别与对应所述主动锥齿轮啮合。

14、作为本实用新型进一步的方案：所述外壳内两侧分别设置有一个支撑板，所述支撑板内均嵌设有轴承，所述转动辊两端分别固定插接于所述轴承内。

15、本实用新型具有以下有益效果：

16、(1)本实用新型设置有驱动机构、放置盒以及铺设机构，通过驱动机构驱动两根横向螺纹杆同步转动，两根横向螺纹杆转动时，吊框和铺设机构沿着两根横向螺纹杆同步移动，吊框内固定安装有两根竖向滑杆，两根竖向滑杆上活动设置有多个用于叠放烧结垫片的放置盒，放置盒内设置有推动机构，推动机构用于将叠放的烧结垫片逐个推送至开口处，铺设机构则可以将开口处的烧结垫片逐个铺设至承烧板表面，从而实现自动快速的将不同尺寸的烧结垫片均匀地呈矩形阵列地铺设在承烧板上。

17、(2)放置盒是可拆卸的安装于两根竖向滑杆上，工作人员可以根据烧结垫片的实际尺寸来选择合适规格的放置盒，且放置盒在两根竖向滑杆上的彼此间距可调，则可以根据烧结垫片的尺寸大小，调节放置盒之间的间距，也即调节烧结垫片之间的铺设间距。

技术特征：

1.一种靶材烧结垫片的自动布料装置，包括矩形支架(1)，其特征在于:所述矩形支架(1)一侧安装有驱动机构(2)，所述矩形支架(1)内安装有两根横向螺纹杆(3)，所述驱动机构(2)可驱动两根所述横向螺纹杆(3)同步转动，两根所述横向螺纹杆(3)之间设置有吊框(4)和铺设机构(5)，所述吊框(4)内固定安装有两根竖向滑杆(6)，两根所述竖向滑杆(6)上活动设置有多个用于叠放烧结垫片(7)的放置盒(8)，所述放置盒(8)左侧具有开口，所述放置盒(8)内设置有推动机构(9)，所述推动机构(9)用于将叠放的烧结垫片(7)逐个推送至所述开口处，所述铺设机构(5)用于将所述开口处的烧结垫片(7)逐个铺设至承烧板(29)表面。

2.根据权利要求1所述的一种靶材烧结垫片的自动布料装置,其特征在于，所述铺设机构(5)包括相对套设于两个所述横向螺纹杆(3)上的两个滑座(10)，两个所述滑座(10)底部均设置有竖板(11)，两个所述竖板(11)之间活动设置调节轴(12)，所述调节轴(12)一端固定连接一号电机(13)，所述调节轴(12)外周对称设置两个一号伸缩杆(14)，两个所述一号伸缩杆(14)的伸缩端固定连接安装架(15)，所述安装架(15)端部固定连接储气腔(16)，所述储气腔(16)与所述安装架(15)之间固定安装有真空泵(17)，所述储气腔(16)远离所述真空泵(17)的一侧均匀设置若干吸盘(18)，所述吸盘(18)与所述储气腔(16)内部连通。

3.根据权利要求2所述的一种靶材烧结垫片的自动布料装置,其特征在于，所述推动机构(9)包括固定设置于所述放置盒(8)内壁的二号伸缩杆(19)，所述二号伸缩杆(19)的伸缩端固定连接推板(20)。

4.根据权利要求3所述的一种靶材烧结垫片的自动布料装置,其特征在于，所述放置盒(8)内底部表面设置为倾斜面(21)，所述倾斜面(21)由所述开口向所述放置盒(8)内下斜，下斜角度为5°-10°。

5.根据权利要求4所述的一种靶材烧结垫片的自动布料装置,其特征在于，两根所述竖向滑杆(6)表面均设置有刻度标尺(22)。

6.根据权利要求1所述的一种靶材烧结垫片的自动布料装置,其特征在于，所述驱动机构(2)包括：

7.根据权利要求6所述的一种靶材烧结垫片的自动布料装置,其特征在于，所述外壳(23)内两侧分别设置有一个支撑板(28)，所述支撑板(28)内均嵌设有轴承，所述转动辊(25)两端分别固定插接于所述轴承内。

技术总结
本技术公开了一种靶材烧结垫片的自动布料装置，包括矩形支架，所述矩形支架一侧安装有驱动机构，所述矩形支架内安装有两根横向螺纹杆，所述驱动机构可驱动两根所述横向螺纹杆同步转动，两根所述横向螺纹杆之间设置有吊框和铺设机构，所述吊框内固定安装有两根竖向滑杆，两根所述竖向滑杆上活动设置有多个用于叠放烧结垫片的放置盒，所述放置盒左侧具有开口，所述放置盒内设置有推动机构，所述推动机构用于将叠放的烧结垫片逐个推送至所述开口处，所述铺设机构用于将所述开口处的烧结垫片逐个铺设至承烧板表面。此自动布料装置能够自动快速地将不同尺寸的烧结垫片均匀地呈矩形阵列地铺设在承烧板上。

技术研发人员：程天赐,高建成,张廷,何龙伟,钟小华
受保护的技术使用者：先导薄膜材料（安徽）有限公司
技术研发日：20230927
技术公布日：2024/6/20