硅块烘房用蒸汽发生器的制作方法

本技术涉及硅块烘房用蒸汽发生器，具体为硅块烘房用蒸汽发生器。

背景技术：

1、硅块烘房是一种用于加热和干燥硅块或硅晶圆的设备。硅块烘房通常用于半导体制造和其他工业应用中，以去除硅块表面或内部的水分或其他溶剂，从而确保硅块的质量和可靠性。

2、硅块烘房通常包括一个加热室，硅块或硅晶圆会在其中放置，以进行加热和干燥，硅块放置在适当的支撑结构上，通常在加热室内均匀分布，以确保均匀的干燥，目前的大多硅块烘房都是采用电加热直接对其进行烘干处理，如果需要对多个硅块进行烘干处理时，较为靠近电加热机构的硅块会烘干的比较快，而距离电加热机构硅块急救烘干的较为的慢一点，从而可能会造成烘干不均匀的现象发生，实用性不佳；因此，为了解决上述问题，特此提出硅块烘房用蒸汽发生器。

技术实现思路

1、本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供硅块烘房用蒸汽发生器。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：硅块烘房用蒸汽发生器，包括蒸汽烘干机构和蒸汽输送机构，所述蒸汽烘干机构包括蓄水箱，所述蓄水箱内部安装有通电插口，所述通电插口的一侧电性连接有安装架，所述安装架的一侧固定安装有加热棒，所述蓄水箱的内侧固定安装有第一水位传感器，所述蓄水箱的内侧固定安装有第二水位传感器，蓄水箱的内部开设有蓄水槽，在该装置的内会设置有通水管，并在通水管内会设置有电磁阀，用于往蓄水槽内输送水源。

3、优选的，所述第二水位传感器设置在第一水位传感器的上侧，所述安装架、加热棒、第一水位传感器及第二水位传感器均设置在蓄水槽的内部，第一水位传感器及第二水位传感器均设置有三个，蒸汽输送机构也设置在蓄水箱内，位置在蓄水箱内部的上侧位置。

4、优选的，所述蒸汽输送机构包括封闭罩，所述封闭罩的上侧固定连接有疏通管，所述疏通管的上侧固定连接有软管，所述软管的一端固定连接有分散喷管，所述分散喷管与蓄水箱固定连接，软管与分散喷管均设置有四个，分散喷管设置在蓄水箱内部的四角位置。

5、优选的，所述蓄水箱的内部固定连接有防护板，所述防护板的表面贯穿开设有通气槽，通气槽设置若干个，使得蒸汽可以通过防护板散出，防护板设置在蓄水箱内部的上端位置。

6、优选的，所述蓄水箱的内部螺纹连接有螺栓，所述螺栓的外部螺纹连接有侧盖，所述侧盖设置在蓄水箱的一侧，螺栓设置有四个，分别设置在蓄水箱积极侧盖的内部四角位置，通过螺栓将侧盖与蓄水箱连接在一起。

7、优选的，所述蓄水箱的内部开设有安置槽，所述安置槽的内部固定连接有把手，安置槽开设在蓄水箱内部的两侧位置，把手完全隐藏在安置槽内不占用多余的空间。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

9、1、本实用新型通过蒸汽烘干机构的设置，在蓄水槽的内部蓄上水源，使得水源完全没过加热棒、同时启动加热棒对水进行加热，在水加热的过程中会产生蒸汽，通过蒸汽对硅块进行烘干处理，通过蒸汽的蔓延，使得通过蒸汽对硅块进行均匀的烘干处理，蒸汽在硅块表面均匀分布热量，确保整个硅块或硅晶圆受到均匀的加热，这有助于避免温度梯度引起的变形或应力。

技术特征：

1.硅块烘房用蒸汽发生器，包括蒸汽烘干机构和蒸汽输送机构，其特征在于：所述蒸汽烘干机构包括蓄水箱(1)，所述蓄水箱(1)内部安装有通电插口(2)，所述通电插口(2)的一侧电性连接有安装架(3)，所述安装架(3)的一侧固定安装有加热棒(4)，所述蓄水箱(1)的内侧固定安装有第一水位传感器(5)，所述蓄水箱(1)的内侧固定安装有第二水位传感器(6)，蓄水箱(1)的内部开设有蓄水槽(7)。

2.根据权利要求1所述的硅块烘房用蒸汽发生器，其特征在于：所述第二水位传感器(6)设置在第一水位传感器(5)的上侧，所述安装架(3)、加热棒(4)、第一水位传感器(5)及第二水位传感器(6)均设置在蓄水槽(7)的内部。

3.根据权利要求1所述的硅块烘房用蒸汽发生器，其特征在于：所述蒸汽输送机构包括封闭罩(8)，所述封闭罩(8)的上侧固定连接有疏通管(9)，所述疏通管(9)的上侧固定连接有软管(10)，所述软管(10)的一端固定连接有分散喷管(11)，所述分散喷管(11)与蓄水箱(1)固定连接。

4.根据权利要求1所述的硅块烘房用蒸汽发生器，其特征在于：所述蓄水箱(1)的内部固定连接有防护板(12)，所述防护板(12)的表面贯穿开设有通气槽(13)。

5.根据权利要求1所述的硅块烘房用蒸汽发生器，其特征在于：所述蓄水箱(1)的内部螺纹连接有螺栓(14)，所述螺栓(14)的外部螺纹连接有侧盖(15)，所述侧盖(15)设置在蓄水箱(1)的一侧。

6.根据权利要求1所述的硅块烘房用蒸汽发生器，其特征在于：所述蓄水箱(1)的内部开设有安置槽(16)，所述安置槽(16)的内部固定连接有把手(17)。

技术总结
本技术公开了硅块烘房用蒸汽发生器，包括蒸汽烘干机构和蒸汽输送机构，蒸汽烘干机构包括蓄水箱，蓄水箱内部安装有通电插口，通电插口的一侧电性连接有安装架，安装架的一侧固定安装有加热棒，蓄水箱的内侧固定安装有第一水位传感器，蓄水箱的内侧固定安装有第二水位传感器。本技术通过蒸汽烘干机构的设置，在蓄水槽的内部蓄上水源，使得水源完全没过加热棒、同时启动加热棒对水进行加热，在水加热的过程中会产生蒸汽，通过蒸汽对硅块进行烘干处理，通过蒸汽的蔓延，使得通过蒸汽对硅块进行均匀的烘干处理，蒸汽在硅块表面均匀分布热量，确保整个硅块或硅晶圆受到均匀的加热，这有助于避免温度梯度引起的变形或应力。

技术研发人员：仲银,范艳华,房才彬
受保护的技术使用者：江苏麦格森特新材料技术有限公司
技术研发日：20231109
技术公布日：2024/5/29