专利名称：风扇/过滤器单元以及具备该单元的无尘室的制作方法
技术领域：
本发明涉及在无尘室等具备的风扇/过滤器单元以及具备该单元的无尘室。
背景技术：
以往，作为此种风扇/过滤器单元，公知具备在前侧具有过滤器、在后侧具有蜗轮风扇的腔室；遮挡板，其被平行设置用来隔开蜗轮风扇和过滤器之间，并在中央附近形成有开口部；扩散板，其被设置成从遮挡板向过滤器一侧间隔开距离地覆盖开口部，由穿孔金属材料构成。(参照特开平11-132527号公报)此时，从蜗轮风扇吹出的空气朝向左右的两侧板输送，进一步接触到侧板朝向前方，不过被遮挡板挡住，沿着遮挡板进入中央的开口部。此后，空气从开口部，被分支成绕过遮挡板的空气、和与扩散板相碰的空气，绕过遮挡板的空气经过过滤器向前方排气，与扩散板相碰的空气通过穿孔向前方排气。
在这样的上述风扇/过滤器单元中，通过了开口部的空气，因流过扩散板本身的气流和在其两侧分散的气流，而在通过过滤器的时刻变成比较均匀的气流。但是，在开口部的前面，朝向开口部的左右的空气气流沿着遮挡板流动的同时，因在风扇附近产生的随动流，而变成被引向风扇一侧的气流。因此，成为对流的左右的空气分别在左右方向上具有强的方向性，并在开口部发生碰撞，流速被抵消。所以，虽然可以从过滤器均匀地送出空气，但存在流速极度降低，不能保证充分的直线前进特性的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种风扇/过滤器单元以及具备该单元的无尘室，其可以从风扇送出均匀且直线前进特性好的空气。
本发明的风扇/过滤器单元，具备箱体、风扇和过滤器，箱体在前侧形成有送气开口，并且在后侧形成有吸气开口，风扇面向吸气开口并收容在箱体内，过滤器面向送气开口并收容在箱体内，通过风扇，使向左右两侧送出的空气通过过滤器向前方吹出，其中，在进深方向的风扇和过滤器之间具备遮挡板，遮挡板遮挡作为随动流从过滤器一侧向风扇一侧流动的空气气流。
根据该结构，从风扇吹出的空气向左右流动，分别由箱体的侧板向前方流动，且一部分向斜前方流动。另外，被指向该斜前方的左右的对流空气由于通过遮挡板阻止随动流，所以在不会被引向风扇一侧的情况下直接通过过滤器而向前方流动。因此，由于可以在不使流速降低的情况下送出空气，所以可以从过滤器送出均匀且直线前进特性好的空气。
另外，本发明的其他的风扇/过滤器单元，具备箱体、风扇和过滤器，箱体在前侧形成有送气开口，并且在后侧形成有吸气开口，风扇面向吸气开口并收容在箱体内，过滤器面向送气开口并收容在箱体内，通过风扇，使向左右两侧送出的空气通过过滤器向前方吹出，其中，在进深方向的风扇和过滤器之间具备左右一对向内指向板，向内指向板使接触到箱体的左右两侧壁向过滤器一侧流动的空气气流朝向过滤器的左右中间部。
根据该结构，从风扇吹出的空气向左右流动，分别由箱体的侧板以及向外指向板而被指向斜前方流动。因此，其一部分在过滤器前的左右中央处合流，向前方流动，另外，受到因该合流而带来的压力上升的影响，左右的对流空气的一部分分别绕过向内指向板并向前流动。因此，由于可以在不使流速降低的情况下送出空气，所以可以从过滤器送出均匀且直线前进特性好的空气。
另外，本发明的其他的风扇/过滤器单元，具备箱体、风扇和过滤器，箱体在前侧形成有送气开口，并且在后侧形成有吸气开口，风扇面向吸气开口并收容在箱体内，过滤器面向送气开口并收容在箱体内，通过风扇，使向左右两侧送出的空气通过过滤器向前方吹出，其中，在进深方向的风扇和过滤器之间具备向外指向板，向外指向板使沿着过滤器朝向过滤器的左右中间部的左右的对流空气，在过滤器的左右中间部朝向过滤器一侧。
