一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置的制作方法

本技术涉及橡胶混炼制备装置，更具体地说，本技术涉及一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置。

背景技术：

1、半导体制造的过程中，需要使用全氟醚橡胶进行密封，全氟醚橡胶生产时需要使用混炼制备装置，对全氟醚橡胶进行制备，在制备的过程中还需要添加配合剂，而配合剂一般是从制备装置的上方添加，这就导致配合剂无法快速充分的与物料接触混合，还可能导致部分物料接触的配合剂较少，影响全氟醚橡胶的品质。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置，具有均匀的添加配合剂的优点。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置，包括混炼仓，所述混炼仓的右侧固定安装有伺服电机一，所述伺服电机一的输出轴固定套装有混炼辊一，所述混炼辊一的左侧设置有传动组件，所述传动组件的右侧设置有混炼辊二，所述混炼仓的顶端固定安装有储存仓，所述储存仓的底端固定连接有抽取泵，所述抽取泵的输出端固定连接有输送管，所述混炼辊二的内腔开设有传输腔，所述传输腔的内腔固定安装有分流板，所述混炼辊二的后侧开设有出料腔。

3、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述混炼仓的顶端固定安装有控制阀，所述控制阀的顶端固定安装有切割仓，所述切割仓的顶端固定连接有伺服电机二，所述伺服电机二的输出轴固定套左右切割辊，所述切割辊的顶端固定连接有刮除杆。

4、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述混炼仓的底端固定安装有下料管，所述下料管的内腔滑动连接有堵塞板。

5、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述输送管与传输腔和出料腔的内腔贯通，所述分流板共有三个，三个所述分流板均固定安装在传输腔的内腔。

6、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述传动组件由两个啮合的齿轮组成，两个所述齿轮分别与混炼辊一和混炼辊二固定连接。

7、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述储存仓的顶端固定安装有l形圆管，所述混炼仓的底端固定安装有支撑脚。

8、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述切割仓的顶端固定安装有加料管，所述刮除杆与切割仓的内壁贴合。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

10、1、本实用新型通过启动伺服电机一带动混炼辊一运转，再通过传动组件驱动混炼辊二旋转，当混炼辊一和混炼辊二旋转进行混炼时，启动抽取泵将储存仓内腔的配合剂抽出，抽出的配合剂沿着输送管输送至传输腔的内腔，再通过分流板对配合剂进行分流，使得配合剂从出料腔排出从而均匀的与物料接触，从而实现了在物料混炼的过程中，配合剂从多个出料腔排出，均匀的与物料接触，从而避免物料与配合剂接触不均匀的情况出现。

11、2、本实用新型通过首先将物料输送至切割仓的内腔，接着启动伺服电机二带动切割辊旋转对物料进行切割打散，并且通过刮除杆对切割仓的内壁上的物料进行刮除，从而实现了在物料混炼之前能够切割辊进行切割打散，从而避免较大的物料直接进入混炼仓的内腔进行混炼，增加混炼所需时间的情况出现。

技术特征：

1.一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置，包括混炼仓(1)，其特征在于：所述混炼仓(1)的右侧固定安装有伺服电机一(2)，所述伺服电机一(2)的输出轴固定套装有混炼辊一(3)，所述混炼辊一(3)的左侧设置有传动组件(4)，所述传动组件(4)的右侧设置有混炼辊二(5)，所述混炼仓(1)的顶端固定安装有储存仓(6)，所述储存仓(6)的底端固定连接有抽取泵(7)，所述抽取泵(7)的输出端固定连接有输送管(8)，所述混炼辊二(5)的内腔开设有传输腔(9)，所述传输腔(9)的内腔固定安装有分流板(10)，所述混炼辊二(5)的后侧开设有出料腔(11)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置，其特征在于：所述混炼仓(1)的顶端固定安装有控制阀(14)，所述控制阀(14)的顶端固定安装有切割仓(15)，所述切割仓(15)的顶端固定连接有伺服电机二(16)，所述伺服电机二(16)的输出轴固定套左右切割辊(17)，所述切割辊(17)的顶端固定连接有刮除杆(18)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置，其特征在于：所述混炼仓(1)的底端固定安装有下料管(12)，所述下料管(12)的内腔滑动连接有堵塞板(13)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置，其特征在于：所述输送管(8)与传输腔(9)和出料腔(11)的内腔贯通，所述分流板(10)共有三个，三个所述分流板(10)均固定安装在传输腔(9)的内腔。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置，其特征在于：所述传动组件(4)由两个啮合的齿轮组成，两个所述齿轮分别与混炼辊一(3)和混炼辊二(5)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置，其特征在于：所述储存仓(6)的顶端固定安装有l形圆管，所述混炼仓(1)的底端固定安装有支撑脚。

7.根据权利要求2所述的一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置，其特征在于：所述切割仓(15)的顶端固定安装有加料管，所述刮除杆(18)与切割仓(15)的内壁贴合。

技术总结
本技术涉及橡胶混炼制备装置技术领域，且公开了一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置，包括混炼仓，所述混炼仓的右侧固定安装有伺服电机一，所述伺服电机一的输出轴固定套装有混炼辊一，所述混炼辊一的左侧设置有传动组件，所述传动组件的右侧设置有混炼辊二，所述混炼仓的顶端固定安装有储存仓，所述储存仓的底端固定连接有抽取泵，所述抽取泵的输出端固定连接有输送管，所述混炼辊二的内腔开设有传输腔，所述传输腔的内腔固定安装有分流板，所述混炼辊二的后侧开设有出料腔。从而实现了在物料混炼的过程中，配合剂从多个出料腔排出，均匀的与物料接触，从而避免物料与配合剂接触不均匀的情况出现。

技术研发人员：居爱琴,陈俊,王小泉,季成官,周杰文,何凡
受保护的技术使用者：上海州达洋半导体材料有限公司
技术研发日：20231230
技术公布日：2024/9/5