专利名称：晶片透镜的制造方法
技术领域：
本发明涉及晶片透镜的制造方法，尤其涉及使晶片透镜的光轴上厚度保持一定的技术。
背景技术：
以往，在光学透镜制造领域中，有探讨对玻璃基板设由固化性树脂构成的透镜部从而得到耐热性高的光学透镜之技术(参照例如专利文献1)。作为应用了该技术的光学透镜的制造方法一例，有一种方法被提案，其中是形成对晶片状的玻璃基板表面作为透镜部形成多个固化性树脂成型品的所谓“晶片透镜”，然后按透镜部切开玻璃基板。
作为晶片透镜制造装置的一个例子，有下述制造装置被提案设配置位置一定的模具和能够支承玻璃基板的台，使台能够相对模具在XY平面上移动，在玻璃基板上形成树脂透镜部。该制造装置中，是使台移动到所定位置上，使玻璃基板对着模具配置，在此位置上将模具压到玻璃基板上并使树脂固化，对玻璃基板形成树脂透镜部。
这种晶片透镜制造装置中，可以考虑用反复进行将模具压到玻璃基板上、脱模后移动玻璃基板之一连串动作、依次形成多个树脂透镜部的所谓“步骤&反复方式”，还有在一张玻璃基板上模压一个模具、脱模、依次形成多个树脂透镜部的所谓“一次性方式”(参照例如专利文献2)。
先行技术文献
专利文献
专利文献1 特许第3拟6380号公报
专利文献2 美国专利申请公开2006/0259546号公报发明内容
发明欲解决的课题
但是，采用“步骤&反复方式”时也好，采用“一次性方式”时也好，每次进行树脂成型时晶片透镜的光轴上的厚度(树脂透镜部的厚度、树脂透镜部和玻璃基板的合计厚度等)有参差，作为共通的课题，“步骤&反复方式”和“一次性方式”都难以使晶片透镜的光轴上厚度均一。
对此，本发明的主要目的在于，提供一种能够使光轴上的厚度为一定的晶片透镜的制造方法。
用来解决课题的手段
为了解决上述课题，根据本发明的第1形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序， 将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，
在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之第1玻璃位置之间的距离之工序，
在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述测定工序测定到的距离， 修正转印工序中模具对玻璃基板的模压位置。
根据本发明的第2形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第 2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，
在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置、算出该非透镜部位置及第2玻璃位置间的距离之工序，
在第2循环和该第2循环以后的分配工序中，根据在所述算出工序算出的距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。
根据本发明的第3形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第 2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，
在各循环的前一循环的脱模工序之后，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之第1玻璃位置之间的距离之工序，
在各循环的转印工序中，根据在该测定工序测定到的距离，修正所述模具的模压位置。
根据本发明的第4形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第 2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，
在各循环的前一循环的脱模工序之后下一循环的分配工序之前，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置，测定该非透镜部位置及第2玻璃位置间距离的用传感检测工序，
在下一循环的分配工序中，根据在所述用传感检测工序测定到的测定距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。
根据本发明的第5形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板，再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，
在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之第1玻璃位置之间的距离之工序，
在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述测定工序测定到的距离， 修正在转印工序中模具对玻璃基板的模压位置。
根据本发明的第6形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板，再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，
在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置，算出该非透镜部位置及第2玻璃位置间的距离之工序，
在第2循环和该第2循环以后的分配工序中，根据在所述算出工序算出的距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。
根据本发明的第7形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板，再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，
在各循环的前一循环的脱模工序之后，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之第1玻璃位置之间的距离之工序，
在各循环的转印工序中，根据在该测定工序测定到的距离，修正所述模具的模压位置。
根据本发明的第8形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板，再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，
在各循环的前一循环的脱模工序之后下一循环的分配工序之前，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置，测定该非透镜部位置及第2玻璃位置间的距离之用传感检测工序，
