一种双倍行程运舟装置的制作方法

本发明涉及半导体，具体为一种双倍行程运舟装置。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。其在实际生产中，为了确保生产出的晶圆符合使用标准，还会对硅晶圆片进行性能检测、磨损检测等检测操作。这些操作的进行过程中，需要使用相应的装置对晶圆进行搬运。

2、在实际的搬运场景中，往往需要装置进行水平方向的旋转、竖直方向的升降以及水平方向的伸缩。其中，水平方向的伸缩运动，是指装置中的y轴滑组做水平方向的伸缩运动以实现对晶圆的夹取、防止等操作。这些操作就需要在具有一定宽度的空间内进行。若是在狭小的空间范围内，则水平方向的伸缩运动将受到限制，因此会实用双倍行程机构来解决空间宽度狭小的问题。

3、然而，现有的双倍行程机构通常需要两套驱动机构带动两套移动机构来进行增程，当其中一套行程机构的零件出现故障时，则两套部件需要一同更换，导致维护成本高。

4、所以有必要提供一种双倍行程运舟装置来解决上述问题。

5、需要说明的是，本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本申请构思的背景技术，并且因此，它可以包含不构成现有技术的信息。

技术实现思路

1、基于现有技术中存在的上述问题，本申请所要解决的问题是：提供一种双倍行程运舟装置，解决维护成本高效果。

2、本申请解决其技术问题所采用的技术方案是：一种双倍行程运舟装置，涉及到搬运机构，包括：

3、固定座；

4、驱动电机，固定在固定座上，且驱动电机的输出端伸入固定座内；

5、驱动齿轮，位于固定座内，其一端与驱动电机的输出端连接，另一端通过驱动转轴与固定座转动连接；

6、支撑部件，设置在固定座的两侧；

7、第一同步轮，设置有两组，其两端均与支撑部件转动连接，且两组第一同步轮上套设有第一同步带，且搬运机构固定在第一同步带的顶部；

8、第二同步轮，设置有两组，其两端均与支撑部件转动连接，且两组第二同步轮上套设有第二同步带；

9、齿牙，设置有多组，且均匀分布在第二同步带的底部，且齿牙与驱动齿轮啮合，且固定座与搬运机构对角设置；

10、传动部件，设置在第一同步轮和第二同步轮之间，当第二同步轮转动时，传动部件带动第一同步轮同向转动；

11、调节部件，设置在支撑部件内，用于调节第一同步轮和第二同步轮的间距。

12、优选的，支撑部件包括第一转轴，第一转轴设置在各第一同步轮的两端，且第一转轴远离第一同步轮的一侧设置有第一支架，一组第一支架与两组第一转轴转动连接，第一支架呈“一”字形结构；

13、还包括第二转轴，第二转轴设置在各第二同步轮的两端，且第二转轴远离第二同步轮的一侧设置有第二支架，一组第二支架与两组第二转轴转动连接，第二支架呈“匚”字形结构，第二支架的底端转动设置有滚轮。

14、优选的，固定座远离驱动电机的一侧设置有固定板，靠近固定板的一组第二支架上设置有连板，连板相应固定板的位置处设置有导向块，导向块上开设有限位滑槽，固定板相应限位滑槽的位置处设置有限位滑块，限位滑块滑动设置在限位滑槽内，且限位滑槽与限位滑块均成“t”字形结构。

15、优选的，传动部件包括皮带，皮带套设在一组第一转轴和一组第二转轴上。

16、优选的，调节部件包括升降部件和张力调节部件，升降部件设置在第一支架和第二支架之间，用于带动第一支架及第一同步轮升降，张力调节部件设置在第一支架和第二支架上，用于调节皮带的张力。

17、优选的，升降部件包括电动伸缩杆，电动伸缩杆的固定端设置在第二支架的顶部，电动伸缩杆的伸出端与第一支架连接，第二支架的顶部设置有导向套筒，第一支架相应导向套筒的位置处设置有导向杆，导向杆滑动设置在导向套筒内。

18、优选的，张力调节部件包括活动件和推动件，活动件上转动设置有调节轮，皮带套设在调节轮上，活动件用于带动调节轮移动朝向第二转轴移动，推动件用于推动调节轮远离第二转轴移动。

19、优选的，活动件包括固定架，固定架固定在第二支架上，固定架靠近皮带的一侧连接有固定块，固定块上滑动设置有调节块，调节轮转动设置在调节块上；

20、固定块上开设有滑槽，调节块相应固定块的位置处设置有活动块，活动块滑动设置在滑槽内，且活动块远离第二转轴的一侧连接有弹簧，弹簧的另一端与滑槽连接，用于推动活动块朝向第二转轴移动。

21、优选的，推动件包括调节支架，调节支架固定在第一支架上，且呈“l”字形结构，调节支架的底部设置有调节板，调节块相应调节板的位置处开设有调节槽，调节板滑动设置在调节槽内；

