包括三维物体的支承表面间歇靠近容器底部所根据的运动的生产三维物体的立体光刻方 ...的制作方法
【专利摘要】本发明为用于通过立体光刻以分层的方式生产三维物体的方法，该方法包括以下操作：移动支承表面(6a、7a)靠近容纳液态物质(3)的容器(2)的底部(2a)，以将支承表面(6a、7a)设置在预定操作位置(17)；用预定辐射(4)选择性地照射液态物质(3)的层(6)以使层(6)靠着支承表面(6a、7a)凝固。靠近运动(11)包括具有对应的预定长度(13、13a、13b、13c)的多个靠近移动(12、12a、12b、12c)，所述多个靠近移动(12、12a、12b、12c)通过对应的中间停止期(14、14a、14b)隔开对应的预定的时间间隔(15、15a、15b)，中间停止期(14、14a、14b)在支承表面(6a、7a)至少部分地浸没在液态物质(3)中时被执行。
【专利说明】包括三维物体的支承表面间歇靠近容器底部所根据的运动的生产三维物体的立体光刻方法，和使用该方法的立体光刻机
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于三维物体的生产的立体光刻方法和使用所述方法的立体光刻机。
【背景技术】
[0002]已知立体光刻机包括用于适于通过暴露于预定的福射-通常为光福射-而凝固的液态物质的容器。
[0003]上述辐射由辐射发射装置产生，该辐射发射装置选择性地照射液态物质的具有预定厚度且设置成使得其与容器的底部相邻的层，以使该层凝固。
[0004]该机器还包括模制板，该模制板面向容器的底部并且设置有用于要获得的三维物体的支承表面。
[0005]上述模制板与移动装置相关联，该移动装置适于根据与容器的底部垂直的方向移动模制板。
[0006]使用上述类型的机器，物体通过将具有预定厚度的一系列层叠置来生产。
[0007]更精确地，根据该生产方法，模制板首先在距离容器的底部与物体的第一层的厚度相等的距离处设置有浸没在液态物质中的支承表面。
[0008]因此限定了液态物质的层，该层与容器的底部相邻，并且被辐射发射装置在对应于物体的第一层的表面区域的部分中选择性地照射，从而形成粘附于支承模制板的表面的对应的凝固层。
[0009]相继地，首先移动模制板远离容器的底部以将凝固层与底部本身分离。
[0010]以此方式，液态物质被允许在模制板下方流动，并且因此恢复了用于形成物体的一系列层所需的液层。
[0011]相继地，模制板再次移动靠近容器的底部以将先前凝固的层设置在距离底部与要获得的连续层的厚度相等的距离处。
[0012]物体的新层的凝固以类似于先前层的凝固的方式执行，并且与先前层的表面接触，该表面用作新层的支承表面。
[0013]重复上述过程直到组成物体的所有层已经凝固为止。
[0014]上述方法造成模制板和物体的已经凝固的部分靠近容器底部的运动由于在该运动期间必须被替换的液态物质的粘性而受到一定阻力的缺点。该阻力在正形成的三维物体上施加压缩力并且在容器的底部上施加推力，这些力的本质主要取决于板运动速度、板的表面面积、已经凝固的物体的表面面积以及液态物质的物理性能。
[0015]超过给定的阈值时，所述压缩力会引起形成的三维物体的破损，继而需要从开始再次重复启动的程序。
[0016]为了避免这种情形，需要限制模制板靠近容器底部的速度。
[0017]明显地，所述速度限制使得不可能将板靠近每层所需的时间减少得超过给定值，这将负面地影响物体的总生产时间。
[0018]此外，即使将压缩力限制成低于破损阈值的值，所述压缩力仍然由于相对较小的横截面而使形成的物体受到一定的弹性变形，该横截面通常是使用立体光刻方法生产的物体所特有的。
[0019]可以理解的是，压缩力以及因此的弹性变形并没有在板一停止就消失，而是在消失之前需要一定的时间，这段时间为液态物质完全流出和随之发生的物体的弹性回复所需的时间。
