一种坩埚基体存放箱的制作方法

本技术涉及坩埚基体存放设备，尤其涉及一种坩埚基体存放箱。

背景技术：

1、坩埚基体是用来长pbn坩埚的石墨模芯，用来生产坩埚，石墨易吸潮，石墨吸潮后会影响生产出来的坩埚的性能，甚至无法长出坩埚，故基体需要保持一个干燥的环境，保证其生产出来的坩埚的性能；但是现有的基体存放箱不具备干燥条件或干燥效果不好；故本申请提出一种坩埚基体存放箱，用于保证基体存放环境的干燥条件以及实现基体的易存易取的功能从而提高干燥效果。

技术实现思路

1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种坩埚基体存放箱。

2、本实用新型提供的一种坩埚基体存放箱，包括箱体，所述箱体的内部设置有用于吸收水分的吸潮组件；所述吸潮组件的顶面上设置有用于放置基体的限位支撑组件；所述箱体的顶部设置有箱门组件；所述箱体的一组相对的侧壁上分别设置有进气口及出气口，用于持续向所述箱体的内部通入干燥气体。

3、优选的，所述吸潮组件包括固定的设置于所述箱体内部的支撑板，所述支撑板平行于所述箱体的底面设置；所述箱体的内部位于所述支撑板与所述箱体底板之间设置有抽拉式抽屉，所述抽屉的内部填充有干燥剂；所述支撑板的板面上均匀的设置有通气孔。

4、优选的，所述限位支撑组件包括固定的设置于所述支撑板的顶面上的用于卡接限位所述基体的固定柱。

5、优选的，所述箱体的顶面设置为开口式，所述箱体的顶面的内侧固定的设置有环形安装台，所述环形安装台上均匀间隔的固定设置有支撑杆。

6、优选的，所述箱门组件设置有多组，多组所述箱门组件分别设置于相邻的两根所述支撑杆之间或所述支撑杆与所述环形安装台之间。

7、优选的，所述箱门组件包括两扇铰接设置于对应的所述环形安装台或支撑杆上的箱门，所述箱门向上翻折设置。

8、相对于现有技术而言，本实用新型的有益效果是：

9、本实用新型的坩埚基体存放箱，通过设置的吸潮组件，可以吸收箱体的内部水分，再通过进气口及出气口持续不断的向箱体的内部通入干燥气体或惰性气体，保持箱体内部环境的干燥，进而保证基体不受潮；吸潮组件设置为抽拉式的抽屉填充有干燥剂，可以随时更换干燥剂，方便快捷；设置的箱门组件在箱体的顶面，且设置有多个，可以对应不同位置的基体打开不同位置的箱门组件取放基体，减慢箱体内外部的气体的交换速度，保证干燥效果。

10、应当理解，
技术实现要素：
部分中所描述的内容并非旨在限定本实用新型的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本实用新型的范围。

11、本实用新型的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。

技术特征：

1.一种坩埚基体存放箱，其特征在于，包括箱体，所述箱体的内部设置有用于吸收水分的吸潮组件；所述吸潮组件的顶面上设置有用于放置基体的限位支撑组件；所述箱体的顶部设置有箱门组件；所述箱体的一组相对的侧壁上分别设置有进气口及出气口，用于持续向所述箱体的内部通入干燥气体。

2.根据权利要求1所述的坩埚基体存放箱，其特征在于，所述吸潮组件包括固定的设置于所述箱体内部的支撑板，所述支撑板平行于所述箱体的底面设置；所述箱体的内部位于所述支撑板与所述箱体底板之间设置有抽拉式抽屉，所述抽屉的内部填充有干燥剂；所述支撑板的板面上均匀的设置有通气孔。

3.根据权利要求2所述的坩埚基体存放箱，其特征在于，所述限位支撑组件包括固定的设置于所述支撑板的顶面上的用于卡接限位所述基体的固定柱。

4.根据权利要求3所述的坩埚基体存放箱，其特征在于，所述箱体的顶面设置为开口式，所述箱体的顶面的内侧固定的设置有环形安装台，所述环形安装台上均匀间隔的固定设置有支撑杆。

5.根据权利要求4所述的坩埚基体存放箱，其特征在于，所述箱门组件设置有多组，多组所述箱门组件分别设置于相邻的两根所述支撑杆之间或所述支撑杆与所述环形安装台之间。

6.根据权利要求5所述的坩埚基体存放箱，其特征在于，所述箱门组件包括两扇铰接设置于对应的所述环形安装台或支撑杆上的箱门，所述箱门向上翻折设置。

技术总结
本技术公开了一种坩埚基体存放箱，包括箱体，所述箱体的内部设置有用于吸收水分的吸潮组件；所述吸潮组件的顶面上设置有用于放置基体的限位支撑组件；所述箱体的顶部设置有箱门组件；所述箱体的一组相对的侧壁上分别设置有进气口及出气口，用于持续向所述箱体的内部通入干燥气体。本技术的坩埚基体存放箱，通过设置的吸潮组件，可以吸收箱体的内部水分，再通过进气口及出气口持续不断的向箱体的内部通入干燥气体或惰性气体，保持箱体内部环境的干燥，进而保证基体不受潮。

技术研发人员：何军舫,王军勇
受保护的技术使用者：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
技术研发日：20231201
技术公布日：2024/7/23