根据该结构，从风扇吹出的空气向左右流动，分别由箱体的侧板，向前方流动，且一部分向斜前方流动。另外，被指向该斜前方的左右的对流空气在过滤器前的左右中央，由向外指向板被进一步指向前方。因此，左右的对流空气朝向前方流动，通过过滤器。从而，由于可以在不使流速降低的情况下送出空气，所以可以从过滤器送出均匀且直线前进特性好的空气。
另外，本发明的其他的风扇/过滤器单元，具备箱体、风扇和过滤器，箱体在前侧形成有送气开口，并且在后侧形成有吸气开口，风扇面向吸气开口并收容在箱体内，过滤器面向送气开口并收容在箱体内，通过风扇，使向左右两侧送出的空气通过过滤器向前方吹出，其中，在进深方向的风扇和过滤器之间，具备遮挡板，遮挡板遮挡作为随动流从过滤器一侧向风扇一侧流动的空气气流；左右一对向内指向板，向内指向板接触到箱体的左右两侧壁，并使向过滤器一侧流动的空气气流朝向过滤器的左右中间部；向外指向板，向外指向板使沿着过滤器朝向过滤器的左右中间部的左右的对流空气，在过滤器的左右中间部朝向过滤器一侧。
根据该结构，从风扇吹出的空气向左右流动，分别由箱体的侧板以及向内指向板，向斜前方流动。另外，被指向该斜前方的左右的对流空气，通过遮挡板阻止随动流，同时，通过向外指向板在过滤器前的左右中央处被指向前方。进而，受到左右中央的压力上升的影响，左右的对流空气的一部分分别绕过向内指向板向前方流动。因此，由于空气气流变得顺畅，可以在不使流速降低的情况下送出空气，所以可以从过滤器送出均匀且直线前进特性好的空气。
此时，优选遮挡板和各向内指向板以在左右方向存在间隙的方式配置。
根据该结构，由于遮挡板和各向内指向板之间被设置得宽，所以可以顺畅地引导空气气流。
此时，优选各向内指向板，以相对于过滤器在进深方向存在间隙的方式配置。
根据该结构，被各向内指向板引导了的空气绕过各向内指向板向过滤器的内侧流动。由此，可以保证直线前进特性的同时，使空气遍布过滤器的内侧整个面。
此时，优选遮挡板的左右两外端部，分别通过朝向后方弯曲形成。
根据该结构，由于在遮挡板和各向内指向板之间形成宽的空气的导入部，所以顺畅地引导气流。
此时，优选遮挡板与向外指向板的左右两端连接，由从向外指向板分别向左右外侧延伸的左遮挡部和右遮挡部构成。
根据该结构，左右的对流空气可以分别通过左右各遮挡板来阻止随动流，由此，可以向前方送出空气气流。
此时，优选遮挡板和向外指向板被一体成形。
根据该结构，通过使遮挡板和向外指向板成一体，从而可以使空气气流顺畅，并且可以通过例如冲压成型等简单地制作成两者。
此时，优选向外指向板由分别从左右中间的顶部向斜后方延伸的左指向部和右指向部构成。
根据该结构，可以朝向顶部来输送从左右两方向流过来的空气，由此，可以将空气气流导向前方。
此时，优选左右各指向部弯曲，并且向斜后方延伸。
根据该结构，可以在不使流速降低的情况下朝向过滤器的顶部引导从左右两方向流过来的空气，由此，可以顺畅地向前方引导空气气流。
此时，优选顶部与过滤器大致接触。
根据该结构，可以将输送到顶部的空气直接向过滤器输送，左右的对流空气在中央不发生碰撞。
此时，优选向内指向板在一端与箱体的侧壁接触的状态下，向斜前方延伸。
根据该结构，可以向斜前方输送从风扇吹出的空气，由此可以向过滤器的中央引导空气气流。