在下一循环的分配工序中，根据在所述用传感检测工序测定到的测定距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。
根据本发明的第9形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后，使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第 2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，
在第1循环之前，具有在所述玻璃基板的多个位置，测定玻璃基板的所述玻璃基板上模具模压树脂一面之第1玻璃位置与玻璃基板的所述玻璃基板上模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置之预用传感检测工序，
在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置，算出与所述预用传感检测工序测定到的所述第1玻璃位置或所述第2玻璃位置间的距离之工序，
在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述算出工序测定算出的距离，修正转印工序中模具对玻璃基板的模压位置或滴下量。
根据本发明的第10形态，提供一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板，再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，
在第1循环之前，具有在所述玻璃基板的多个位置，测定玻璃基板的所述玻璃基板上模具模压树脂一面之第1玻璃位置与玻璃基板的所述玻璃基板上模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置之用传感检测工序，
在各循环的前一循环的脱模工序之后下一循环的分配工序之前，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置、算出与所述用传感检测工序测定到的所述第1玻璃位置或所述第2玻璃位置间的距离之工序，
在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述算出工序测定算出的距离，修正转印工序中模具对玻璃基板的模压位置或滴下量。
发明的效果
根据本发明的第1、第2、第5、第6形态，在最初的第1循环算出非透镜部与玻璃基板上树脂模压面之间的距离以及非透镜部与玻璃基板上模压面反面之间的距离，根据算出的结果，修正第2循环和该第2循环以后模具的模压位置和树脂的滴下量，所以，能够保持模具相对玻璃基板一定的间隔，能够将树脂透镜部和与其对应部位的玻璃基板的合计体积保持在一定，能够使光轴上的厚度为一定。另外，根据本发明的第3、第4、第7、第8形态，算出前一循环中非透镜部与玻璃基板的树脂模压面之间的距离以及非透镜部与玻璃基板的模压面反面之间的距离，根据算出结果，修正在下一循环的模具的模压位置或树脂的滴下量，所以，能够保持模具相对玻璃基板一定的间隔，能够将树脂透镜部和与其对应部位的玻璃基板的合计体积保持在一定，能够使光轴上的厚度为一定。并且，根据本发明的第9、第10形态，在开始循环之前，在玻璃基板的多个位置测定树脂模压面及模压面反面的位置，根据在第1循环或第1张玻璃基板测定到的非透镜部的位置和前面测定到的树脂模压面及树脂模压面反面的位置的数据，修正第2循环和该第 2循环以后或第2张之后的模具的模压位置或树脂的滴下量，所以，能够保持模具相对玻璃基板一定的间隔，能够将树脂透镜部和与其对应部位的玻璃基板的合计体积保持在一定， 能够使光轴上的厚度为一定。
图1 :晶片透镜的概略结构平面示意图。图2 :晶片透镜的概略结构侧面示意图。图3 本发明优选实施方式晶片透镜制造装置的概略结构立体示意图。图4:图3晶片透镜制造装置的平面图。图5 本发明优选实施方式中使用的X轴移动机构的概略结构示意图，是沿图4中 A-A线的截面图。图6 本发明优选实施方式中使用的Y轴移动机构的概略结构示意图，是沿图4中 B-B线的截面图。图7 本发明优选实施方式中使用的XY台和定板内的概略结构截面示意图。
图8 沿图7中C-C线的截面图。
图9 本发明优选实施方式中使用的模具部的概略结构截面示意图。
图10图9概略结构的平面示意图。
图11本发明优选实施方式中对着模具配置分配器时的概略结构截面示意图
图12本发明优选实施方式中使用的概略性控制结构的方框示意图。
图13本发明优选实施方式晶片透镜制造方法的时序说明概略流程。
图14图13的分配工序到脱模工序的压力状态的概略性时机示意图。
图15本实施方式中用来调整玻璃基板和模具平行度的结构概略说明图。
图16本实施方式中模具在二维平面上的坐标轴变换概略说明图。
图17本实施方式中树脂部和玻璃基板的高度位置测定概略说明图。
图18晶片透镜的光轴上的厚度的说明图。
图19图3、图4晶片透镜制造装置的变形例概略平面示意图。
图20本发明优选的第2实施方式晶片透镜制造方法的时序说明概略流程。
图21玻璃基板翘曲和厚度参差的说明图。
图22 本发明变形实施方式晶片透镜制造方法的时序说明概略流程。
具体实施例方式以下参照附图，说明本发明优选的实施方式。[第1实施方式]如图1、2所示，成形后的晶片透镜1具有圆形状玻璃基板2和多个凸透镜部4。玻璃基板2是基板的一个例子。玻璃基板2的表面上阵列状形成了多个凸透镜部4，各凸透镜部4之间是非透镜部6(请参照图17、图18)。可以在凸透镜部4的光学面表面上形成衍射槽和台阶等微细构造。也可以代替凸透镜部4在玻璃基板2上形成凹透镜部。图1、图2表示制造工序的中途阶段，所以只在玻璃基板2表面的一部分上形成了凸透镜部4。本实施方式中是对1张玻璃基板2用模具单位依次逐渐形成凸透镜部4 (参照图1、图2箭头)，最后按凸透镜部4切断玻璃基板2，进行单个化。凸透镜部4用光固化性树脂形成。该光固化性树脂可以采用例如丙烯树脂、烯丙酯树脂等，这些树脂可以通过原子团重合反应固化。另外也可以采用通过阳离子重合反应固化的烷氧树脂。使本发明中使用的光固化性树脂固化的光，除了可见光、紫外光之外还包括电子射线等。另外，除了上述光固化性树脂之外，还包括并用光重合开始剂、热重合开始剂、通过加热以热重合固化的树脂。作为重合开始剂只含光重合开始剂的光固化性树脂的情况时， 虽然加热也促使光固化，但在其中进一步混合热重合开始剂的话则促进效果更高。接下去对制造晶片透镜1时使用的晶片透镜制造装置(10)作说明。如图3、4所示，晶片透镜制造装置10主要备有呈立方体的定板20、设在定板20上的XY台30、使XY台沿X轴方向移动的X轴移动机构100、使XY台沿Y轴方向移动的一对 Y轴移动机构200。