掩模版贴膜方法、装置及存储介质与流程

本发明涉及掩模版，尤其涉及一种掩模版贴膜方法、装置及存储介质。

背景技术：

1、掩模版在生产过程中，为了防止微尘颗粒掉落在图形区表面，需要在掩模版出货前进行贴膜操作，贴膜后的掩模版需要再次放入自动光学检测设备aoi进行检测，确保被膜层组件即pellecle膜所保护的图形区表面无微尘颗粒污染。

2、相关技术中，在实际生产过程中，膜层组件通过高分子粘接剂粘贴在掩模版表面后再次进行aoi扫描，经常发现被膜层组件保护的图形区表面存在微尘颗粒污染的情况，这种情况下，需要先将固定在掩模版表面的膜层组件移除，才能对掩模版表面的微尘颗粒进行清洁，具体操作过程为：掩模版生产完成后上aoi检测，若检测后发现无缺陷和微尘颗粒，接着将膜层组件粘贴在掩模版的图形面，保护主图形区，贴完膜层组件后，带膜的掩模版继续在aoi设备中进行检测，如果检测通过，则打包出货，如果检测不通过，首先需要移除粘贴在掩模版表面的膜层组件，其次，如果掩模版表面有胶水残留，需要人工去除掩模版表面的残胶，接着上清洗设备清洗，aoi检验，若检测后发现无缺陷和微尘颗粒，接着将膜层组件粘贴在掩模版的图形面，保护主图形区，贴完膜层组件后，带膜的掩模版继续在aoi设备中进行检测，如果检测通过，则打包出货，如果检测不通过，则反复重复上述步骤直到贴膜后无缺陷。

3、但是，通过人工对残留在掩模版表面的部分胶水进行清除时，容易导致掩模版被划伤报废，在移除掩模版上的膜层组件的过程中，移除操作工艺复杂，移除过程风险较大，极容易导致膜层组件报废。

技术实现思路

1、本发明的主要目的在于：提供一种掩模版贴膜方法、装置及存储介质，旨在解决现有技术中对残留在掩模版表面的部分胶水进行清除时，极容易导致膜层组件报废的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

3、第一方面，本发明提供了一种掩模版贴膜装置，包括：

4、基座，所述基座上可拆卸地连接有所述掩模版；

5、膜层组件，所述膜层组件设置于所述基座的上方，所述膜层组件的周向形成有孔口朝外的定位孔，且所述定位孔沿水平方向延伸；所述膜层组件内形成有容胶腔，所述膜层组件的顶部和底部分别形成有与所述容胶腔连通的第一通孔和第二通孔，且所述第二通孔对应所述掩模版的位置设置；所述第二通孔的孔径小于所述第一通孔的孔径；

6、定位机构，所述定位机构设置于所述基座，所述定位机构通过所述定位孔与所述膜层组件可拆卸地连接，所述定位机构用于驱动所述膜层组件相对所述掩模版升降。

7、可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述第二通孔的数量为多个，多个所述第二通孔沿所述膜层组件的周向分布，且所述第二通孔的孔口朝向所述掩模版设置。

8、可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述定位孔的数量为多个，多个所述定位孔间隔设置且分布于所述膜层组件的相对两侧。

9、可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述膜层组件包括膜框和膜体，所述膜体设置于所述膜框，所述膜框的周向形成有所述定位孔，所述膜框内形成有所述容胶腔，所述膜框的顶部和底部分别形成有所述第一通孔和所述第二通孔。

10、可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述定位机构包括升降组件和伸缩组件，所述升降组件的固定端设置于所述基座，所述升降组件的升降端通过所述伸缩组件与所述定位孔可拆卸地连接，所述升降组件用于驱动所述伸缩组件带动所述膜层组件相对所述掩模版升降。

11、可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述伸缩组件的连接端与所述升降组件的升降端连接，所述伸缩组件的伸缩端对应所述定位孔的位置设置，所述伸缩组件的伸缩端可在伸入所述定位孔的连接位置与脱出所述定位孔的释放位置之间往复移动。

12、可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述伸缩组件的伸缩端设置有定位模块，所述定位模块的感应端沿水平方向设置，所述定位模块用于在所述伸缩端伸入所述定位孔之前，感应所述定位孔的位置。

13、可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述伸缩组件的连接端设置有感应模块，所述感应模块的感应端沿竖直方向设置，所述感应模块用于在所述升降组件驱动所述伸缩组件带动所述膜层组件相对所述掩模版升降时，感应所述膜层组件与所述掩模版之间的距离。

14、第二方面，本发明提供了一种掩模版贴膜方法，应用如上述的掩模版贴膜装置，所述方法包括：

15、将所述掩模版连接于所述基座，并利用所述定位机构驱动所述膜层组件朝靠近所述掩模版的方向下降；

16、获取所述膜层组件与所述掩模版之间的间距，形成待填充间隙；

17、当所述膜层组件与所述掩模版之间的间距满足预设间距时，打开所述第一通孔，使所述容胶腔中的胶体自所述第二通孔流出并填充于所述待填充间隙中，形成液膜层；

18、检测并判断所述掩模版是否存在缺陷；

19、若否，则固化所述液膜层，完成所述掩模版的贴膜过程；

20、若是，则利用所述定位机构驱动所述膜层组件朝靠近远离所述掩模版的方向上升，清洗所述掩模版上的所述液膜层，并对所述掩模版再次贴膜，直至所述掩模版不存在所述缺陷。