此时，优选向内指向板弯曲，并且向斜前方延伸。
根据该结构，可以顺畅地向斜前方引导从风扇吹出的空气，可以在不使空气的流速降低的情况下向过滤器的中央引导空气。
本发明的无尘室的特征在于，在顶棚部具有上述的风扇/过滤器单元。
根据该结构，由于从风扇送出直线前进特性优良的清洁的空气，所以在空气的输送方向上，气流不紊乱，可以维持干净的空间。尤其，可以向机台上设置的装置等直接喷出清洁的空气。
图1A以及图1B分别是实施方式的风扇/过滤器单元的后视图、风扇/过滤器单元的剖面图。
图2A以及图2B分别是实施方式的变形例的风扇/过滤器单元的后视图、变形例的风扇/过滤器单元的剖面图。
图3是具有实施方式的风扇/过滤器单元的无尘室的外观立体图。
图中1-风扇/过滤器单元；2-箱体；3-吸气开口；4-送气开口；5-风扇；6-过滤器；16-遮挡板；17-向内指向板；18-向外指向板；19-顶部；20-左引导板部；21-右引导板部；24-左遮挡部；25-右遮挡部；30-无尘室。
具体实施例方式
下面，基于附图对本发明的一实施方式的风扇/过滤器单元进行说明。风扇/过滤器单元是从后面取入外部空气，并且经过在前面设置的过滤器而送出清洁的空气的装置。另外，具备该风扇/过滤器单元的无尘室是如下的装置，即使用该风扇/过滤器单元取入无尘室外部的空气，并且经过该风扇/过滤器单元向无尘室内送出清洁的空气，而得到清洁度高的空间。
图1是风扇/过滤器单元(FFU)的后视图以及剖面图。如该图所示，该风扇/过滤器单元1包括构成腔室的箱体2；形成在箱体2的后面中央部的吸气开口3；遍及箱体2的前面整个区域而形成的送气开口4；面向吸气开口3而设置在箱体2内的风扇5；在送气开口4安装的过滤器6；和配置在箱体2内的隔板组7。通过风扇5的驱动，从吸气开口3吸入的空气由隔板组7调整了其流动方向8后，通过过滤器6，作为清洁空气被送出。
箱体2，由不锈钢制或钢制的背板10、两侧板11、上板12以及下板13构成为箱状，以在内部构成空气腔室。在背板10的中央部设有吸气开口3，在相当于前板的部分嵌入过滤器6，作为整体，被形成为例如1200W×600H×225D等的建筑模块基准的尺寸。吸气开口3考虑到开口周围的增强，被形成为比风扇5的叶片大一圈的方形的框架状，并且具有网眼状的预过滤器(省略图示)。另外，在图示中虽然省略了，但在送气开口4设有用于安装过滤器6的金属零件。
风扇5由蜗轮风扇等的离心鼓风机构成，在周方向上对从吸气开口3吸入的外部空气进行离心送风。另外，在周方向上被离心送风的空气被箱体2的上板12以及下板13引导，而指向侧方。过滤器6是所谓HEPA过滤器，过滤器部件9包括包围过滤器部件9的四周的壳体23；和过滤器部件支撑物(穿孔金属)14，其沿壳体23前后张设，以按压过滤器部件9。此时，过滤器6被构成为，拆卸自由地安装在送气开口4，即以盒的形式可以交换。
隔板组7在进深方向上，设置在过滤器5和过滤器6之间，并包括以隔开风扇5和过滤器6之间的方式在左右中央设置的遮挡板16；存在左右的间隙地在遮挡板16的外方配置的左右一对向内指向板7；以向前方突出的方式在遮挡板16的前面中央添加配置的向外指向板18。另外，遮挡板16、两向内指向板17以及向外指向板18与箱体2同样由不锈钢板或钢板构成。
