一种可调节姿态的坩埚输送装置的制作方法

文档序号:40235111发布日期:2024-12-06 16:56阅读:15来源:国知局
一种可调节姿态的坩埚输送装置的制作方法

本发明涉及坩埚生产输送,具体为一种可调节姿态的坩埚输送装置。


背景技术:

1、石英坩埚以其较小的热膨胀系数、低的热导率、良好的热震稳定性,电学性能,耐化学侵蚀等特点,在玻璃熔制、玻璃深加工、冶金工业、电子工业、化工工业、航空航天等领域得到广泛应用。坩埚是光伏单晶炉的关键部件,由高纯石英砂制成,主要用于盛装熔融硅并制成后续工序所需晶棒。在拉晶过程中,内层与溶液直接接触,对硅成晶状况和单晶硅的质量影响更为显著。石英坩埚完成生产后,需要对内壁进行清洗,以及对外壁进行打磨与清洗,先通过输送带将坩埚输送至打磨工位进行外壁打磨,打磨完成后输送至清洗工站进行清洗,在清洗的过程中需要对坩埚进行翻转,以完成坩埚内壁与外壁的清洗,坩埚的内壁与外壁分布在两个清洗工站上,先对坩埚的内壁进行清洗,然后输送至外壁清洗的过程中需要对坩埚进行180°翻转,一方面使坩埚内部的清洗水能够流出,另一方面使外壁清洗的水不会进入到坩埚内,而现有的输送机构无法完成坩埚的翻转,基本采用机械手臂或者夹持工装机构抓住坩埚进行翻转,由于石英坩埚的体积较大、重量较重,为防止坩埚脱落,需要施加较强的夹持力于坩埚,容易使坩埚变形造成质量不合格,而坩埚的造价非常高,不合格率过高将大大增加坩埚的生产成本。


技术实现思路

1、本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种可调节姿态的坩埚输送装置,用于解决现有技术的不足。

2、本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:一种可调节姿态的坩埚输送装置,包括前输送机与后输送机,所述前输送机与后输送机之间设置有翻转机构,所述翻转机构包括顶板、l形支撑件、下压板和翻转架,所述顶板的底部沿垂直于所述前输送机的输送方向间隔设置有两个所述l形支撑件,所述l形支撑件具有水平移动自由度,所述l形支撑件的移动方向垂直于所述前输送机的输送方向,所述顶板的下方设置有所述下压板,所述下压板具有沿所述l形支撑件高度方向移动的自由度,所述下压板与l形支撑件形成c字形,所述l形支撑件的水平杆件上设置有限位组件,所述限位组件包括滑座和限位块,所述滑座滑动设置在所述水平杆件内,所述滑座的移动方向平行于所述前输送机的输送方向,所述限位块滑动安装在所述滑座的上方,所述滑座沿所述l形支撑件的高度方向移动,所述顶板的两侧均固定有旋转主轴,所述旋转主轴转动连接在所述翻转架上;

3、所述水平杆件的顶面做光滑打磨处理,所述前输送机包括基座和两条皮带输送机,所述基座的顶部沿垂直于坩埚的输送方向布置有两条所述皮带输送机,所述皮带输送机位于两个所述l形支撑件之间,两条所述皮带输送机之间的布置间距能调节。

4、进一步地,两个所述l形支撑件相对的一侧均设置有摩擦限位机构,所述摩擦限位机构包括滑块、限位皮带和固定块,所述滑块滑动设置在所述顶板的顶部,所述滑块具有沿所述前输送机输送方向移动的自由度,所述固定块固定在所述水平杆件的底部,所述限位皮带的两端分别连接所述滑块与固定块,坩埚的局部突出所述l形支撑件挤压所述限位皮带。

5、进一步地,所述顶板的顶部开设有水平滑槽,所述滑块滑动设置在所述水平滑槽内,所述水平滑槽内设置有弹簧,所述弹簧的两端分别连接所述滑块与顶板,所述水平滑槽内安装有压力传感器,所述压力传感器的压力轴位于所述滑块的移动路径上,当坩埚挤压所述限位皮带时,所述弹簧处于拉伸状态。

