一种半导体设备点火控制系统的制作方法

本实用新型涉及半导体生产领域，具体涉及一种半导体设备点火控制系统。

背景技术：

生产半导体的过程中，需要高温使原材料氧化，所以要用到燃气燃烧控制系统，现有燃气燃烧控制系统设计单一，针对重要部分只进行监控，但对燃烧部分的燃烧状况没有检测和控制，如果燃气与助燃物没有按照比例进行配比，不仅浪费燃料而且燃烧也不充分。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种半导体设备点火控制系统，以解决现有技术中燃气燃烧不充分，浪费原料的问题。

所述的一种半导体设备点火控制系统，包括点火装置、燃气支路和助燃物支路，所述燃气支路和助燃物支路均与点火装置连接，所述燃气支路包括过滤器、手阀一、电磁阀一和质量流量控制器一，所述过滤器依次连接手阀一、电磁阀一和质量流量控制器一，所述助燃物支路包括手阀二、电磁阀三和质量流量控制器二，所述手阀二依次连接电磁阀三和质量流量控制器二。

优选的，所述点火装置包括烧嘴、点火控制器和点火变压器，所述烧嘴与点火控制器和点火变压器电性连接。

优选的，所述质量流量控制器一连接烧嘴的进气口，所述质量流量控制器二连接烧嘴的进风口。

优选的，所述电磁阀一和质量流量控制器一之间连接有电磁阀二。

优选的，所述过滤器与手阀一之间的管道上安装有压力传感器一，所述手阀二与电磁阀三之间的管道上安装有压力传感器二。

本实用新型的优点在于：质量流量控制器对燃气和助燃物的质量流量进行精密测量和控制，能让燃气和助燃物按照比例进入烧嘴，燃气能够充分燃烧，减少不必要的消耗；过滤器过滤掉燃气中的杂质，防止其他杂质影响烧嘴火焰温度；压力传感器实时监测管路压力状态，防止燃气和助燃物支路压力过大，造成燃气和助燃物泄漏，发生爆炸，危及人身安全；使用手阀，在紧及情况下手动切断燃气和助燃物；电磁阀一和电磁阀二串联的使用对燃气回路进行双重隔离保护。

附图说明

图1为本实用新型的系统原理图。

其中，1-过滤器，2-压力传感器一，3-手阀一，4-电磁阀一，5-点火控制器，6-点火变压器，7-电磁阀二，8-质量流量控制器一，9-烧嘴，10-手阀二，11-压力传感器二，12-电磁阀三，13-质量流量控制器二。

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型具体实施方式作进一步详细的说明，以帮助本领域的技术人员对本实用新型的实用新型构思，技术方案有更完整，准确和深入的理解。

如图1所示，一种半导体设备点火控制系统，包括点火装置、燃气支路和助燃物支路，所述燃气支路和助燃物支路均与点火装置连接，所述燃气支路包括过滤器1、手阀一3、电磁阀一4和质量流量控制器一8，所述过滤器1依次连接手阀一3、电磁阀一4和质量流量控制器一8，所述助燃物支路包括手阀二10、电磁阀三12和质量流量控制器二13，所述手阀二10依次连接电磁阀三12和质量流量控制器二13。

所述点火装置包括烧嘴9、点火控制器5和点火变压器6，所述烧嘴9与点火控制器5和点火变压器6电性连接。

所述质量流量控制器一8连接烧嘴9的进气口，所述质量流量控制器二13连接烧嘴9的进风口。

所述电磁阀一4和质量流量控制器一8之间连接有电磁阀二7。

所述过滤器1与手阀一3之间的管道上安装有压力传感器一2，所述手阀二10与电磁阀三12之间的管道上安装有压力传感器二11。

本实用新型的工作原理及过程如下：

按比例分别设定质量流量控制器一8和质量流量控制器二13的流量值，燃气从管道依次经过过滤器1、手阀一3、电磁阀一4、电磁阀二7和质量流量控制器一8进入烧嘴9，助燃物从管道依次经过手阀二10、电磁阀三12和质量流量控制器二13进入烧嘴9，压力传感器一2和压力传感器二11分别监测燃气支路和助燃物支路的压力状况，当燃气和助燃物分别经过质量流量控制器一8和质量流量控制器二13时，质量流量控制器检测流量并与设定值比较进而调节质量流量控制器中的阀门，从而控制流过管道的流量使之与设定的流量相等，燃气和助燃物在烧嘴9内混合燃烧，烧嘴9在点火控制器5和点火变压器6控制下将火喷出。

上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的实用新型构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本实用新型构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型保护范围之内。

技术特征：

1.一种半导体设备点火控制系统，其特征在于：包括点火装置、燃气支路和助燃物支路，所述燃气支路和助燃物支路均与点火装置连接，所述燃气支路包括过滤器(1)、手阀一(3)、电磁阀一(4)和质量流量控制器一(8)，所述过滤器(1)依次连接手阀一(3)、电磁阀一(4)和质量流量控制器一(8)，所述助燃物支路包括手阀二(10)、电磁阀三(12)和质量流量控制器二(13)，所述手阀二(10)依次连接电磁阀三(12)和质量流量控制器二(13)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备点火控制系统，其特征在于：所述点火装置包括烧嘴(9)、点火控制器(5)和点火变压器(6)，所述烧嘴(9)与点火控制器(5)和点火变压器(6)电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备点火控制系统，其特征在于：所述质量流量控制器一(8)连接烧嘴(9)的进气口，所述质量流量控制器二(13)连接烧嘴(9)的进风口。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备点火控制系统，其特征在于：所述电磁阀一(4)和质量流量控制器一(8)之间连接有电磁阀二(7)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体设备点火控制系统，其特征在于：所述过滤器(1)与手阀一(3)之间的管道上安装有压力传感器一(2)，所述手阀二(10)与电磁阀三(12)之间的管道上安装有压力传感器二(11)。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体设备点火控制系统，包括点火装置、燃气支路和助燃物支路，所述燃气支路和助燃物支路均与点火装置连接，所述燃气支路包括过滤器、手阀一、电磁阀一和质量流量控制器一，所述过滤器依次连接手阀一、电磁阀一和质量流量控制器一，所述助燃物支路包括手阀二、电磁阀三和质量流量控制器二，所述手阀二依次连接电磁阀三和质量流量控制器二。质量流量控制器对燃气和助燃物的质量流量进行精密测量和控制，能让燃气和助燃物按照比例进入烧嘴，燃气能够充分燃烧，减少不必要的消耗；压力传感器实时监测管路压力状态，防止支路压力过大，造成泄漏；电磁阀一和电磁阀二串联的使用对燃气回路进行双重隔离保护。

技术研发人员：席涛涛;张坤;蔡传涛;杨春水;杨春涛;闫潇;何磊;宁腾飞;章文军;陈彦岗;王继飞;王磊
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术有限公司
技术研发日：2019.12.31
技术公布日：2020.09.25