[0020]显然,连续层的凝固直到所述弹性变形减小到剩余值(residual value)时才发生，该剩余值为不会引起正形成的三维物体中的任何扭曲的值。
[0021]在液态物质非常粘的情况下，正如经常发生的一样，所述流出需要相对较长的时间，而这增大了物体生产过程的持续时间。
[0022]上述机器造成的另一缺点在于模制板越大，施加在液态物质上的压缩力越大，并且因此，物质本身在板的浸没期间溅出容器的风险越大。
[0023]因此，靠近运动的速度的减小必须与板的尺寸的增大成比例，这将进一步延长生产过程的持续时间。
[0024]另一缺点在于，上述推力在容器的底部上产生了疲劳应力，这导致容器的磨损以及容器随着时间的流逝的损坏。
[0025]因此涉及到需要周期性地更换容器，伴随必须停止生产的不便和承受替换成本。
[0026]在上述机器的已知的变体实施方式中，设置有玻璃壁以支承容器。
[0027]玻璃壁限制了容器的变形并且还防止容器的任何不合时宜的破损引起机器中所含液态物质流出而损坏通常设置在容器下方的辐射放射装置。
[0028]显然，在该变体中，上述压缩应力和任何损坏在任何情况下均被传递至玻璃壁，该玻璃壁就像容器一样会受到逐渐的磨损。
[0029]本发明意在克服上文概述的已知技术中的所有缺点。
【发明内容】
[0030]特别地，本发明的第一个目的是提供一种用于使用立体光刻机以分层的方式制造三维物体的方法，这使得可以限制正形成的三维物体所受到的压缩应力和在模制板靠近底部本身期间施加在容器的底部上或任何支承玻璃壁上的推力两者。
[0031]本发明的另一目的是研发上述方法，使得其可以容易地应用于已知类型的立体光刻机。
[0032]上述目的通过根据主要权利要求实施的用于生产三维物体的方法来实现。
[0033]作为本发明的主题的方法的其他特征和细节在对应的从属权利要求中描述。
[0034]上述目的还通过根据权利要求11构造的立体光刻机来实现。
[0035]有利地，减小应力使得可以减少正形成的物体靠近容器的底部所需的时间，从而减少了物体每一层的处理时间，并且因此，减少了过程循环的总的持续时间。
[0036]仍有利地，减小应力使得可以限制正形成的物体的弹性变形，从而减少了其弹性回复时间。仍有利地，物体的层所受到的减小的应力使得可以获得具有比通过已知方法获得的物体的横截面更大的横截面的物体，同时保持了相同的靠近时间和所使用的液态物质的相同的物理特性。
[0037]仍有利地，施加在容器或支承玻璃壁上的减小的应力使得可以增加容器或支承玻璃壁的持续时间以减少更换的需要。
[0038]仍有利地，由模制板在浸没期间施加在液态物质上的减小的压缩力减小了物质本身溅出的风险。
【专利附图】
【附图说明】
[0039]所述目的和优势以及下文中将重点描述的其他目的和优势在本发明的两个优选实施方式的描述中示出，所述两个优选实施方式通过参照附图借助于非限制性示例提供，其中:
[0040]-图1示出了根据本发明的立体光刻机；
[0041]-图2示出了不同操作构型的图1中示出的立体光刻机；
[0042]-图3示出了在为本发明的主题的方法的应用期间支承物体的凝固层的表面的运动的示意图；
[0043]-图4示出了在为本发明的主题的方法的变体的应用期间支承物体的凝固层的表面的运动的示意图。
【具体实施方式】
[0044]参照图1中作为整体由I表示的立体光刻机来描述作为本发明的主题的用于生产三维物体的方法。
[0045]上述立体光刻机I包括容器2，该容器2用于容纳适于通过暴露于预定辐射4而被凝固的液态物质3。
[0046]机器I还包括适于放射所述预定辐射4的装置5，该装置5能够选择性地照射液态物质3的具有预定厚度且设置成与容器2的底部2a相邻的层6。
[0047]液层6的照射导致了物体的对应的凝固层6’的形成，如图2中示意性地示出的。
