一种用于老化测试设备的载具运输系统的制作方法

本技术涉及半导体制程、电子制造，尤其涉及半导体制程、电子制造中的高温老化测试过程，具体涉及一种用于老化测试设备的载具运输系统。

背景技术：

1、在半导体制造、电子制造制程中对质量和可靠性有着日益增长的需求，例如在复杂的高温老化测试设备和功能测试的制程中，由于需要替换可重复使用的测试板，载具采用可分离式“抽屉”形式，仍是采用手动推车在运输；每一个单独推车上有多层载板，再配置上数据采集、电流、电压监测的硬件软件，重量甚至能够达到500kg左右，人员推动运输比较吃力。推车下面主要靠四个脚轮移动和固定作用，由于受重力和摩擦的影响，经常使防静电地板磨损、变脏甚至出现脚轮损坏等现象，需要花费人力清洁和维护维修成本；同时手动推车需要使用一定的力度，推车需要技巧，需指定人员；在推车进入老化设备时，需两人配合，一人推，另一人查勘指导方向将推车推入设备抽屉式滑轨，人工成本较高；推车和设备之间靠人工控制，没有状态之间的连贯，不能确保完全及时且有效的对接，容易出现较多的等待时间。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供了一种新型的用于老化测试设备的载具运输系统，其至少能够高效且便捷地完成载具的运输。

2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

3、一种用于老化测试设备的载具运输系统，该载具运输系统包括轨道、设置在所述轨道上且能够发生线性运动的位移机构，所述位移机构至少用于承载载具；

4、所述轨道包括多个子轨道和中转轨道，所述的多个子轨道分别与所述中转轨道连接，其中一个所述子轨道延伸至老化测试设备所在位置；任意相邻两个所述子轨道中的一个的延伸方向为第一方向，另一个的延伸方向为第二方向，所述第一方向与所述第二方向相互垂直；

5、所述位移机构包括第一轮组和第二轮组，所述第一轮组、所述第二轮组均能够沿所述第一方向和/或所述第二方向发生线性运动；所述第二轮组包括工作状态和非工作状态，当所述第二轮组处于所述工作状态时，所述第二轮组支撑于所述轨道上，所述第一轮组脱离所述轨道；当所述第二轮组处于所述非工作状态时，所述第一轮组支撑于所述轨道上，所述第二轮组脱离所述轨道。

6、根据本实用新型的一些优选且具体的方面，所述位移机构的重心具有第一高度和第二高度，所述第一高度小于所述第二高度；

7、当所述第二轮组处于所述工作状态时，所述位移机构的重心处于所述第二高度；当所述第二轮组处于所述非工作状态时，所述位移机构的重心处于所述第一高度。

8、在本实用新型的一些优选实施方式中，所述位移机构还包括用于升降所述第二轮组的升降机构。

9、进一步地，所述升降机构包括安装架、用于驱动所述安装架沿上下方向运动的驱动机构，所述第二轮组设置在所述安装架上。

10、根据本实用新型的一些优选方面，所述第二轮组位于所述第一轮组的内侧。

11、根据本实用新型的一些优选方面，所述中转轨道包括多个中转承载座以及多个子中转轨道，任意相邻两个所述子中转轨道相互垂直设置；

12、一个所述中转承载座、相互垂直设置的相邻两个所述子中转轨道的部分区域和相互垂直设置的相邻两个所述子轨道的部分区域构成一个中转换向端部；

13、所述中转承载座位于相互垂直设置的相邻两个所述子中转轨道、相互垂直设置的相邻两个所述子轨道中各个轨道延伸线的交汇处，所述子中转轨道、所述子轨道分别与对应的所述中转承载座之间形成有让位空隙。