如图4、5所示，X轴移动机构100具有延伸在X轴方向的X轴导向102。如图5所示，在X轴导向102的下方配置着XY台30。XY台30上形成了一对延伸在X轴方向的突条部31，X轴导向102被配置在突条部31之间。如图5所示，X轴移动机构100具有使XY台30实际上沿X轴方向移动的线性马达110。线性马达110具有主要由固定子112、可动子114、标度116、传感118构成的周知的机构。固定子112被固定在X轴导向102上。可动子114被固定在XY台30的一个突条部31上，可动子114能够沿X轴导向102移动。标度116被固定在X轴导向102上。传感 118被固定在XY台30的另一个突条部31上。X轴移动机构100中，由传感118检出标度116，同时，可动子114沿固定子112移动，这样，XY台30能够沿X轴导向102在X轴方向恰好移动所定距离。XY台30的各突条部31中设有空气滑行导向机构120。空气滑行导向机构120具有喷出空气的喷出孔122。空气滑行导向机构120工作时从各喷出孔122向X轴导向102 喷出空气，使XY台30相对X轴导向102浮起。XY台30下部设有多个空气滑行导向机构130。各空气滑行导向机构130具有喷出空气的二个喷出孔132、136以及吸引空气的一个吸引孔134。空气滑行导向机构130工作时从各喷出孔132、136向定板20喷出空气，同时从吸引孔134吸引空气，使XY台30相对定板20浮在一定的高度位置上。XY台30通过空气滑行导向机构120、130相对X轴导向102及定板20浮起，所以通过X轴移动机构100能够顺畅移动。如图3、4所示，Y轴移动机构200具有一对延伸在Y轴方向的Y轴导向202。Y轴导向202上设有一对Y轴移动体210。各Y轴移动体210上固定着X轴导向102的两端，Y轴移动体210在支撑由X轴导向102和X轴导向102支承的XY台30的状态下，沿Y轴导向202在Y轴方向移动。具体则是Y轴移动机构200中设有线性马达220。线性马达220与X轴移动机构 100的线性马达110结构相同，主要由固定子222、可动子224、标度226、传感(图示省略) 构成，由传感检出标度226，同时，可动子2M沿固定子222移动，这样，Y轴移动体210能够沿Y轴导向202在Y轴方向恰好移动所定距离。如图6所示，Y轴移动体210的端部形成了呈钩状的钩部214、214，Y轴导向202 的端部204、206持有间隙地嵌合埋设在各钩部212、214内侧。钩部212中设有空气滑行导向机构230，钩部214中设有空气滑行导向机构M0。 空气滑行导向机构230具有从三方向(上方、侧方、下方)喷出空气的喷出孔232、234、236。 空气滑行导向机构240也具有从三方向(上方、侧方、下方)喷出空气的喷出孔M2J44、 246。空气滑行导向机构230工作时从各喷出孔232、234、236向Y轴导向202的端部 204喷出空气，另外，空气滑行导向机构240工作时也从各喷出孔M2J44J46向Y轴导向 202的端部206喷出空气，使Y轴移动体210相对Y轴导向202浮起。如图3、4所示，XY台30上设置着将树脂滴到玻璃基板2上的分配器32、测定模具 64平面度(倾斜)和高度位置等的激光测长仪34、模具64与玻璃基板2对准时使用的显微镜36。如图3所示，XY台30上形成了贯通其上下面的、俯视形状呈圆形状的贯通孔40， 玻璃基板2被支承于贯通孔40中。详细则是贯通孔40中形成了台阶，在台阶用没有图示的弹簧固定玻璃基板2。XY 台30上设有盖住贯通孔40的俯视形状呈四方形的盖部42。盖部42用石英板等光透过性部件构成，光源44设置在盖部42的上方。如图7所示，定板20上埋设着用来在晶片透镜1上成型凸透镜部4的模具部50、 使模具部50沿Z轴方向升降移动的Z轴移动机构300。模具部50被设置在Z轴移动机构 300 (Z台304)的上部。Z轴移动机构300主要备有上部具有凸缘的四方筒状的Z轴导向302 ；在Z轴导向302内在Z轴方向移动的Z台304 ；使Z台304在Z轴方向(上下方向)移动的马达306。马达306内藏分压器，马达上连接着传动轴308。Z轴移动机构300中，马达306 工作时传动轴308上下伸缩，Z台304及模具部50随之上下移动。如图8(a)所示，在Z轴导向302的内周面与Z台304的侧面之间，设有间隙310。Z轴导向302中设有空气滑行导向机构320。空气滑行导向机构320具有喷出空气的喷出孔322、324、326、328。空气滑行导向机构320工作时从各喷出孔322、324、326、328 向Z台304喷出空气，使Z台304浮起。如图7所示，Z轴导向302的形成凸缘的内周面用硅油、油封、0环等密封部件330 密封，密封Z轴导向302和Z台304之间，使间隙310内的空气不漏到(不泄漏)Z轴导向 302的上方。另外虽然没有图示，更优选在上下移动的Z台304周围设凸缘部，用金属风箱覆盖与固定配置的Z轴导向302的凸缘部之间，进行密封，这样同样能够得到上述效果。如图7所示，由盖部42、XY台30、定板20、Ζ轴导向302围起的区域中形成了空间部400。空间部400被设置在XY台30上的玻璃基板2划分成与盖部42之间构成的上部空间部402，以及与Z轴移动机构300之间构成的下部空间部404。这里，在玻璃基板2的周边部上形成了贯通上下面、相互连通上部空间部402及下部空间部404的连通孔3，构造上两空间部402、404没有差压。下部空间部404与真空泵等减压机构410连接，减压机构410工作，使空间部400处于减压状态。也可以例如如图7虚线所示，在XY台30上形成连通孔38，以此代替在玻璃基板2 上形成的连通孔3。另外，减压机构410是与下部空间部404连接的，但也可以与上部空间部402连接。如图9所示，模具部50主要备有被依次设在Z台304上的第1支撑台52、压力传动装置Μ、第2支撑台56、压力传感58、第3支撑台60、模具64。第1支撑台52和第2支撑台56通过预压用螺杆66联结，且受弹簧67作用而相互接近。在第1支撑台52和第2支撑台56之间设置3个压力传动装置M和L字状板弹簧68 (请参照图10)。第2支撑台56和第3支撑台60通过螺杆70联结，第2支撑台56和第3支撑台60之间设有压力传感58。如图10所示，3个压力传动装置M分别被设在第1支撑台52的3个角上，用3点支撑第2支撑台56。模具部50中，根据压力传感58的输出值控制各压力传动装置M工作，调整第2支撑台56、第1支撑台60及模具64的倾斜。这样能够调节模具64与玻璃基板2的平行，能够在模具64上滴下树脂之后，控制对树脂的荷重为所望压力，同时进行锁模和转印成型。本实施方式中是3个压力传动装置M的结构，但只要是适合于上述平行调节、能够进行荷重控制的配置和个数即可，个数并不局限于上述。模具64中在平坦面上阵列状地形成了多个腔65(凹部)。