[0048]优选地但不是必须地，所述预定辐射4为通过上述放射装置5的激光束，该激光束选择性地指向对应于要被生产的物体的体积的区域。
[0049]另一方面，显然，在未在本文中示出的本发明的变体实施方式中，放射装置可以为任何其他已知类型。
[0050]机器I还包括致动器装置8，致动器装置8适于根据与底部2a垂直的运动方向Z相对于容器2的底部2a来移动凝固层6’。
[0051]优选地，所述致动器装置8包括模制板7，模制板7设置有面向容器2的底部2a的表面7a以支承所述凝固层6’。
[0052]立体光刻机I还包括操作性地连接至放射装置5和致动器装置8的逻辑控制单元9，并且该逻辑控制单元9构造成实施根据本发明的方法，如下文所述。
[0053]优选地，所述逻辑控制单元9为可编程装置并且上述构型通过将IT程序加载到所述装置上来获得，一旦执行IT程序，本发明的方法得以实施。
[0054]根据本发明的方法，模制板7的表面7a首先通过第一共同定位运动11移动靠近容器2的底部2a，该第一共同定位运动11具有预定的范围并且在图3的图表中示出，图3表示了表面7a相对于作为时间T的函数的运动方向Z的位置。
[0055]应该理解的是，当模制板7的表面7a靠近底部2a时，允许液态物质3朝向板7的边缘流出的表面7a与底部2a之间的空气空间(air space)逐渐变小,从而使得该流出越来越困难。
[0056]因此，液态物质3的先前描述的在表面7a和底部2a上的反推力在所述靠近运动期间逐渐增大。
[0057]在底部2a靠在例如由玻璃制成的支承壁上的情况下，施加在底部2a上的推力明显地被传递至所述壁。
[0058]一旦表面7a已经到达图1中示出的并与距离底部2a与液态物质3的层6的预定厚度相等的距离对应的预定操作位置17时，液态物质3的层6由预定辐射4照射以获得对应的凝固层6’。
[0059]表面7a在整个凝固阶段期间保持在所述操作位置17中，如图2中示出并在图3中由18表示的。
[0060]相继地，致动器装置8借助于共同后退运动19将凝固层6’与容器2的底部2a分离。
[0061]为了物体的一系列层的形成，所述凝固层6’通过第二类似定位运动11再一次移动靠近容器2的底部2a，但第二类似定位运动11不是必须与上述第一共同定位运动11相同。
[0062]明显地，相继凝固的层将由已经凝固的层6’的面向底部2a的表面6a支承。
[0063]清楚地，在第二定位运动11期间，容器2的底部2a受到与参照第一定位运动11描述的推力类似的推力。
[0064]所述推力同样作用在凝固层6’上，使凝固层6’受到如上所述的应力并且使凝固层6’发生弹性变形。
[0065]明显地，所述推动作用产生在三维物体的连续层中的每个层上。
[0066]特别地，随着凝固层的数目和因此形成的物体的高度的增加，在靠近底部2a期间在物体上引起的弹性变形由于液态物质3的反作用力而相应地增大。
[0067]根据本发明的方法，上述定位运动11中的一个或更多个定位运动包括覆盖相应的预定长度13、13a、13b和13c的多个靠近移动12、12a、12b和12c。
[0068]所述靠近移动12、12a、12b和12c由持续了相应的预定时间间隔15、15a、15b的中间停止期14、14a、14b间隔开，中间停止期14、14a、14b在意于支承连续凝固层6’的表面6a或7a至少部分地浸没在液态物质3中时被实施。
[0069]如先前所述，在定位运动11首先发生的情况下，即，在物体的第一层凝固之前发生定位运动11的情况下，所述支承表面为模制板7的表面7a，而在物体的第一层凝固之后发生定位运动的情况下，所述支承表面为最后凝固层6’的表面6a。
[0070]有利地，每个中间停止期允许液态物质3在支承表面6a或7a的侧部处流出，从而限制了施加在表面6a或7a上和容器2的底部2a上的压力。
