可燃废气、尾气燃烧炉的制作方法

本技术涉及一种用于半导体制程所产生的废气、尾气燃烧处理的燃烧炉。

背景技术：

1、在半导体研发和生产领域，一些设备会产生sih4、h2等可燃的废气、尾气，如果直接将这些废气、尾气排放到大气中，不但会违反相应的国家有害气体排放标准、法规，并且如果这些废气、尾气在设备周围积累达到一定的废空比（废气、尾气与空气的混合物中废气、尾气与空气的体积比）还可能直接危害设备附近人员和财产安全。

2、因此，在废气、尾气排放之前及时将其处理掉，显得极其重要。鉴于sih4、h2的可燃性，以及短时间内排放量很小等特点，因此，针对半导体制程所产生的废气、尾气，当前存在专门的处理设备，统称为“可燃废气、尾气”，鉴于半导体制程所产生废气性质相对稳定，其中的可燃成分主要是sih4、h2，因此对于其的处置也相对容易。

3、鉴于半导体制程中可燃成分含量相对较低，因此在大多数的实现中，使废气、尾气与空气充分混合就变得极为重要。在一些实现中，将尾气、废气通过轴流风机送入燃烧室，利用轴流风机使尾气、废气产生涡旋，从而利于与空气混合均匀。然后轴流风机普遍送风量偏大，尾气、废气在燃烧室中滞留的时间短，难以燃烧充分。

4、在一些实现中，在燃烧室（仓）内设置混气装置，混气装置所在的位置被称为混合腔，混气装置包括滚筒，滚筒通过中心轴安装，滚筒侧壁具有网孔。其中，滚筒与燃烧室共轴线，换言之，滚筒相当于燃烧室内的嵌套筒，进而，尾气、废气通过燃烧室侧面的输送管道送入，从而尾气、废气需要经由网孔进入滚筒内，而空气则以轴流的方式通过滚筒，在此过程中，受网孔的匀化，以及滚筒的旋转带动的尾气、废气的旋转，而使尾气、废气与空气充分混合。然而，由于滚筒需要旋转，燃烧室内温度高，通常大于870度，滚筒的旋转润滑是个比较大的问题。同时，适配混合装置的燃烧室，因滚筒具有较大的轴向尺寸，使得燃烧室个体偏大，整体不够紧凑。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种结构相对紧凑，且易于使尾气、废气与空气混合均匀的燃烧炉。

2、在本实用新型的实施例中，提供了一种可燃废气、尾气燃烧炉，用于半导体制程所产生废气、尾气的燃烧处理，所述燃烧炉包括：

3、主体，该主体包括外壳，外壳围合成的空间下端封接，上端设有排放口；所述空间的中上部构成燃烧室；

4、进气管接头，从侧面安装于所述主体，以向燃烧室内导入废气、尾气；

5、空气管接头，从侧面安装于所述主体，接入的位置位于燃烧室下方，并向燃烧室横向一侧偏置；以及

6、引燃装置，位于或者介入到燃烧室，以引燃所述废气、尾气。

7、可选地，所述外壳包括内套和嵌套在内套外的外套，内套与外套间形成水腔；

8、相应地，为所述水腔配有冷却水进口和冷却水出口。

9、可选地，冷却水出口配置在水腔下部或下端；

10、冷却水进口配置在水腔上部或上端。

11、可选地，腔体上部向上逐渐收口形成锥形部，相应地，外壳具有构建锥形部的上锥头；

12、所述水腔包括位于上锥头内的部分；

13、所述排放口位于上锥头的锥顶处。

14、可选地，水腔于上锥头下端处设有隔板，且冷却水进口位于上锥头上；

15、隔板上分布有过水孔，且靠近冷却水进口的隔板部分单位面积上分布的过水孔的通流能力弱于远离冷却水进口的隔板部分单位面积上分布的过水孔的通流能力。

16、可选地，所述外壳于下端设有封口法兰；

17、相应地，提供一与所述封口法兰配合的盖板以对空间下端封接，封口法兰适配地构成清洁口。

18、可选地，所述空气管接头与空间下端间具有第一距离，并与进气管接头间具有第二距离，该第二距离为垂直距离；

19、所述第一距离为第二距离的2~7倍。

20、可选地，所述空间为横断面为圆形的腔体；

21、进气管接头的轴线与空间的轴线垂直相交；

22、空气管接头的轴线与进气管接头的轴线平行，空气管接头的管腔或空气管接头的外廓与空间一侧相切。

23、可选地，所述引燃装置为加热棒，该加热棒包括位于空间外的接线头和穿入到空间内的棒体。

24、可选地，还包括一安装在外壳上的火焰传感器。

25、在本实用新型的实施例中，所提供的用于半导体制程所产生的废气、尾气燃烧处理的燃烧炉，其采用偏置控制管接头的方式，使空气在进入燃烧室前形成旋转气流；而进气管接头导入的废气、尾气冲击到旋转气流上而与其混合，易于获得混合相对均匀的混合气体。鉴于进气管接头相对于空气管接头稍向上偏置，即进气管接头介入到燃烧室，而空气管接头则介入到燃烧炉外壳所围合空间的下部，换言之，位于燃烧室的下方，没有冗余结构，形成旋转气流的结构部分相对紧凑。

技术特征：

1.一种可燃废气、尾气燃烧炉，用于半导体制程所产生废气、尾气的燃烧处理，其特征在于，所述燃烧炉包括：

2.根据权利要求1所述的燃烧炉，其特征在于，所述外壳包括内套和嵌套在内套外的外套，内套与外套间形成水腔；

3.根据权利要求2所述的燃烧炉，其特征在于，冷却水出口配置在水腔下部或下端；

4.根据权利要求3所述的燃烧炉，其特征在于，腔体上部向上逐渐收口形成锥形部，相应地，外壳具有构建锥形部的上锥头；

5.根据权利要求4所述的燃烧炉，其特征在于，水腔于上锥头下端处设有隔板，且冷却水进口位于上锥头上；

6.根据权利要求1所述的燃烧炉，其特征在于，所述外壳于下端设有封口法兰；

7.根据权利要求1所述的燃烧炉，其特征在于，所述空气管接头与空间下端间具有第一距离，并与进气管接头间具有第二距离，该第二距离为垂直距离；

8.根据权利要求1或7所述的燃烧炉，其特征在于，所述空间为横断面为圆形的腔体；

9.根据权利要求1所述的燃烧炉，其特征在于，所述引燃装置为加热棒，该加热棒包括位于空间外的接线头和穿入到空间内的棒体。

10.根据权利要求1或9所述的燃烧炉，其特征在于，还包括一安装在外壳上的火焰传感器。

技术总结
本技术公开了一种可燃废气、尾气燃烧炉，用于半导体制程所产生废气、尾气的燃烧处理，所述燃烧炉包括：主体，该主体包括外壳，外壳围合成的空间下端封接，上端设有排放口；所述空间的中上部构成燃烧室；进气管接头，从侧面安装于所述主体，以向燃烧室内导入废气、尾气；空气管接头，从侧面安装于所述主体，接入的位置位于燃烧室下方，并向燃烧室横向一侧偏置；以及引燃装置，位于或者介入到燃烧室，以引燃所述废气、尾气。依据本技术的可燃废气、尾气燃烧炉结构紧凑，且易于使废气、尾气与空气混合均匀。

技术研发人员：宋德鹏,张西鸿
受保护的技术使用者：山东力冠微电子装备有限公司
技术研发日：20221228
技术公布日：2024/1/12