腔65的表面(成型面) 形状是与晶片透镜1的凸透镜部4相应的负片形状。即如后所述，用模具64成型晶片透镜 1时，腔65部分成型凸透镜部4，腔65之间的平坦面部分成型非透镜部6。模具64可以是金属制的模具，也可以是树脂制的树脂模具。模具64上设有非接触式的光学传感72，能够测定对着模具64的部件(玻璃基板 2等)的高度位置。本测定中是采用光学传感72，但只要是能够测定高度位置的周知的检测手段，也可以采用其他检测手段。但优选不影响晶片透镜1光学性能的非接触式传感。如图11所示，分配器32具有滴下树脂的针部33，针部33贯通XY台30。在使XY台30的分配器32与模具部50对着配置的状态下，由XY台30、定板20、Z轴移动机构300 围起的区域中形成空间部406，分配器32针部33的先端被置于空间部406中。在该状态下减压机构410工作，使空间部406处于减压状态。图11中的其他结构与图7相同，对相同的结构部分标相同的符号，省略说明。具有以上结构的晶片透镜制造装置10备有控制装置500。控制装置500上连接着分配器32、激光测长仪34、显微镜36、光源44、模具部50 (压力传动装置M、压力传感58、 θ台62、光学传感72等)、Χ轴移动机构100、Υ轴移动机构200、Ζ轴移动机构300、空气滑行导向机构120、130、230、对0、320、减压机构410等，控制装置500接受上述部件的检测结果，控制它们的动作(工作、停止等)。接下去参照图13、图14，对使用上述晶片透镜制造装置10制造晶片透镜1的方法作说明。首先在XY台30上设置玻璃基板2 (晶片载置工序Si)，用盖部42覆盖XY台30的贯通孔40 (请参照图7)。然后使X轴移动机构100 (线性马达110)、Y轴移动机构200 (线性马达220)、空气滑行导向机构120、130、230、240等工作，使XY台30在X轴方向及Y轴方向空气浮起并滑行，使分配器32位于模具64上方地进行位置对准(预对准工序S2)。此时，在定板20的所定位置上事先标有对准标志，在预对准工序中，边用显微镜 36确认该对准标志，边进行分配器32的位置对准。分配器32位置对准之后，使空气滑行导向机构120、130、230、240停止工作，在此位置锁定XY台30，使XY台30与定板20处于贴紧的锁定状态。在该状态下，从分配器32 针部33向模具部50的模具64上滴下所定量树脂(分配工序S3，请参照图11)。此时，如图14中实线部分所示，控制减压机构410，对空间部406减压。“减压”基本上是指使处于真空状态，详细则是，在分配器32的树脂本身内部不产生气泡之程度、且能够除去从大气混入树脂的气泡之程度，降低压力。例如，作为从分配器32滴下的树脂使用烷氧类树脂时，只要使空间部406在2000 以上KT2MPa以下，便能够防止从该树脂内产生气泡。通过在上述减压状态下进行分配工序S3的处理，能够防止向树脂内的气泡混入。本实施方式中，基本上是使分配工序S3到脱模工序S7处于减压状态，减压的定义如上所述。然后使空气滑行导向机构120、130、230、M0工作，使XY台30在X轴方向及Y轴方向空气浮起并滑行，使预先设置好的玻璃基板2位于模具部50模具64上方地进行位置对准(对准工序S4，请参照图7)。然后如图15所示，在模具64的正上方配置激光测长仪34，并使空气滑行导向机构 120、130、230、240停止工作，使XY台30与定板20处于贴紧的锁定状态。同时，控制马达306和空气滑行导向机构320，从喷出孔322、324、326、3观喷出空气，将Z台304配置到所定高度位置，然后如图8 (b)所示，例如，控制只从喷出孔322、3洲喷出空气，使Z台304 —部分碰到Z轴导向302的内壁。由此能够利用Z台304与Z轴导向302之间的摩擦力将模具部50的位置保持在一定，能够进行锁定。在此，用激光测长仪34进行3点以上的高度测定，从测定结果算出模具64上面的倾斜和模具64的高度位置，根据其输出值(角度α的偏离值，请参照图15)，控制压力传动装置54，使玻璃基板2的下面与模具64的上面相互平行。然后解除锁定状态，在模具64的正上方配置显微镜36。使空气滑行导向机构120、 130,230,240停止工作，使XY台30与定板20处于贴紧的锁定状态。同时控制空气滑行导向机构320，如图8(b)所示，例如，控制只从喷出孔322、328 喷出空气，使Z台304 —部分碰到Z轴导向302的内壁。由此锁定模具部50的位置(定位)。换而言之，利用Z台304与Z轴导向302之间的摩擦力将模具部50的位置保持在一定。通过Z轴导向302与Z台304如此接触，能够相对Z轴导向302保持以一定位置和角度支承安装在其上的模具64。结果在解除锁定状态时，Z台304及成型模具64能够顺畅动作，并且在锁定状态时，能够以反复、调整时同样的姿势进行成型动作，具有优点。然后用显微镜36检测模具64，根据其检测结果，把握模具64的实际配置位置，按照其实际配置位置，在控制装置500中，作为轴坐标，变换预先设定的模具64的初期位置的轴坐标。具体如下，从模具64上方用显微镜36至少识别2点位置，将其一个位置作为原点，另一个位置作为修正点。例如，事先对模具64在对角上标对准标志，将一个对准标志作为原点，另一个对准标志作为修正点。本实施方式中，作为检测模具64配置位置的位置检测器一例，使用显微镜36。然后，算出从原点向修正点的坐标变换用直线，算出该算出的直线与预先设定的轴坐标的偏离(角度θ的偏离值，请参照图16)，根据此偏离变换轴坐标。也就是说，在控制装置500中，作为轴坐标，预先设定模具64在平面上的配置位置，把握用显微镜36识别、 算出的坐标变换用直线与该设定的轴坐标的偏离，如图16所示，将预先设定的轴坐标(虚线部分)变换到根据该偏离算出的轴坐标(实线部分)。由此，能够二维固定模具64与玻璃基板2的相对位置关系，能够相对模具64正确移动玻璃基板2。也可以在模具部50中设使模具64旋转的θ台62(参照图9)，控制θ台62，使模具64旋转移动，与预先设定的坐标轴对应(使偏离的轴复原)，以此代替由控制装置500 所作的上述轴坐标变换。在该状态下位置控制模具部50，使模具64相对玻璃基板2上升移动到所定位置， 将模具64支承在此所定位置(转印工序S5)。具体则是使Z轴移动机构(马达306)工作，向上方伸出传动轴308，使Z台304移动到上方。此时，根据内藏在马达306中的分压器的输出值控制马达306运转，使Z台304移动到所定高度位置。结果，树脂被压到玻璃基板2上逐渐展开，充填到模具64的腔65中。在该转印工序S5中也控制减压机构410，对空间部400减压。通过在减压状态下将树脂压到玻璃基板2上，能够防止气泡混入树脂内。另外，因为使上部空间部402与下部空间部404连通、使空间部400处于减压状态，所以，上部空间部402与下部空间部404之间没有差压，能够防止玻璃基板2翘曲和变形。然后，在将Z台304支承在设定位置的状态下控制光源44，对树脂照光，使树脂固化(曝光工序S6)。