遮挡板16，遮挡作为从风扇5吹出的空气的随动流的从过滤器6一侧被引向风扇5一侧那样流动的空气的装置，在上述的背板10以及过滤器6的大致中间以与背板10以及过滤器6大致平行的方式配置遮挡板16。遮挡板16的上端接触到上述的上板12，另外，下端接触到下板13，遮挡板16的整体被形成为长方形。另外，遮挡板16的宽度是阻止上述的随动流且不阻止被两侧板11引导的朝向前方的空气气流的尺寸，所以该宽度由风扇5的送风性能或箱体2的内宽决定。
各向内指向板17是将被各侧板11引导的朝向前方的空气气流进一步向过滤器6的宽度方向(左右)的中央引导的板，并在使左右的一端接触到侧板11的状态下向斜前方延伸。此时，各向内指向板17也使上端接触到上述上板12，下端接触到下板13，整体被形成为长方形。各向内指向板17的另一端(延伸方向的前端)22被配置成，在左右方向上和遮挡板16之间存在足够的间隙，且在进深方向上和过滤器6之间存在适宜的间隙。即，分别设置前者的间隙和后者的间隙，以不阻止朝向过滤器6的空气气流，并使适宜空气在向内指向板17的前面绕过。
向外指向板18是将比向内指向板17更向斜前方引导的空气气流向前方的过滤器6引导的板，并被设置成在遮挡板16的前面中央部成为浅的“V”字型。此时，向外指向板18的上端接触到上述的上板12，下端接触到下板13，并以剖面为浅的“V”字型且正视时为长方形的方式形成。即，向外指向板18以顶部19为中心形成左引导板部20以及右引导板部21，其是通过将长方形的平板在其左右的中间位置进行弯曲加工而形成的。另外，向外指向板18的顶部19被配置成为了使左右的对流空气在过滤器6的前面不碰撞而使顶部19大致与过滤器6的内面(左右中央)接触。另外，向外指向板18的宽度以及相对于遮挡板16的角度由比向内指向板17更向斜前方引导的空气气流以及流量而决定的。
接着，对由遮挡板16、两向内指向板17以及向外指向板18调整的一系列的空气气流进行说明。从风扇5吹出的空气，向左右的两侧板11被送出，并通过侧板11以及左右的一对向内指向板17而指向斜前方，而向过滤器6的中央流动。此时，由于各向内指向板17以及遮挡板16的间隙被设置得宽，所以可以顺畅地将空气气流向前方引导。另外，被指向该斜前方的左右的对流空气的一部分，通过遮挡板16，阻止被引向风扇5一侧的随动流，且通过向外指向板18，向前方送出从左右两方向流过来的空气。由此，在左右中央空气不碰撞地向前方引导空气气流，并且可以直接通过过滤器6。进而，在左右的中央压力上升，受到该影响，左右的对流空气的一部分分别绕过各向内指向板17，维持向前方的直线前进特性的同时，使得空气遍布过滤器6内侧整个区域。由此，空气气流变得顺畅，可以在不使气流降低的情况下使空气向前方送气。
根据上述的结构，从风扇/过滤器单元1的过滤器6，可以送出均匀且直线前进特性好(流速快)的清洁空气。另外，遮挡板16、向内指向板17以及向外指向板18即使都是单个的，也能够顺畅地送出空气，所以可以在不使流速降低的情况下，从过滤器6送出均匀且直线前进特性好的空气。即，在本实施方式中，虽然使用了上述3种隔板组7，但也可以是使用至少1种隔板来构成风扇/过滤器单元。
下面，参照图2A以及图2B对隔板组7的变形例进行说明。在该变形例的隔板组7中，遮挡板16和向外指向板18被构成为一体。遮挡板16由左遮挡板部24和右遮挡板部25构成，左遮挡板部24与向外指向板18的左引导板部20连接，右遮挡板部25与向外指向板18的右引导板部21连接。另外，左引导板部20以及右引导板部21分别以向后方成为“凸”字型的方式而被弯曲形成。相反，左遮挡板部24以及右遮挡板部25的外端部26被弯曲形成为向前方成为“凸”字型，使得在各遮挡板部24、25和向内指向板17之间形成宽阔的空间。而且，各向内指向板17分别被弯曲形成为向前方成为“凸”字型。另外不用说，遮挡板16、两向内指向板17以及向外指向板18是由冲压成型等形成。