6、进一步地,所述水平杆件内设置有调节腔,所述调节腔内转动设置有丝杠,所述滑座螺纹套装在所述丝杠上,所述滑座滑动配合在所述调节腔内,所述丝杠的一端穿出所述水平杆件固定有调节螺母。

7、进一步地,所述水平杆件的顶面开设有条形滑槽,所述条形滑槽连通所述调节腔,所述滑座的顶部连接有伸缩杆,所述伸缩杆远离所述滑座的一端连接所述限位块,所述伸缩杆上套设有复位弹簧,所述复位弹簧的两端分别连接所述限位块与所述滑座,所述限位块远离所述l形支撑件中竖向杆件的一端设有楔形面。

8、进一步地,所述顶板的底部沿垂直于所述前输送机的输送方向开设有安装槽,所述安装槽内转动设置有双向螺纹丝杠,所述双向螺纹丝杠的两个螺纹旋向相反的螺纹段上均螺纹套装有丝杠滑块,所述丝杠滑块滑动适配于所述安装槽,两个所述丝杠滑块分别带动两个所述l形支撑件移动,所述顶板的顶部安装有丝杠电机,所述丝杠电机的输出轴通过联轴器传动连接所述双向螺纹丝杠。

9、进一步地,所述顶板的底部开设有支撑槽,所述支撑槽平行于所述安装槽,所述支撑槽内固定有高强度滑杆,两个所述l形支撑件均滑动套装在所述高强度滑杆上,所述支撑槽的侧壁开设有连通所述安装槽的条形槽口,所述l形支撑件靠近所述丝杠滑块的一侧开设有拨动槽,所述丝杠滑块连上固定有拨动块,所述拨动块的一端穿过条形槽口位于所述拨动槽内,所述拨动块的侧壁接触所述拨动槽的内侧壁,所述拨动块的顶面与所述拨动槽的内顶壁之间形成间隙。

10、进一步地,所述顶板的顶部竖直安装有下压气缸,所述下压气缸的伸缩轴活动穿过所述顶板连接所述下压板,所述基座的顶部沿垂直于坩埚的输送方向安装有两条直线驱动模组,两条所述皮带输送机的输送架分别安装在两条所述直线驱动模组的模组滑座上,所述皮带输送机的两端均对应设置有滑轨,所述滑轨安装在所述基座上,所述输送架底部的两端均连接有滑轨滑块,所述滑轨滑块滑轨配合在所述滑轨上,所述后输送机的结构与所述前输送机的结构相同。

11、进一步地,所述翻转架包括固定支座和顶升气缸,沿垂直于所述前输送机的输送方向布置有两条所述固定支座,所述固定支座的顶部滑动穿设有升降支座,所述顶升气缸的缸体安装在所述固定支座上,所述顶升气缸的伸缩轴连接所述升降支座,两个所述旋转主轴分别转动连接两条所述升降支座,其中一所述升降支座上安装有驱动机构,所述驱动机构用于带动该所述升降支座上的旋转主轴转动。

12、进一步地,所述驱动机构包括驱动气缸、齿条和小齿轮,所述小齿轮套装在所述旋转主轴上,所述齿条滑动设置在所述升降支座上,所述小齿轮啮合所述齿条,所述驱动气缸的缸体安装在所述升降支座上,所述驱动气缸的伸缩轴连接所述齿条的一端。

13、本发明的有益效果是:

14、1、两个l形支撑件的间距小于坩埚的直径,通过前输送机将坩埚输送至l形支撑件上,通过水平杆件支撑坩埚,坩埚接触l形支撑件的竖向杆件后停止,此时,限位块弹起接触坩埚的侧壁,使坩埚被限制在竖向杆件与限位块之间,然后翻转机构启动,带动坩埚翻转180°,坩埚采用支撑的方式完成翻转,不用夹持坩埚翻转,不会对坩埚造成损伤,大大降低了不良率,降低了生产成本。

15、2、坩埚在l形支撑件内输送到位时,坩埚挤压限位皮带使滑块接触压力传感器,通过压力传感器反馈坩埚翻转信号,带动坩埚完成翻转,同时限位皮带通过弹簧的作用力将坩埚抵紧在限位块与限位皮带之间,限位皮带与坩埚之间还会产生较大的摩擦力,从而具有较好的限位效果,同时不会压伤坩埚。