[0071]因此，所述中间停止期14、14a、14b具有将正形成的物体上的压缩应力和施加在容器2的底部2a上的推力限制到与在已知类型的机器的情况下定位运动11为连续运动而产生的值相比更小的值的效果，从而实现了本发明的目的中的一个目的。
[0072]有利地，限制正形成的物体上的应力使物体的弹性变形也受到限制，从而减少了物体的连续弹性回复所需的时间。
[0073]此外，有利地，减小通过模制板7施加在液态物质3上的压缩力意味着减少了溅出容器2的风险。
[0074]仍有利地，停止间隔15、15a和15b允许内应力在立体物体中和容器2的底部2a中重新分配，从而进一步限制了所述应力的不良效果。
[0075]因此，有利地，与通过已知方法获得的废品的数目相比，本发明的方法使得可以减少废品的数目。
[0076]此外，有利地，通过本发明的方法获得的减小的应力使得可以生产具有比能够通过已知的立体光刻方法获得的物体的横截面更大的横截面的物体，其中，加工时间和液态物质的类型保持相同。
[0077]类似地，上述方法使得可以减小容器2的底部2a上和容器2的支承壁上的张应力，其中，具有延长这些部件的使用寿命的优点。
[0078]应该观察到，由于中间停止期14、14a和14b的出现而获得所有上述优点，并且因此，无需修改致动器装置8的速度。
[0079]因此，本发明的方法可以借助于对逻辑控制单元9的编程的简单修改而用于已知类型的立体光刻机中，其中，无需做出机械修改或添加复杂的系统以用于调整致动器装置8的速度，因此，实现了使本方法易于应用于已知类型的机器的另一目的。
[0080]可以以任何方式限定靠近移动12、12a、12b和12c，中间停止期14、14a和14b以及对应的预定长度13、13a、13b和13c和时间间隔15、15a和15b的数目。
[0081]此外，优选地使用所述靠近移动12中的第一个靠近移动来将支承表面6a或7a从初始位置移动至最终位置，在该初始位置，支承表面6a或7a在液态物质3的范围外，在该最终位置，支承表面6a或7a至少部分地浸没在液态物质3中。
[0082]另一方面，在本发明的一个变体实施方式中，所述第一靠近移动12可以在支承表面6a或7a已经浸没在液态物质3中的情况下开始。
[0083]根据本发明的一个变体实施方式，在图4的图表中示出的定位运动11’中，最终的靠近移动12c使得支承表面6a、7a超出操作位置17。
[0084]定位运动11’以后退运动12d结束，该后退运动12d将支承表面6a、7a以长度13d移动远离容器2的底部2a。
[0085]所述后退运动12d优选地与最终的靠近运动12c通过中间停止期14c间隔开了持续时间15c。
[0086]有利地，上文刚刚描述的定位运动11’使得可以减少正形成的物体的弹性回复时间。
[0087]事实上，最终的靠近移动12c将支承表面6a、7a定位在距离底部2a比液态物质3的要被凝固的层6的厚度更小的距离处，从而迫使液态物质3从支承表面6a、7a的边缘更快速地流出。
[0088]连续的后退移动12d除了将支承表面6a、7a设置在操作位置17中，还具有减小施加在正形成的物体上和底部2a上的应力的效果。
[0089]优选地，确定最终的靠近移动12c和后退移动12d的范围以及中间停止期14c的持续时间以使得正形成的物体在后退运动12d之后的剩余弹性变形使得可以在后退移动12d —完成就照射层6，而不会引起正形成的三维物体中的扭曲。
[0090]优选地，与所采用的定位运动11、11’无关，在开始定位运动之前确定从靠近移动
12、12a、12b和12c以及后退移动12d的长度、中间停止期14、14a、14b、14c以及对应的时间间隔15、15a、15b、15c的数目中选择的一个或更多个参数的值。
[0091]以这种方式，所述选定的参数与致动器装置8的反馈无关，从而避免了中间停止期的可能的延迟，对本方法的精确性和可靠性是有利的。