此时，因为控制减压机构410使空间部400处于减压状态，所以，能够防止对树脂的氧障碍，能够确切地使树脂固化。另外，在曝光工序S6中，光源44的光有可能入射到光学传感72的元件上损坏元件，所以，优选在光学传感72上设遮光部件，对元件一时性遮光。树脂固化时(树脂固化时或之后)，如果就此保持Z台304在所定高度位置的话， 即使树脂固化收缩，玻璃基板2也不随之收缩，树脂内部有可能变形、对树脂的腔65的面形状转印有可能不充分等。对此，可以使光源44点灯一定时间对树脂照射一定量光之后，压力控制模具部 50，增压，保持模具62对玻璃基板2的压力在所定压力。具体则是根据压力传感58的输出值使压力传动装置讨工作，使模具64移到上方。然后使光源44消灯停止对树脂的光照射。光照射停止后，使马达306工作，使传动轴308缩到下方，使Z台304移到下方。由此从模具64与玻璃基板2 —起脱模固化的树脂(脱模工序S7)。此时控制减压机构410使空间部400处于减压状态，这样没有大气压，所以容易脱模。结果，在玻璃基板2上形成与模具64的腔65个数相应的多个凸透镜部4。然后，以分配工序S3到脱模工序S7的处理为1循环，反复所定次数该循环，进一步在玻璃基板2上依次形成多个凸透镜部4 (参照图1、图2)。这里，在对玻璃基板2形成凸透镜部4时，实际上模具64的平坦面与玻璃基板2 之间设有微小的间隙，所以，在各凸透镜部4的周边形成了非透镜部6(参照图16)。本实施方式中，在实行第1循环处理、从模具64脱模玻璃基板2之后，使X轴移动机构100(线性马达110)、Y轴移动机构200(线性马达220)、空气滑行导向机构120、130、 230,240等工作，使XY台30微小移动，如图16所示，控制光学传感72，测定玻璃基板2、非透镜部6的高度位置(用传感检测工序S10)。第1实施方式中，该用传感检测工序SlO只在第1循环实施。具体则是，使非透镜部6对着光学传感72，如图16(a)所示，测定非透镜部6下面的高度位置，并使玻璃基板2对着光学传感72，如图16(b)、(c)所示，测定玻璃基板2下面和上面的各高度位置。以下说明中，将非透镜部6的下面的高度位置称为“A点”，将玻璃基板2的下面的高度位置、即树脂被模具64模压的一面作为“第1玻璃位置”称为“B点”，将玻璃基板2的上面的高度位置、即树脂被模具64模压的一面的反面作为第2玻璃位置称为“C点”。此时如图18(a)所示，希望将凸透镜部4的厚度Tl控制在一定时，在第2循环和该第2循环以后的转印工序S5中，根据由成型面深度一律决定的为透镜部厚度之外厚度的 A点的高度位置以及B点的高度位置，控制Z轴移动机构300 (马达306)，修正模具64的高度位置。也就是说，相对厚度Tl (设计值)的模具64配置被作为初期值，预先记忆在控制装置500中，第1循环的转印工序中根据初期值决定模具64配置。然后在用传感检测工序 SlO中测定A点、B点的高度位置，从A点、B点的高度位置算出非透镜部6的厚度，从该算出值计算相对模具64配置的树脂固化后的厚度Tl (测定值)。这样可以算出设计值厚度 Tl与树脂固化后厚度Tl的偏差量，在第2循环和该第2循环以后的转印工序S5中，使模具 64配置(Z方向的位置)微小变动与该偏差量相应的距离。
如此修正模具64配置的话，在第2循环和该第2循环以后的转印工序S5中，能够保持模具64距离玻璃基板2的下面一定间隔，能够使光轴上厚度的厚度Tl为一定。另外， 在第1循环没能形成所望的凸透镜部4、还有对玻璃基板2全部形成凸透镜部4而交换玻璃基板2之后，也能够维持交换前模具64相对玻璃基板2的下面的间隔，此时也能够使光轴上厚度的凸透镜部4的厚度Tl为一定。以上说明的是只控制间隔修正的结构，但也可以并行修正滴到模具64成型面上的树脂量。此时的修正量在例如以修正系数为a时，用下述加权进行。间隔修正量=aX (模具64与玻璃基板2的树脂模压面反面的间隔距离)树脂滴下量=(1-a) X上述间隙间距离另外如图18 (b)所示，希望将凸透镜部4 (树脂部分)与玻璃基板2合计的厚度T2 控制在一定时，在第2循环和该第2循环以后的分配工序S3中，控制分配器32，修正滴到模具64上的树脂量。也就是说，相对厚度T2(设计值)的向模具64的树脂滴下量被作为初期值，预先记忆在控制装置500中，第1循环的分配工序中根据初期值决定向模具64的树脂滴下量。 然后在用传感检测工序SlO中，在模具64平坦面与玻璃基板2的树脂模压面反面保持平行并维持所定间隔的状态下，边扫描边测定A点、B点各高度位置，从测得的A-B位置间距离与上述一定间隔的偏差量，算出树脂固化后的厚度Τ2 (测定值)。这样可以算出树脂固化前后的厚度Τ2的偏差量，在第2循环和该第2循环以后的分配工序S3中，使树脂滴下量恰好微小变动与该偏差量相应的量。为了达成上述模具64平坦面与玻璃基板2的树脂模压面反面保持平行并维持所定间隔，可以扫描、测定C点的高度、使它保持在一定高度地在Z方向微小移动模具64。如此修正树脂滴下量的话，在第2循环和该第2循环以后的脱模工序S7处理之后，能够保持凸透镜部4和与其对应的部位的玻璃基板2的合计体积(面积X厚度)一定， 能够使光轴上厚度的厚度Τ2为一定。对玻璃基板2形成所定个数的凸透镜部4之后，使空气滑行导向机构120、130、 230、240工作，使XY台30、Z台304移动到所定位置，最后从XY台30除去盖部42，取出玻璃基板2 (取出工序S8)。用以上处理能够制造晶片透镜1。第1循环制作的是根据设计值的，没有用实际测定值进行修正，所以基本上报废，但通过检查如果是在规格范围内的产品的话，也可以使用。本实施方式中，第1循环、第2循环和该第2循环以后的各工序，是在相同玻璃基板2上形成凸透镜部4，但也可以在第1循环、第2循环和该第2循环以后的各工序使用不同的玻璃基板2。也就是说，可以在第1循环各工序使用试验用玻璃基板2，在第2循环和该第2循环以后的各工序使用晶片透镜制造用的玻璃基板2。此时例如如图19所示，对XY台30除了设贯通孔40之外，还用同样的结构设小径的贯通孔46。在贯通孔46上设置试验用玻璃基板2'，在贯通孔40上设置晶片透镜制作用玻璃基板2。用第1循环的各工序对试验用玻璃基板2'形成凸透镜部4，然后测定A点、 B点、C点的高度位置。在第2循环的各工序中，根据用试验用玻璃基板2'测定到的A点、B点、C点的高度位置，对晶片透镜制造用玻璃基板2依次形成凸透镜部4。本实施方式中出示了制造晶片透镜1的例子，但本实施方式也可以适用于制造用来制造晶片透镜1的付主模的场合。付主模是以模具64为母模形成的树脂模具，基本上与在玻璃基板2上形成凸透镜部4相同，是对玻璃基板2形成树脂制的凹凸。付主模的使用可以降低昂贵的主模的使用次数，不需要频繁地重新制作主模具，这样能够实现晶片透镜的成本降低。