技术特征:

1.一种可调节姿态的坩埚输送装置,包括前输送机(1)与后输送机(2),其特征在于,所述前输送机(1)与后输送机(2)之间设置有翻转机构,所述翻转机构包括顶板(3)、l形支撑件(4)、下压板(5)和翻转架(6),所述顶板(3)的底部沿垂直于所述前输送机(1)的输送方向间隔设置有两个所述l形支撑件(4),所述l形支撑件(4)具有水平移动自由度,所述l形支撑件(4)的移动方向垂直于所述前输送机(1)的输送方向,所述顶板(3)的下方设置有所述下压板(5),所述下压板(5)具有沿所述l形支撑件(4)高度方向移动的自由度,所述下压板(5)与l形支撑件(4)形成c字形,所述l形支撑件(4)的水平杆件上设置有限位组件,所述限位组件包括滑座(7)和限位块(8),所述滑座(7)滑动设置在所述水平杆件内,所述滑座(7)的移动方向平行于所述前输送机(1)的输送方向,所述限位块(8)滑动安装在所述滑座(7)的上方,所述滑座(7)沿所述l形支撑件(4)的高度方向移动,所述顶板(3)的两侧均固定有旋转主轴(9),所述旋转主轴(9)转动连接在所述翻转架(6)上;

2.根据权利要求1所述的一种可调节姿态的坩埚输送装置,其特征在于,两个所述l形支撑件(4)相对的一侧均设置有摩擦限位机构,所述摩擦限位机构包括滑块(11)、限位皮带(12)和固定块(13),所述滑块(11)滑动设置在所述顶板(3)的顶部,所述滑块(11)具有沿所述前输送机(1)输送方向移动的自由度,所述固定块(13)固定在所述水平杆件的底部,所述限位皮带(12)的两端分别连接所述滑块(11)与固定块(13),坩埚的局部突出所述l形支撑件(4)挤压所述限位皮带(12)。

3.根据权利要求2所述的一种可调节姿态的坩埚输送装置,其特征在于,所述顶板(3)的顶部开设有水平滑槽(14),所述滑块(11)滑动设置在所述水平滑槽(14)内,所述水平滑槽(14)内设置有弹簧(15),所述弹簧(15)的两端分别连接所述滑块(11)与顶板(3),所述水平滑槽(14)内安装有压力传感器(16),所述压力传感器(16)的压力轴位于所述滑块(11)的移动路径上,当坩埚挤压所述限位皮带(12)时,所述弹簧(15)处于拉伸状态。

4.根据权利要求1所述的一种可调节姿态的坩埚输送装置,其特征在于,所述水平杆件内设置有调节腔(17),所述调节腔(17)内转动设置有丝杠(18),所述滑座(7)螺纹套装在所述丝杠(18)上,所述滑座(7)滑动配合在所述调节腔(17)内,所述丝杠(18)的一端穿出所述水平杆件固定有调节螺母(19)。

5.根据权利要求4所述的一种可调节姿态的坩埚输送装置,其特征在于,所述水平杆件的顶面开设有条形滑槽(20),所述条形滑槽(20)连通所述调节腔(17),所述滑座(7)的顶部连接有伸缩杆(21),所述伸缩杆(21)远离所述滑座(7)的一端连接所述限位块(8),所述伸缩杆(21)上套设有复位弹簧(22),所述复位弹簧(22)的两端分别连接所述限位块(8)与所述滑座(7),所述限位块(8)远离所述l形支撑件(4)中竖向杆件的一端设有楔形面(23)。

6.根据权利要求1所述的一种可调节姿态的坩埚输送装置,其特征在于,所述顶板(3)的底部沿垂直于所述前输送机(1)的输送方向开设有安装槽(24),所述安装槽(24)内转动设置有双向螺纹丝杠(25),所述双向螺纹丝杠(25)的两个螺纹旋向相反的螺纹段上均螺纹套装有丝杠滑块(26),所述丝杠滑块(26)滑动适配于所述安装槽(24),两个所述丝杠滑块(26)分别带动两个所述l形支撑件(4)移动,所述顶板(3)的顶部安装有丝杠电机(27),所述丝杠电机(27)的输出轴通过联轴器传动连接所述双向螺纹丝杠(25)。