[0092]优选地但不是必须的，所述选定的参数的值根据支承表面6a、7a的表面面积来计算。有利地，所述计算使得可以使每个定位运动11、11’最优化，以将定位运动的范围以及因此其持续时间减小到最小值。
[0093]特别地，根据本方法，根据支承表面6a、7a的表面面积优选地限定了一条曲线来表示所述选定的参数中的每个参数。
[0094]所述预定曲线可以存储在立体光刻机I的逻辑控制单元9中以简化所述计算。
[0095]优选地，所选择的参数的值根据所述表面面积与其周长之间的比值来计算，该比值表示层的形状。
[0096]以这种方式，有利地，可以将液态物质3的流出时间不仅取决于支承表面6a、7a的表面面积而且取决于其周长的事实考虑在内。
[0097]更精确地，在具有相同的表面面积的所有可能的形状中，支承表面的圆形形状为具有最小周长的形状，并且因此是提供液态物质3更少逸出机会的圆形形状，因此，延长了流出时间。
[0098]相反地，与具有相同表面面积的圆形层相比，以更长的周长为特征的支承表面为液态物质3提供了更多的逸出机会，并且因此流出时间比具有最小周长的圆形形状的情况更短。
[0099]因此，中间停止期14、14a和14b和/或对应的时间间隔15、15a和15b的数目由于支承表面6a、7a的形状变得与圆形形状越来越不同而可以被减少，然而，对靠近运动12、12a、12b和12c的长度来说情况完全相反。
[0100]用于上述形状比值的可能公式如下:
[0101]R = 4 31 A/P2
[0102]其中，R表示形状比值，A表示支承表面的表面面积，以及P表示支承表面的周长。
[0103]显然，上述形状比值在支承表面具有圆形形状时假定了等于I的最大值并且随着支承表面变得更平而逐渐减小到0(零)。根据本发明的方法的一个变体实施方式，上述选定的参数的计算可以考虑具有与上文的公式相比更简化的公式的另一形状参数。
[0104]优选地，上述形状参数的计算需要将支承表面6a、7a的表面面积划分成具有预定尺寸的多个单元，所述多个单元中的每个单元均分配有与与其相邻的单元的数目成比例的重量。
[0105]将单元的重量总计在一起以获得上述形状参数，其用来计算所选择的参数的值以取代所述形状比值。
[0106]明显地，甚至可以结合上述方法来执行所选择的参数的计算，S卩，利用表面面积、形状比值和/或彼此结合的形状参数来执行。
[0107]显然，简化的方法特别适于在支承表面具有复杂的几何形状时使用。
[0108]优选地，在支承表面由彼此分离的若干表面构成的情况下，在所选择的参数的计算中，仅考虑表面面积、形状比值和/或与表面面积超过预定值的部分对应的形状参数或仅与具有最大表面面积的部分对应的形状参数。
[0109]有利地，这使得可以在没有增大正形成的物体的破损的风险的情况下使靠近时间和/或相应的运动范围最小化。
[0110]事实上，应该考虑的是，所述部分中的每个部分均受到与作用在其他部分上的推力基本上无关的推力，并且因此，可以仅根据推力更大的部分一意味着具有更大的表面面积的部分一来限定所选择的参数。
[0111]同样显然地，在本发明的方法的另外的变体中，靠近移动12、12a、12b、12c和后退移动12d的长度、中间停止期14、14a、14b和14c的数目和/或对应的时间间隔15、15a、15b和15c的数目可以在开始构造模型之前最后一次确定并且对所有层来说保持不变。
[0112]在任何情况下，优选地但不是必须的，第一中间停止期14之后的靠近移动12a、12b和12c的长度为计算简单的缘故而限定成相同的。
[0113]此外，上述参数的值可以可根据除上述那些参数之外的其他参数来限定，例如液态物质的粘度和密度、致动器装置8的运动速度、容器2中存在的液态物质3的最大深度、底部2a或相应的支承壁的机械阻力以及凝固层6’的机械阻力。