22、调节板的底部上设置有第一抵持面，调节板的底部设置有第二抵持面，且第二抵持面和第一抵持面之间设置有调节斜面。

23、优选的，固定座上设置有多个固定凸块，且固定凸块上开设有螺纹孔。

24、1、本申请的有益效果是：本申请提供的一种双倍行程运舟装置，通过将固定座固定在工作台面上，当固定座位于第二同步带的右下角时，搬运机构位于第一同步带的左上角，此时可将物料放入搬运机构上，然后当驱动电机带动驱动齿轮转动时，驱动齿轮与齿牙配合带动第二同步带转动，则第二同步带带动第二同步轮和转动，通过传动部件可带动第一同步轮与第二同步轮同向转动，进而带动第一同步带与第二同步带同向转动，并且由于固定座和驱动齿轮的位置不变，则第二同步带在转动时会逐渐朝向固定座移动，假设两个第二同步带之间的距离为a，当固定座位于第二同步带的左下角时，此时第二同步带和第一同步带均移动了一个a的距离，则此时固定座相对于第二同步带一开始的位置移动了两个a，这时搬运机构移动至第一同步带的右上角，进而相对于搬运机构一开始的位置也移动了两个a的距离，进而使得第二同步带和第一同步带移动了一个a的距离，搬运机构可以移动两个a的距离，进而完成了双倍行程，并且本装置仅需要一套驱动机构，并且移动机构均为同步轮和同步带的配合，使得第二同步带和第二同步轮与第一同步带和第一同步轮的部件通用，即整体使用一套部件，降低了维护成本，并且结构简单，稳定性高。

25、2、本申请的有益效果是：通过调节部件可以调节第一同步轮的第二同步轮之间的间距，进而可以使得搬运机构对于两个高度不相同的平台进行搬运，增加了搬运机构搬运的适配性。

26、除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本申请还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本申请作进一步详细的说明。

技术特征：

1.一种双倍行程运舟装置，涉及到搬运机构（1），其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述支撑部件包括第一转轴（4），所述第一转轴（4）设置在各所述第一同步轮（3）的两端，且所述第一转轴（4）远离所述第一同步轮（3）的一侧设置有第一支架（10），一组所述第一支架（10）与两组所述第一转轴（4）转动连接，所述第一支架（10）呈“一”字形结构；

3.根据权利要求2所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述固定座（15）远离所述驱动电机（14）的一侧设置有固定板（21），靠近所述固定板（21）的一组所述第二支架（12）上设置有连板（23），所述连板（23）相应所述固定板（21）的位置处设置有导向块（22），所述导向块（22）上开设有限位滑槽（24），所述固定板（21）相应所述限位滑槽（24）的位置处设置有限位滑块（25），所述限位滑块（25）滑动设置在所述限位滑槽（24）内，且所述限位滑槽（24）与所述限位滑块（25）均成“t”字形结构。

4.根据权利要求3所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述传动部件包括皮带（5），所述皮带（5）套设在一组所述第一转轴（4）和一组所述第二转轴（8）上。

5.根据权利要求4所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述调节部件包括升降部件和张力调节部件，升降部件设置在所述第一支架（10）和所述第二支架（12）之间，用于带动所述第一支架（10）及所述第一同步轮（3）升降，所述张力调节部件设置在所述第一支架（10）和所述第二支架（12）上，用于调节皮带（5）的张力。

6.根据权利要求5所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述升降部件包括电动伸缩杆（17），所述电动伸缩杆（17）的固定端设置在所述第二支架（12）的顶部，所述电动伸缩杆（17）的伸出端与所述第一支架（10）连接，所述第二支架（12）的顶部设置有导向套筒（18），所述第一支架（10）相应所述导向套筒（18）的位置处设置有导向杆（35），所述导向杆（35）滑动设置在所述导向套筒（18）内。

7.根据权利要求5所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述张力调节部件包括活动件和推动件，所述活动件上转动设置有调节轮（26），所述皮带（5）套设在所述调节轮（26）上，所述活动件用于带动所述调节轮（26）移动朝向第二转轴（8）移动，所述推动件用于推动所述调节轮（26）远离第二转轴（8）移动。

8.根据权利要求7所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述活动件包括固定架（11），所述固定架（11）固定在所述第二支架（12）上，所述固定架（11）靠近所述皮带（5）的一侧连接有固定块（30），所述固定块（30）上滑动设置有调节块（29），所述调节轮（26）转动设置在所述调节块（29）上；

9.根据权利要求8所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述推动件包括调节支架（27），所述调节支架（27）固定在所述第一支架（10）上，且呈“l”字形结构，所述调节支架（27）的底部设置有调节板（28），所述调节块（29）相应所述调节板（28）的位置处开设有调节槽（32），所述调节板（28）滑动设置在所述调节槽（32）内；

10.根据权利要求1所述的一种双倍行程运舟装置，其特征在于，所述固定座（15）上设置有多个固定凸块（16），且所述固定凸块（16）上开设有螺纹孔。

技术总结
本发明涉及半导体技术领域，具体为一种双倍行程运舟装置，涉及到搬运机构，包括：固定座、驱动电机、驱动齿轮、支撑部件、第一同步轮、第二同步轮、齿牙、传动部件以及调节部件；有益效果为：通过第二同步带和第一同步带移动了一个a的距离，搬运机构可以移动两个a的距离，进而完成了双倍行程，并且本装置仅需要一套驱动机构，并且移动机构均为同步轮和同步带的配合，使得第二同步带和第二同步轮与第一同步带和第一同步轮的部件通用，即整体使用一套部件，降低了维护成本，并且结构简单，稳定性高。

技术研发人员：侍孝峰,黄永远,江琳霜
受保护的技术使用者：江苏橙伟通能智能科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/8/20