如图18(a)所示，作为希望将厚度Tl控制在一定而修正模具64配置的方法，因为可以以玻璃基板2的下面为基准使凸透镜部4的厚度Tl为一定，所以适合于制造晶片透镜 1。如图18(b)所示，作为希望将厚度T2控制在一定而修正树脂滴下量的方法，因为可以以玻璃基板2的上面为基准使凸透镜部4与玻璃基板2的厚度T2为一定，所以适合于制造付主模。本实施方式中出示的例子，是对玻璃基板2以模具单位依次形成凸透镜部4的所谓的“步骤&反复方式”，但也可以采用所谓的“一次性方式”，即，使用与玻璃基板2尺寸 (面积)相应的大径模具代替模具64，对玻璃基板2—次性形成所望个数的凸透镜部1。将第1实施方式应用于一次性方式时，第1张玻璃基板作为厚度测定用的样品进行成型，将第 2循环和该第2循环以后成型的晶片透镜作为产品即可。向一次性方式的应用，在玻璃基板较厚没有翘曲、且各玻璃基板的厚度精度高时，尤其有用。另外本实施方式中是从分配工序S3到脱模工序S7，使玻璃基板2附近局部性处于减压状态，但上述步骤&重复方式、一次性方式的任何情况时，都可以将晶片透镜制造装置 10(除控制装置500)整体设置在室等封闭系统中，使整个包括玻璃基板2附近的晶片透镜装置10整体处于减压状态。上述实施方式中，是在转印工序S5、曝光工序S6中减压空间部400的，但也可以例如没有形成在玻璃基板2上的连通孔3，只减压下部空间部404。此时，如图14中虚线部分所示，优选在分配工序S3、转印工序S5、曝光工序S6中至少一次开放到大气压。分配工序S3中在减压状态下充填树脂时，能够防止气泡混入树脂内，但由于施加在树脂上的表面张力，树脂内部有时产生气泡。因此，在使处于减压状态之后，只要一次开放到大气压，就能够防止产生气泡，这样，能够消除树脂向腔65的未充填处。在转印工序S5使上部空间部402、下部空间部404的2个都处于减压状态时，上部空间部402、下部空间部404之间没有差压，所以，能够防止气泡混入树脂内，但例如使上部空间部402为大气压、下部空间部404为减压状态的话，由于差压玻璃基板2会出现翘曲、 变形。对此，将下部空间部404从减压状态开放到大气压时，能够保持玻璃基板平坦，能够在平坦的状态下进行转印。曝光工序S6中在减压状态下曝光树脂时，能够防止氧引起的树脂固化障碍，使树脂确切固化，但之后开放到大气压的话则能够提高转印性。上述这些工序中向大气压的开放，在图14中用点划线表示。[第2实施方式]第2实施方式的下述点与第1实施方式的不同，除此之外的其它结构和动作与第1实施方式相同。如图20所示，晶片透镜1制造方法中，在预对准工序S2和分配工序S3之间实行用传感检测工序SlO的处理，将从用传感检测工序SlO到脱模工序S7为止的处理，作为1 循环。用传感检测工序SlO中，如图16(b)、(c)所示，测定A点(非透镜部)、B点(模具64与玻璃基板2之间模压树脂的面)、C点(模压面的反面)的各高度位置。实际上在步骤&反复方式的第1循环或一次性方式的第1张时，在玻璃基板的多个位置测定B点、C 点并记忆，在步骤&反复方式的第2循环和该第2循环以后或一次性方式的第2张之后测定A点，进行模具的位置修正。如图18(a)所示，希望将凸透镜部4的厚度Tl控制在一定时，在各循环的转印工序S5中，根据在该循环的前一循环的用传感检测工序SlO测定到的A点和B点的高度位置， 控制Z轴移动机构300 (马达306)，修正模具64的高度位置。例如如图21所示，以第1循环用传感检测工序SlO测定到的B点的高度位置为 Bi，第2循环用传感检测工序SlO测定到的B点的高度位置为B2。此时，当玻璃基板2有变形和稍微翘曲时(参照图21(a))以及玻璃基板2的厚度有参差时(参照图21(b))，B1、B2 出现偏差，因此，在第1循环、第2循环之间能够算出玻璃基板2的偏差量。这样，在第2循环的转印工序S5中，使模具64配置相对第1循环转印工序S5的模具64配置微小变动与所述偏差量相应的距离。如此修正模具64配置的话，在各循环的转印工序S5中，能够保持模具64距离玻璃基板2的下面一定的间隔，能够使光轴上厚度的厚度Tl为一定。另外，因为在各循环进行与其前一循环中测定到的B点的比较，所以即使晶片透镜制造装置10运转发热、玻璃基板2变形、膨胀/收缩，也能够确切地使厚度Tl 一定。另外如图18(b)所示，希望将凸透镜部4(树脂部分)与玻璃基板2的合计厚度 T2控制在一定时，在各循环的分配工序S3中，根据在该循环的前一循环的用传感检测工序 SlO测定到的A点和C点的高度位置，控制分配器32，修正滴到模具64的树脂量。例如如图21所示，以第1循环用传感检测工序SlO测定到的C点的高度位置为 Cl，第2循环用传感检测工序SlO测定到的C点的高度位置为C2。此时，当玻璃基板2有变形和稍微翘曲时(参照图21(a))以及玻璃基板2的厚度有参差时(参照图21(b))，C1、C2 出现偏差，因此，在第1循环各工序、第2循环各工序之间，能够算出玻璃基板2的偏差量。 这样，在第2循环的分配工序S3中，使树脂滴下量相对第1循环分配工序S3的树脂滴下量微小变动恰好与所述偏差量相应的量。本实施方式中，也可以在模具64平坦面与玻璃基板2的树脂模压面反面保持平行并维持所定间隔的状态下，边扫描边测定B点的各高度位置，从中测定玻璃基板2厚度的参差。如此修正树脂滴下量的话，在各循环中，能够保持凸透镜部4和与其对应的部位的玻璃基板2的合计体积(面积X厚度)一定，能够使光轴上厚度的厚度T2为一定。另外，因为在各循环进行与其前一循环中测定到的C点的比较，所以即使晶片透镜制造装置 10运转发热、玻璃基板2变形、膨胀/收缩，也能够确切地使厚度T2 —定。本实施方式中，是对各循环算出玻璃基板2的偏差量，修正模具64配置和树脂滴下量，但也可以在形成凸透镜部4之前，在玻璃基板2上应该模压模具64的区域或几个任意区域上(参照图1中ARl 3)，预先测定B点、C点的高度位置，以特定一区域的B点、C 点的高度位置为基准，在其它区域算出玻璃基板2的偏差量，修正模具64配置和树脂滴下量。图22是该变形例实施方式的说明流程，在预对准工序S2之后实施预用传感检测工序Sll。该预用传感检测工序Sll中，在玻璃基板的所有区域或几个任意区域进行上述B 点、C点的高度位置测定。该工序测定到的高度位置数据被记忆在存储器中，通过与在各循环测定工序SlO测定到的A点的高度位置比较，用于模具模压位置或树脂滴下量的修正。进一步作为变形例，可以只采用预用传感检测工序Sll的B点、C点之数据，进行模具模压位置或树脂滴下量的修正。此时则是对玻璃基板翘曲和厚度参差的修正。