7.根据权利要求6所述的一种可调节姿态的坩埚输送装置,其特征在于,所述顶板(3)的底部开设有支撑槽(28),所述支撑槽(28)平行于所述安装槽(24),所述支撑槽(28)内固定有高强度滑杆(29),两个所述l形支撑件(4)均滑动套装在所述高强度滑杆(29)上,所述支撑槽(28)的侧壁开设有连通所述安装槽(24)的条形槽口(30),所述l形支撑件(4)靠近所述丝杠滑块(26)的一侧开设有拨动槽(31),所述丝杠滑块(26)连上固定有拨动块(32),所述拨动块(32)的一端穿过条形槽口(30)位于所述拨动槽(31)内,所述拨动块(32)的侧壁接触所述拨动槽(31)的内侧壁,所述拨动块(32)的顶面与所述拨动槽(31)的内顶壁之间形成间隙。

8.根据权利要求1所述的一种可调节姿态的坩埚输送装置,其特征在于,所述顶板(3)的顶部竖直安装有下压气缸(33),所述下压气缸(33)的伸缩轴活动穿过所述顶板(3)连接所述下压板(5),所述基座(10)的顶部沿垂直于坩埚的输送方向安装有两条直线驱动模组(35),两条所述皮带输送机(34)的输送架分别安装在两条所述直线驱动模组(35)的模组滑座上,所述皮带输送机(34)的两端均对应设置有滑轨(36),所述滑轨(36)安装在所述基座(10)上,所述输送架底部的两端均连接有滑轨滑块(37),所述滑轨滑块(37)滑轨配合在所述滑轨(36)上,所述后输送机(2)的结构与所述前输送机(1)的结构相同。

9.根据权利要求1所述的一种可调节姿态的坩埚输送装置,其特征在于,所述翻转架(6)包括固定支座(38)和顶升气缸(39),沿垂直于所述前输送机(1)的输送方向布置有两条所述固定支座(38),所述固定支座(38)的顶部滑动穿设有升降支座(40),所述顶升气缸(39)的缸体安装在所述固定支座(38)上,所述顶升气缸(39)的伸缩轴连接所述升降支座(40),两个所述旋转主轴(9)分别转动连接两条所述升降支座(40),其中一所述升降支座(40)上安装有驱动机构,所述驱动机构用于带动该所述升降支座(40)上的旋转主轴(9)转动。

10.根据权利要求9所述的一种可调节姿态的坩埚输送装置,其特征在于,所述驱动机构包括驱动气缸(43)、齿条(41)和小齿轮(42),所述小齿轮(42)套装在所述旋转主轴(9)上,所述齿条(41)滑动设置在所述升降支座(40)上,所述小齿轮(42)啮合所述齿条(41),所述驱动气缸(43)的缸体安装在所述升降支座(40)上,所述驱动气缸(43)的伸缩轴连接所述齿条(41)的一端。


技术总结
本发明公开了一种可调节姿态的坩埚输送装置,涉及输送技术领域,包括前输送机与后输送机,前输送机与后输送机之间设置有翻转机构,翻转机构包括顶板、L形支撑件、下压板和翻转架,顶板的底部沿垂直于前输送机的输送方向间隔设置有两个L形支撑件,顶板的下方设置有下压板,L形支撑件的水平杆件上设置有限位组件,限位组件包括滑座和限位块,滑座滑动设置在水平杆件内,滑座的移动方向平行于前输送机的输送方向,限位块滑动安装在滑座的上方,滑座沿L形支撑件的高度方向移动,L形支撑件的外侧壁固定有旋转主轴,旋转主轴转动连接在翻转架上,坩埚采用支撑的方式完成翻转,不会对坩埚造成损伤,大大降低了不良率,降低了生产成本。

技术研发人员:李新春
受保护的技术使用者:乐山京隆石英玻璃制品有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/12/5
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