[0114]借助于示例，对于已知类型的立体光刻机而言，包括在I与20之间的停止期的中间数目、包括在5微米与200微米之间的每个靠近移动12a、12b和12c的长度以及包括在
0.01秒与I秒之间的时间间隔15、15a和15b的持续时间可以适用于大多数应用。
[0115]根据上述方法的应用示例，要被生产的物体的每一层的数值表示被处理并且提供给逻辑控制单元9。
[0116]根据所提供的数据，逻辑单元9确定中间停止期14、14a、14b和14c的数目，它们的持续时间15、15a、15b、15c的数目以及靠近移动13、13a、13b、13c、13d的范围，以将模制板7的支承表面7a设置在操作位置17中，从而操作致动器装置8。
[0117]相继地，逻辑单元9激活放射装置5以形成第一凝固层6’。
[0118]模制板7随后移动远离底部2a，使得凝固层6’与底部2a分离。
[0119]在连续层凝固之前，第二定位运动11将具有表面6a的先前凝固的层6’定位在操作位置17中。
[0120]上文示出了用于生产三维物体的方法，并且上述立体光刻机实现了所有设定目的。特别地，间歇性定位运动使得可以在这些元件移动靠近彼此时减小凝固层上的应力和容器的底部上的应力。
[0121]因此，可以相对于使用已知类型的机器时所需的持续时间减少靠近运动的持续时间，其中，物体具有相同的几何形状。
[0122]此外，本发明的方法基于通过对机器设定的简单修改而容易地应用于已知类型的立体光刻机的间歇性运动。
[0123]根据实施，作为本发明的主题的方法和机器即使在未在本文中描述并且未在附图中示出的情况下仍会被进一步改变，所有改变在它们落在以上权利要求的范围内的情况下必须被认为受到本专利的保护。
[0124]在任何权利要求中提及的技术特征跟随有附图标记的情况下，这些附图标记已经包括用于加强权利要求的可理解性的唯一目的，并且因此这些附图标记对借助于示例由这些附图标记识别的每个元件的保护没有任何限制效果。
【权利要求】
1.一种用于借助于如下类型的立体光刻机(I)以分层的方式生产三维物体的方法，所述类型的立体光刻机(I)包括: -容器(2)，所述容器(2)用于容纳适于通过暴露于预定辐射(4)而凝固的液态物质(3)； -用于放射所述预定辐射(4)的装置(5)，所述装置(5)适于选择性地照射所述液态物质(3)的具有预定厚度且设置成与所述容器(2)的底部(2a)相邻的层(6)，以使所述层(6)凝固； -支承表面^a、7a)，所述支承表面(6a、7a)用于所述凝固层(6’)，所述支承表面(6a、7a)面向所述容器(2)的所述底部(2a)； -致动器装置(8)，所述致动器装置(8)适于至少根据与所述底部(2a)垂直的方向(Z)相对于所述底部(2a)移动所述支承表面(6a、7a)； 所述方法包括以下操作: -通过共同定位运动(11、11’)移动所述支承表面(6a、7a)靠近所述底部(2a)，以将所述支承表面(6a、7a)设置成在预定操作位置(17)与所述液态物质的所述层(6)接触； -在所述支承表面(6a、7a)处于所述操作位置(17)的情况下，选择性地照射所述层(6)以使所述层(6)凝固； 其特征在于，所述定位运动(11、11’)包括具有对应的预定长度(13、13a、13b、13c)的多个靠近移动(12、12a、12b、12c)，所述多个靠近移动(12、12a、12b、12c)通过对应的中间停止期(14、14a、14b)间隔开对应的预定时间间隔(15、15a、15b)，所述中间停止期(14、14a、14b)在所述支承表面(6a、7a)至少部分地浸没在所述液态物质(3)中时被执行。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在开始所述定位运动(11、11’)之前确定从所述靠近移动(12、12a、12b、12c)的所述长度(13、13a、13b、13c)、所述中间停止期(14、14a、14b)的数目以及对应的所述时间间隔(15、15a、15b)中选择的至少一个参数的值。