在这样的结构中，沿着遮挡板16、两向内指向板17以及向外指向板18流动的空气通过弯曲形成的这些隔板组7而被顺畅地引导，所以抑制空气的压力损失。因此，与上述的情况相比，可以更进一步地从过滤器6送出均匀且直线前进特性好的清洁空气。
这里，参照图3，对设置了本实施方式的风扇/过滤器单元1的无尘室30进行说明。如该图所示，该无尘室30被设置成覆盖作为清洁对象的制造装置36，从在顶棚部分设置的多个(在本实施方式中为6台)风扇/过滤器单元1使清洁空气朝向制造装置36向下流动，再从地面向侧方排气。
无尘室30具备长方体的骨架的无尘室框架31；构成顶壁的顶棚板32；构成侧壁的4块聚乙烯幕板33；在无尘室框架31的下端安装的4个脚部34以及4个脚轮35；在顶棚板32遍及该整个区域大致没有间隙地配置的6台风扇/过滤器单元1。各风扇/过滤器单元1被朝向下方配置，以向下送出清洁空气。无尘室框架31通过组合轻量型材等而构成，并被构成为由于通过由螺钉等接合各部，故可以分解。各聚乙烯幕板33由防止静电用的透明的挡板构成，作为出入口的聚乙烯幕板33采用的是2块重叠的结构。
考虑到制造装置36的平面尺寸、附属于该装置的操作台或部件贮藏箱等的平面尺寸、以及操作空间来设计实施方式的无尘室30的平面尺寸，另外，考虑到人的身高而将无尘室的高度设置在2000mm左右。如上所述，从实施方式的各风扇/过滤器单元1，向下方送出直线前进特性好的清洁空气。具体而言，从过滤器6的面至大致1000mm的下方位置，维持直线前进特性。因此，由于清洁空气直接接触到要求所希望的清洁度的操作位置(距离底面1000mm～1500mm)，所以可以可靠地得到所希望的清洁度。
另外，在无尘室30内，仅在局部需要清洁度的情况，优选削减风扇/过滤器单元1的台数，而在需要清洁度的部分的正上部配置风扇/过滤器单元1。
权利要求
1.一种风扇/过滤器单元，具备箱体、风扇和过滤器，所述箱体在前侧形成有送气开口，并且在后侧形成有吸气开口，所述风扇面向所述吸气开口并收容在所述箱体内，所述过滤器面向所述送气开口并收容在所述箱体内，通过所述风扇，使向左右两侧送出的空气通过所述过滤器向前方吹出，其中，其特征在于在进深方向的所述风扇和所述过滤器之间具备遮挡板，所述遮挡板遮挡作为随动流从所述过滤器一侧向所述风扇一侧流动的空气气流。
2.一种风扇/过滤器单元，具备箱体、风扇和过滤器，所述箱体在前侧形成有送气开口，并且在后侧形成有吸气开口，所述风扇面向所述吸气开口并收容在所述箱体内，所述过滤器面向所述送气开口并收容在所述箱体内，通过所述风扇，使向左右两侧送出的空气通过所述过滤器向前方吹出，其中，在进深方向的所述风扇和所述过滤器之间具备左右一对向内指向板，所述向内指向板使接触到所述箱体的左右两侧壁向所述过滤器一侧流动的空气气流流向所述过滤器的左右中间部。
