一种真空吸嘴的制作方法

本申请涉及晶圆打包，特别是涉及一种真空吸嘴。

背景技术：

1、出货晶圆在oqa(outgoing qualityassure,是指产品出厂前的最后一道质量检验程序)打包出货需进行抽真空处理，抽真空需把真空吸嘴插到覆盖铝膜的晶圆fosb(fosb-前开式晶圆运输盒，可用于制造工厂之间的运输)的一边，抽真空过程易造成打包机真空吸嘴受到晶圆fosb下压而造成打包时间变长或者打包失败。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例为解决背景技术中存在的真空吸嘴在打包出货晶圆时有概率打包失败的问题而提供一种真空吸嘴。

2、本申请实施例提供了一种真空吸嘴，包括：

3、吸气管体，所述吸气管体的第一端被配置为伸入产品包装吸气；所述吸气管体的内部具有供气流通过的通道，所述通道的内壁包括第一内壁和第二内壁，所述第二内壁位于所述第一内壁的对侧；

4、若干支撑片，连接在所述第一内壁和所述第二内壁之间，若干所述支撑片从所述吸气管体的第一端延伸到第二端；

5、连接头，所述连接头的一端被配置为连接抽气装置，另一端连接于所述吸气管体的第二端，所述第二端为所述第一端的相反端。

6、在一可选实施方式中，至少一部分相邻的两片所述支撑片形成v形结构。

7、在一可选实施方式中，任意相邻的两片所述支撑片形成v形结构。

8、在一可选实施方式中，所述吸气管体的所述第一端具有进气口，所述进气口的端部为圆弧形。

9、在一可选实施方式中，所述连接头的一端具有螺纹，所述螺纹能够与所述抽气装置连接。

10、在一可选实施方式中，所述连接头的外侧壁两侧成型有凹槽，两个所述凹槽的底面平行。

11、在一可选实施方式中，所述连接头的至少一段为棱柱形状部位。

12、在一可选实施方式中，所述棱柱为六棱柱。

13、在一可选实施方式中，所述吸气管体为铝或铝合金材料。

14、在一可选实施方式中，所述吸气管体为不锈钢材料。

15、本申请实施例所提供的真空吸嘴，在吸嘴内部沿吸嘴的长度方向设置若干的支撑片结构，提升了吸嘴在长度方向的承压能力，使其在打包过程中不易发生变形，因此减小了打包失败的概率。

16、本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

技术特征：

1.一种真空吸嘴，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空吸嘴，其特征在于，至少一部分相邻的两片所述支撑片(2)形成v形结构。

3.根据权利要求1所述的真空吸嘴，其特征在于，任意相邻的两片所述支撑片(2)形成v形结构。

4.根据权利要求1所述的真空吸嘴，其特征在于，所述吸气管体(1)的所述第一端具有进气口(11)，所述进气口(11)的端部为圆弧形。

5.根据权利要求1所述的真空吸嘴，其特征在于，所述连接头(3)的一端具有螺纹，所述螺纹能够与所述抽气装置连接。

6.根据权利要求5所述的真空吸嘴，其特征在于，所述连接头(3)的外侧壁两侧成型有凹槽(31)，两个所述凹槽(31)的底面平行。

7.根据权利要求5所述的真空吸嘴，其特征在于，所述连接头(3)的至少一段为棱柱形状部位(32)。

8.根据权利要求7所述的真空吸嘴，其特征在于，所述棱柱为六棱柱。

9.根据权利要求1-6任一项所述的真空吸嘴，其特征在于，所述吸气管体(1)为铝或铝合金材料。

10.根据权利要求1-6任一项所述的真空吸嘴，其特征在于，所述吸气管体(1)为不锈钢材料。

技术总结
本申请涉及一种真空吸嘴，包括：吸气管体，吸气管体的第一端被配置为伸入产品包装吸气；吸气管体的内部具有供气流通过的通道，通道的内壁包括第一内壁和第二内壁，第二内壁位于第一内壁的对侧；若干支撑片，连接在第一内壁和第二内壁之间，若干支撑片从吸气管体的第一端延伸到第二端；连接头，连接头的一端被配置为连接抽气装置，另一端连接于吸气管体的第二端，第二端为第一端的相反端。本申请所提供的真空吸嘴，在吸嘴内部沿吸嘴的长度方向设置若干的支撑片结构，提升了吸嘴在长度方向的承压能力，使其在打包过程中不易发生变形，因此减小了打包失败的概率。

技术研发人员：黎兆恒
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20231117
技术公布日：2024/6/20