引线框架干胶膜层压装置的制作方法

本技术涉及半导体，具体涉及一种引线框架干胶膜层压装置。

背景技术：

1、引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，是电子信息产业中重要的基础材料。

2、常见的引线框架的加工采用两种不同形式的工艺：冲压型工艺和蚀刻型工艺。蚀刻型工艺主要包括贴膜制备和蚀刻成型两大步骤，首先需要在被压接材料的引线框架上进行电阻涂层操作，电阻涂层阶段中使用的抗蚀剂为液体或干膜形式。对于通常使用的干式，是利用层压设备，将干膜覆盖压在引线框架材料上来实现的。

3、在图5中示出了常规干膜层压装置的构造，常规的干膜层压装置包括交替使用的两个干膜辊轮，在其中一个干膜辊轮上的干膜耗尽后，会需要连接另一个干膜辊轮上的新的干膜。这时，其中一层干膜在压膜前被切割，而另一干膜辊轮的干膜被拉出来，将上述切割的两层干膜使用pp胶带粘合，再次进入正常压膜过程。

4、但是，在上述连接操作中，需要停机进行接续干膜的操作，会耽误相当长的时间，导致降低生产率并提高生产成本的问题。另外，如图6所示，由于切割的干膜辊轮和新连接的干膜辊轮之间存在间隙，因此很难将新连接的干膜辊轮准确地粘贴到材料中心，从而会影响后续贴膜的质量。

技术实现思路

1、为克服现有技术的不足，本实用新型提出一种引线框架干胶膜层压装置的干膜对接简单便利，能够大大缩短更换干膜所需要的时间，减少干膜的浪费，并且提高了干膜的对接精度。

2、为实现上述目的，本实用新型的引线框架干胶膜层压装置，包括用于放卷第一干膜的第一辊轮和用于放卷第二干膜的第二辊轮，第一辊轮和第二辊轮下方设有在引线框架基材上按压第一干膜或第二干膜的按压机构，按压机构上方设有用于将第一干膜或第二干膜导入按压机构的导辊轮，第一辊轮与导辊轮之间设有第一连膜机构，第二辊轮与导辊轮之间设有第二连膜机构。

3、进一步地，第一连膜机构与第二连膜机构结构相同，第一连膜机构包括吸附板，吸附板上设有若干吸附孔，吸附板背面设有真空吸管。

4、进一步地，吸附板上设有一对平行的导向槽，两个导向槽分别设置在吸附板具有吸附孔区域的两侧，两个导向槽之间的距离为可调的。

5、进一步地，导向槽的长度方向平行于第一干膜或第二干膜的出料方向。

6、进一步地，吸附孔在两个导向槽之间为等距均布的。

7、进一步地，按压机构包括分别设置在引线框架基材上下两侧的两对按压辊轮。

8、进一步地，导辊轮的数量为两个，两个导辊轮在竖直方向上为错开的。

9、本使用新型的引线框架干胶膜层压装置的干膜对接简单便利，能够大大缩短更换干膜所需要的时间，减少干膜的浪费，并且提高了干膜的对接精度。

技术特征：

1.一种引线框架干胶膜层压装置，其特征在于，包括用于放卷第一干膜(13)的第一辊轮(11)和用于放卷第二干膜(17)的第二辊轮(12)，所述第一辊轮(11)和第二辊轮(12)下方设有在引线框架基材(15)上按压第一干膜(13)或第二干膜(17)的按压机构，所述按压机构上方设有用于将第一干膜(13)或第二干膜(17)导入按压机构的导辊轮(16)，所述第一辊轮(11)与导辊轮(16)之间设有第一连膜机构(38)，所述第二辊轮(12)与导辊轮(16)之间设有第二连膜机构(39)。

2.根据权利要求1所述的引线框架干胶膜层压装置，其特征在于，所述第一连膜机构(38)与第二连膜机构(39)结构相同，所述第一连膜机构(38)包括吸附板(41)，所述吸附板(41)上设有若干吸附孔(43)，所述吸附板(41)背面设有真空吸管(42)。

3.根据权利要求2所述的引线框架干胶膜层压装置，其特征在于，所述吸附板(41)上设有一对平行的导向槽(40)，两个所述导向槽(40)分别设置在吸附板(41)具有吸附孔(43)区域的两侧，两个所述导向槽(40)之间的距离为可调的。

4.根据权利要求3所述的引线框架干胶膜层压装置，其特征在于，所述导向槽(40)的长度方向平行于第一干膜(13)或第二干膜(17)的出料方向。

5.根据权利要求3所述的引线框架干胶膜层压装置，其特征在于，所述吸附孔(43)在两个导向槽(40)之间为等距均布的。

6.根据权利要求1所述的引线框架干胶膜层压装置，其特征在于，所述按压机构包括分别设置在引线框架基材(15)上下两侧的两对按压辊轮(14)。

7.根据权利要求1所述的引线框架干胶膜层压装置，其特征在于，所述导辊轮(16)的数量为两个，两个所述导辊轮(16)在竖直方向上为错开的。

技术总结
本技术提出一种引线框架干胶膜层压装置，包括用于放卷第一干膜的第一辊轮和用于放卷第二干膜的第二辊轮，第一辊轮和第二辊轮下方设有在引线框架基材上按压第一干膜或第二干膜的按压机构，按压机构上方设有用于将第一干膜或第二干膜导入按压机构的导辊轮，第一辊轮与导辊轮之间设有第一连膜机构，第二辊轮与导辊轮之间设有第二连膜机构。该装置的干膜对接简单便利，能够大大缩短更换干膜所需要的时间，减少干膜的浪费，并且提高了干膜的对接精度。

技术研发人员：曹铉根
受保护的技术使用者：南京华易泰电子科技有限公司
技术研发日：20230217
技术公布日：2024/1/13