21、第三方面，本发明提供了一种计算机可读存储介质所述存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，实现如上述的掩模版贴膜方法的步骤。

22、本发明提供的上述一个或多个技术方案，可以具有如下优点或至少实现了如下技术效果：

23、本发明提出的一种掩模版贴膜方法、装置及存储介质，通过定位机构和膜层组件，在打开膜层组件的第一通孔并利用容胶腔和第二通孔向掩模版和膜层组件之间的间隙填充液态胶体并经aoi检测后，若掩模版的图形区存在微尘颗粒，利用定位机构驱动膜层组件远离掩模版，并对液态胶体直接进行清洗即可去除液态胶体，再重新利用定位机构和膜层组件对掩模版进行贴膜直至掩模版的图形区不存在微尘颗粒即可，膜层组件使用于粘接其与掩模版的液态胶体能够准确的覆盖于指定区域，且可在不固化液态胶体的情况下稳定液态胶体的位置，为确认掩模版的图形区不存在微尘颗粒后，再固化液态胶体的操作提供了操作条件，由于液态胶体易于被清理，通过人工对残留在掩模版表面的部分胶水进行清除时，不会划伤掩模版，降低了移除膜层组件的工艺难度，降低了移除膜层组件的操作风险，避免膜层组件报废，控制了掩模版产品的生产成本，且提高了掩模版产品的生产效率。

技术特征：

1.一种掩模版贴膜装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的掩模版贴膜装置，其特征在于，所述第二通孔的数量为多个，多个所述第二通孔沿所述膜层组件的周向分布，且所述第二通孔的孔口朝向所述掩模版设置。

3.如权利要求1所述的掩模版贴膜装置，其特征在于，所述定位孔的数量为多个，多个所述定位孔间隔设置且分布于所述膜层组件的相对两侧。

4.如权利要求1所述的掩模版贴膜装置，其特征在于，所述膜层组件包括膜框和膜体，所述膜体设置于所述膜框，所述膜框的周向形成有所述定位孔，所述膜框内形成有所述容胶腔，所述膜框的顶部和底部分别形成有所述第一通孔和所述第二通孔。

5.如权利要求1至4任一项所述的掩模版贴膜装置，其特征在于，所述定位机构包括升降组件和伸缩组件，所述升降组件的固定端设置于所述基座，所述升降组件的升降端通过所述伸缩组件与所述定位孔可拆卸地连接，所述升降组件用于驱动所述伸缩组件带动所述膜层组件相对所述掩模版升降。

6.如权利要求5所述的掩模版贴膜装置，其特征在于，所述伸缩组件的连接端与所述升降组件的升降端连接，所述伸缩组件的伸缩端对应所述定位孔的位置设置，所述伸缩组件的伸缩端可在伸入所述定位孔的连接位置与脱出所述定位孔的释放位置之间往复移动。

7.如权利要求6所述的掩模版贴膜装置，其特征在于，所述伸缩组件的伸缩端设置有定位模块，所述定位模块的感应端沿水平方向设置，所述定位模块用于在所述伸缩端伸入所述定位孔之前，感应所述定位孔的位置。

8.如权利要求5所述的掩模版贴膜装置，其特征在于，所述伸缩组件的连接端设置有感应模块，所述感应模块的感应端沿竖直方向设置，所述感应模块用于在所述升降组件驱动所述伸缩组件带动所述膜层组件相对所述掩模版升降时，感应所述膜层组件与所述掩模版之间的距离。

9.一种掩模版贴膜方法，其特征在于，应用如权利要求1至8中任一项所述的掩模版贴膜装置，所述方法包括：

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，实现如权利要求9所述的掩模版贴膜方法的步骤。

技术总结
本发明公开了一种掩模版贴膜方法、装置及存储介质，掩模版贴膜装置包括基座、膜层组件和定位机构，基座上可拆卸地连接有掩模版；膜层组件设置于基座，膜层组件的周向形成有孔口朝外的定位孔，定位孔沿水平方向延伸；膜层组件内形成有容胶腔，膜层组件的顶部和底部分别形成有与容胶腔连通的第一通孔和第二通孔，且第二通孔对应掩模版的位置设置；定位机构设置于基座，定位机构通过定位孔与膜层组件可拆卸地连接，定位机构用于驱动膜层组件相对掩模版升降。本发明通过定位机构和膜层组件，确认掩模版的图形区不存在微尘颗粒后，再固化液态胶体的操作提供了操作条件，降低了移除膜层组件的工艺难度，避免膜层组件报废，提高了掩模版产品的生产效率。

技术研发人员：雷健,黄执祥,王栋,何祥,郭成恩
受保护的技术使用者：深圳市龙图光罩股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15