0192]符号说明0193]1晶片透镜0194]2玻璃基板0195]3连通孑L0196]4凸透镜部0197]6非透镜部0198]10晶片透镜制造装置0199]20定板0200]30XY台0201]31突条部0202]32分配器0203]33针部0204]34激光测长仪0205]36显微镜0206]38连通孑L0207]40、46 贯通孔0208]42盖部0209]44光源0210]50模具部0211]32第1支撑台0212]54压力传动装置0213]56第2支撑台0214]58压力传感0215]60第3支撑台0216]62θ台0217]64模具0218]65腔0219]66螺杆0220]68板弹簧
70 螺杆72光学传感100 X轴移动机构102 X 轴导向110线性马达112 固定子114 可动子116 标度118 传感120、130 空气滑行导向机构122、132、136 喷出孔134吸引孔200 Y轴移动机构202 Y 轴导向 202204、206 端部210 Y轴移动体212,214 钩部220 线性马达222 固定子224 可动子226 标度230,240 空气滑行导向机构232,234,236,242,244,246 喷出孔300 Z轴移动机构302 Z 轴导向304 Z 台306 马达308 传动轴310 间隙320空气滑行导向机构322、324、326、328 喷出孔330密封部件400 空间部402 上部空间部404下部空间部406 空间部410 减压机构500控制装置
权利要求
1.一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后， 使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置之间的距离之工序，在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述测定工序测定到的距离，修正转印工序中模具对玻璃基板的模压位置。
2.如权利要求1中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，根据在所述测定工序测定到的距离，进一步修正所述树脂向所述模具的滴下量。
3.如权利要求1或2中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述距离测定是分别检出并算出所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置和所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置。
4.一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后， 使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置，算出该非透镜部位置及第2玻璃位置间的距离之工序，在第2循环和该第2循环以后的分配工序中，根据在所述算出工序算出的距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。
5.如权利要求3中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述算出工序中的距离测定，是使所述模具与所述玻璃基板上模压树脂之面的反面持所定间隔平行地、边扫描所述模具的平坦面边进行的。
6.一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后， 使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在各循环的前一循环的脱模工序之后，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置之间的距离之工序，在各循环的转印工序中，根据在该测定工序测定到的距离，修正所述模具的模压位置。
7.如权利要求6中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，根据在所述测定工序测定到的距离，进一步修正所述树脂向所述模具的滴下量。
8.如权利要求6或7中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述距离测定是分别检出并算出所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置和所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置。
9.一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后， 使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在各循环的前一循环的脱模工序之后下一循环的分配工序之前，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置，测定该非透镜部位置及第2玻璃位置间距离的用传感检测工序，在下一循环的分配工序中，根据在所述用传感检测工序测定到的测定距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。
10.如权利要求3中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述用传感检测工序中的距离测定，是使所述模具与所述玻璃基板上模压树脂之面的反面持所定间隔平行地、边扫描所述模具的平坦面边进行的。
11.一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板， 再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在第ι循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置之间的距离之工序，在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述测定工序测定到的距离，修正在转印工序中模具对玻璃基板的模压位置。
12.如权利要求11中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，根据在所述测定工序测定到的距离，进一步修正所述树脂向所述模具的滴下量。
13.如权利要求11或12中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述距离测定是分别检出并算出所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置和所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置。