14、根据本实用新型的一些优选方面，所述第一轮组、所述第二轮组各自独立地包括滚轮，所述滚轮上形成有能够与所述轨道配合的轮槽。

15、根据本实用新型的一些具体方面，所述中转承载座的宽度与所述轮槽的尺寸相适应。

16、根据本实用新型的一些优选方面，所述滚轮的沿垂直于所述轨道的延伸方向上的长度为l，所述让位空隙的宽度为d，所述轮槽的内径为r，r＜d＜l。

17、根据本实用新型的一些优选方面，所述位移机构为电驱动小车，所述载具运输系统还包括控制系统，所述控制系统与所述电驱动小车通信连接。

18、在本实用新型的一些实施方式中，所述子轨道的数量为n，所述位移机构的数量为m，m＝n-1。

19、由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

20、本实用新型基于现有在运输载具的过程中过度依赖人力，存在人力成本高，与老化测试设备之间衔接不够连贯，老化测试设备容易出现较多的等待时间，产能受到限制等问题，创新地提供了一种新型的用于老化测试设备的载具运输系统，该运输系统通过独特设计的轨道以及与之配合的位移机构进行载具的运输，通过轨道的引导导向，可以减少对人力的依赖，同时具有两组轮组的位移机构能够在轨道沿不同方向延伸时实现自身的运动换向，如此则可以实现在轨道的不同方向端设置更多个位移机构，进而可以连续的将载具运输至老化测试设备中，减少设备等待时间，大大提高产能，同时本实用新型的运输系统还能够避免对生产车间的地面造成破坏，而且对各个部件的磨损可控，还可以减少对地板或者运输部件的维护和维修时间，从而整体上降低生产成本。

技术特征：

1.一种用于老化测试设备的载具运输系统，其特征在于，该载具运输系统包括轨道、设置在所述轨道上且能够发生线性运动的位移机构，所述位移机构至少用于承载载具；

2.根据权利要求1所述的用于老化测试设备的载具运输系统，其特征在于，所述位移机构的重心具有第一高度和第二高度，所述第一高度小于所述第二高度；

3.根据权利要求1或2所述的用于老化测试设备的载具运输系统，其特征在于，所述位移机构还包括用于升降所述第二轮组的升降机构。

4.根据权利要求3所述的用于老化测试设备的载具运输系统，其特征在于，所述升降机构包括安装架、用于驱动所述安装架沿上下方向运动的驱动机构，所述第二轮组设置在所述安装架上。

5.根据权利要求1所述的用于老化测试设备的载具运输系统，其特征在于，所述第二轮组位于所述第一轮组的内侧。

6.根据权利要求1所述的用于老化测试设备的载具运输系统，其特征在于，所述中转轨道包括多个中转承载座以及多个子中转轨道，任意相邻两个所述子中转轨道相互垂直设置；

7.根据权利要求6所述的用于老化测试设备的载具运输系统，其特征在于，所述第一轮组、所述第二轮组各自独立地包括滚轮，所述滚轮上形成有能够与所述轨道配合的轮槽。

8.根据权利要求7所述的用于老化测试设备的载具运输系统，其特征在于，所述中转承载座的宽度与所述轮槽的尺寸相适应。

9.根据权利要求7所述的用于老化测试设备的载具运输系统，其特征在于，所述滚轮的沿垂直于所述轨道的延伸方向上的长度为l，所述让位空隙的宽度为d，所述轮槽的内径为r，r＜d＜l。

10.根据权利要求1所述的用于老化测试设备的载具运输系统，其特征在于，所述位移机构为电驱动小车，所述载具运输系统还包括控制系统，所述控制系统与所述电驱动小车通信连接；和/或，所述子轨道的数量为n，所述位移机构的数量为m，m＝n-1。

技术总结
本技术公开了一种用于老化测试设备的载具运输系统，包括轨道、设置在轨道上的位移机构；轨道包括多个子轨道、与多个子轨道分别连接的中转轨道，其中一个子轨道延伸至老化测试设备所在位置；任意相邻两个子轨道中的一个的延伸方向为第一方向，另一个的延伸方向为第二方向，第一方向与第二方向相互垂直；位移机构包括均能够沿第一方向和/或第二方向发生位移的第一轮组、第二轮组；第二轮组包括工作状态和非工作状态，当第二轮组处于工作状态时，第二轮组支撑于轨道上，第一轮组脱离轨道；当第二轮组处于非工作状态时，第一轮组支撑于轨道上，第二轮组脱离轨道；本技术至少能够高效且便捷地完成载具的运输，对地面的破坏小，人力成本低。

技术研发人员：周海燕,郭瑞亮,宁福英,李云鹏
受保护的技术使用者：苏州通富超威半导体有限公司
技术研发日：20240312
技术公布日：2024/9/17