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所选择的参数(13、13a、13b、13c、14、14a、14b、15、15a、15b)的值根据所述支承表面$a、7a)的表面面积来计算。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述所选择的参数(13、13a、13b、13c、14、14a、14b、15、15a、15b)的值根据所述表面面积与所述支承表面(6a、7a)的周长之间的比值来计算。
5.根据权利要求3或4中任一项所述的方法，其特征在于，所述所选择的参数(13、13a、13b、13c、14、14a、14b、15、15a、15b)的所述计算包括以下操作: -将所述支承表面(6a、7a)的所述表面面积划分成多个单元； -为每个单元分配与所述单元的相邻单元的数目成比例的重量； -计算所述重量的总和以获得形状参数； -根据所述形状参数计算所述所选择的参数(13、13a、13b、13c、14、14a、14b、15、15a、15b)的值。
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述中间停止期(14)中的第一个中间停止期之后的所述靠近移动(12a、12b、12c)具有彼此相等的相应的长度(13a、13b、13c)。
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述支承表面^a)属于所述三维物体的所述凝固层(6’)。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，所述支承表面(7a)属于模制板(7)，所述模制板(7)属于所述致动器装置(8)。
9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述靠近移动的最后一个靠近移动(12c)使得移动所述支承表面(6a、7a)超过所述操作位置(17)，所述定位运动(11’ )以所述支承表面(6a、7a)远离所述底部(2a)的后退运动(12d)终止。
10.一种如下类型的立体光刻机(1)，包括: -容器(2)，所述容器(2)用于容纳适于通过暴露于预定辐射(4)而凝固的液态物质(3)； -用于放射所述预定辐射(4)的装置(5)，所述装置(5)适于选择性地照射所述液态物质(3)的具有预定厚度且设置成与所述容器(2)的底部(2a)相邻的层(6)，以使所述层(6)凝固； -致动器装置(8)，所述致动器装置(8)适于根据与所述底部(2a)垂直的方向(Z)相对于所述底部(2a)移动所述凝固层(6’)， 其特征在于，所述立体光刻机(I)包括逻辑控制单元(9)，所述逻辑控制单元(9)操作性地连接至所述放射装置(5)和所述致动器装置(8)，并且所述逻辑控制单元(9)构造成实施根据前述权利要求中任一项所述的方法。
11.一种逻辑控制单元(9)，所述逻辑控制单元(9)构造成根据权利要求1至9中任一项要求的方法控制立体光刻机(I)。
12.—种IT编程产品，所述IT编程产品包括数据支持部，所述数据支持部设置有软件部分，所述软件部分构造成使得当在可编程装置上执行所述软件部分时，所述软件部分使所述可编程装置用作根据权利要求11所述的逻辑控制单元(9)。
【文档编号】B29C67/00GK104136200SQ201380011083
【公开日】2014年11月5日 申请日期:2013年7月15日 优先权日:2012年7月16日
【发明者】罗伯托·福尔图纳托, 塞尔焦·泽内雷 申请人:Dws有限公司