3.一种风扇/过滤器单元，具备箱体、风扇和过滤器，所述箱体在前侧形成有送气开口，并且在后侧形成有吸气开口，所述风扇面向所述吸气开口并收容在所述箱体内，所述过滤器面向所述送气开口并收容在所述箱体内，通过所述风扇，使向左右两侧送出的空气通过所述过滤器向前方吹出，其中，在进深方向的所述风扇和所述过滤器之间具备向外指向板，所述向外指向板使沿着所述过滤器流向所述过滤器的左右中间部的左右的对流空气，在所述过滤器的左右中间部流向所述过滤器一侧。
4.一种风扇/过滤器单元，具备箱体、风扇和过滤器，所述箱体在前侧有形成有送气开口，并且在后侧形成有吸气开口，所述风扇面向所述吸气开口并收容在所述箱体内，所述过滤器面向所述送气开口并收容在所述箱体内，通过所述风扇，使向左右两侧送出的空气通过所述过滤器向前方吹出，其特征在于，在进深方向的所述风扇和所述过滤器之间，具备遮挡板，其遮挡作为随动流从所述过滤器一侧向所述风扇一侧流动的空气气流；左右一对向内指向板，其使接触到所述箱体的左右两侧壁向所述过滤器一侧流动的空气气流流向所述过滤器的左右中间部；向外指向板，其使沿着所述过滤器流向所述过滤器的左右中间部的左右对流空气，在所述过滤器的左右中间部流向所述过滤器一侧。
5.根据权利要求4所述的风扇/过滤器单元，其特征在于，所述遮挡板和所述各向内指向板配置成在左右方向上存在间隙。
6.根据权利要求2、4或5所述的风扇/过滤器单元，其特征在于，所述各向内指向板，配置成相对于所述过滤器在进深方向上存在间隙。
7.根据权利要求1、4～6中任一项所述的风扇/过滤器单元，其特征在于，所述遮挡板的左右两外端部分别向后方弯曲形成。
8.根据权利要求4～7中任一项所述的风扇/过滤器单元，其特征在于，所述遮挡板由与所述向外指向板的左右两端连接、并从所述向外指向板分别向左右外侧延伸的左遮挡部和右遮挡部构成。
9.根据权利要求8所述的风扇/过滤器单元，其特征在于，所述遮挡板和所述向外指向板被一体成形。
10.根据权利要求3～9中任一项所述的风扇/过滤器单元，其特征在于，所述向外指向板由分别从左右中间的顶部向斜后方延伸的左指向部和右指向部构成。
11.根据权利要求10所述的风扇/过滤器单元，其特征在于，所述左右各指向部，弯曲并向斜后方延伸。
12.根据权利要求10或11所述的风扇/过滤器单元，其特征在于，所述顶部与所述过滤器大致接触。
13.根据权利要求2、4～12中任一项所述的风扇/过滤器单元，其特征在于，所述向内指向板在一端与所述箱体的侧壁相接的状态下向斜前方延伸。
14.根据权利要求13所述的风扇/过滤器单元，其特征在于，所述向内指向板，弯曲并向斜前方延伸。
15.一种无尘室，其特征在于，在顶棚部具备权利要求1～14中任一项所述的风扇/过滤器单元。
全文摘要
一种风扇/过滤器单元，具备箱体(2)、风扇(5)和过滤器(5)，所述箱体(2)在前侧形成有送气开口(4)，并且在后侧形成有吸气开口(3)，所述风扇(5)面向所述吸气开口(3)并收容在所述箱体(2)内，所述过滤器(6)面向所述送气开口(4)并收容在所述箱体(2)内，通过风扇(5)，使向左右两侧送出的空气通过所述过滤器(6)向前方吹出，其中，在进深方向的所述风扇(5)和所述过滤器(6)之间具备遮挡板(16)，所述遮挡板(16)遮挡作为随动流从所述过滤器(6)一侧向所述风扇(5)一侧流动的空气气流。
文档编号F24F13/00GK1837693SQ200610067979
公开日2006年9月27日 申请日期2006年3月27日 优先权日2005年3月25日
发明者五味修, 中尾齐, 本间研吾, 糸田基树, 田中贵广, 铃木一弘 申请人:精工爱普生株式会社