14.一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板，再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置，算出该非透镜部位置及第2玻璃位置间的距离之工序，在第2循环和该第2循环以后的分配工序中，根据在所述算出工序算出的距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。
15.如权利要求14中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述算出工序中的距离测定，是使所述模具与所述玻璃基板上模压树脂之面的反面持所定间隔平行地、边扫描所述模具的平坦面边进行的。
16.一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板， 再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在各循环的前一循环的脱模工序之后，具有测定所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置之间的距离之工序，在各循环的转印工序中，根据在该测定工序测定到的距离，修正所述模具的模压位置。
17.如权利要求16中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，根据在所述测定工序测定到的距离，进一步修正所述树脂向所述模具的滴下量。
18.如权利要求16或17中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述距离测定是分别检出并算出所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置和所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置。
19.一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板， 再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在各循环的前一循环的脱模工序之后下一循环的分配工序之前，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置与所述玻璃基板上为模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置，测定该非透镜部位置及第2玻璃位置间的距离之用传感检测工序，在下一循环的分配工序中，根据在所述用传感检测工序测定到的测定距离，修正所述树脂向所述模具的滴下量。
20.如权利要求3中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述用传感检测工序中的距离测定，是使所述模具与所述玻璃基板上模压树脂之面的反面持所定间隔平行地、边扫描所述模具的平坦面边进行的。
21.一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环，在所述玻璃基板的第1位置上进行从分配工序到脱模工序的处理，然后， 使所述模具相对所述玻璃基板移动，在所述玻璃基板的第2位置上再进行上述1循环，多次反复上述，在所述玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在第1循环之前，具有在所述玻璃基板的多个位置，测定玻璃基板的所述玻璃基板上为模具模压树脂一面的第1玻璃位置与玻璃基板的所述玻璃基板上为模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置之预用传感检测工序，在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置、算出与所述预用传感检测工序测定到的所述第1玻璃位置或所述第2 玻璃位置间的距离之工序，在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述算出工序测定算出的距离，修正转印工序中模具对玻璃基板的模压位置或滴下量。
22.如权利要求21中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，所述预用传感检测工序中测定所述玻璃基板的多个位置，是在所述各循环中相对移动的玻璃基板上的位置。
23.一种晶片透镜的制造方法，备有分配工序，在平坦面和在该平坦面具有成型面的模具中滴下光固化性树脂；转印工序，将所述模具和玻璃基板的一方压到另一方；曝光工序，在所述转印工序之后对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，从所述模具脱模所述玻璃基板；作为1循环对1张玻璃基板进行从分配工序到脱模工序的处理，然后交换玻璃基板， 再进行上述1循环，多次反复上述，在多张玻璃基板上依次形成树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，在第1循环之前，具有在所述玻璃基板的多个位置，测定玻璃基板的所述玻璃基板上模具模压树脂一面之第1玻璃位置与玻璃基板的所述玻璃基板上模具模压树脂一面之反面的第2玻璃位置之预用传感检测工序，在各循环的前一循环的脱模工序之后下一循环的分配工序之前，具有检测所述透镜部周边非透镜部的非透镜部位置、算出与所述预用传感检测工序测定到的所述第1玻璃位置或所述第2玻璃位置间的距离之工序，在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据在所述算出工序测定算出的距离，修正转印工序中模具对玻璃基板的模压位置或滴下量。
全文摘要
本发明的课题是在晶片透镜的制造中使光轴上的厚度为一定。该课题的晶片透镜的制造方法，备有在模具(64)上滴下树脂的分配工序；将模具(64)和玻璃基板(2)的一方压到另一方的转印工序；从模具(64)脱模玻璃基板(2)的脱模工序；作为1循环反复从分配工序到脱模工序的处理，在玻璃基板(2)上依次形成树脂制透镜部(4)，其中，在第1循环的脱模工序和第2循环的分配工序之间，测定透镜部(4)周边非透镜部(6)的高度位置(A)和玻璃基板(2)的高度位置(B、C)，在第2循环和该第2循环以后的转印工序中，根据高度位置(A～C)，修正模具(64)的配置。
文档编号B29C39/06GK102497966SQ20108003847
公开日2012年6月13日 申请日期2010年8月23日 优先权日2009年8月31日
发明者泷谷俊哉, 细江秀, 藤井雄一, 藤本章弘 申请人:柯尼卡美能达精密光学株式会社