专利名称：排气系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种排气系统。
背景技术：
考虑到半导体制造工艺中所使用的化学物质种类繁多，且多数是有毒、腐蚀性、易 燃性或易爆性等特质，因此在半导体制造工厂内配置有排气系统。一般，为了避免不兼容的化学物质使用相同的排气管路而造成爆炸燃烧或排气管 路材质与输送化学物质间的不兼容性导致管路腐蚀破损进而造成有害物质外泄等危险，原 则上是将整个工艺排气系统根据气体的特质而划分为多个排气子系统。图1显示了现有技 术中的排气系统的架构示意图，如图1所示，整个排气系统大致分为酸(Acid)排气子系统 11、碱(Alkaline)排气子系统12、挥发性有机类溶剂(Solvent或V0C)排气子系统13和一 般排气子系统14，其中的每一个排气子系统均包括排气压力零点位基准点、排气压力控制 点、风管集管和排风机等设备。具体来讲，酸排气子系统11包括压力基准点111、压力控制 点112、风管集管113和酸排风机114 ；碱排气子系统12包括压力基准点121、压力控制点 122、风管集管123和碱排风机124 ；挥发性有机类溶剂排气子系统13包括压力基准点131、 压力控制点132、风管集管133和有机排风机134 ；—般排气子系统14包括压力基准点141、 压力控制点142、风管集管143和一般排风机144。所述每一个排气子系统的工作原理大致 相同，包括所述排气压力控制点的压力感测器用于实时感测待测气体的压力，并根据所述 排气压力零点位基准点的零点位压力，控制对应的排气子系统中的排风机执行相应的运作 (例如开始工作、加快或减慢运转速度、停止工作等)。由上可知，所述排气压力零点位基准点是很重要的参考点，零点位有轻微的波动 都会使排气压力控制点的控制不稳定，从而影响排风机的运作。现有排气子系统的排气压 力零点位基准点是单独设置在室外，并配置有保护罩，以避免雨淋及风吹，但实际不能彻底 解决外界环境条件对排气压力零点位基准点的稳定性影响，不可避免地会受到室外环境条 件的干扰影响，而引起零点位压力波动，造成排气压力控制点的不稳定，从而引起排气系统 压力波动，影响半导体制造的生产效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种排气系统，解决现有技术中的排气压力零点位基准点 设置在室外易受外界环境条件影响而引起零点位压力波动，造成排气系统压力不稳定的问 题。为解决上述问题，本发明提供一种排气系统，包括至少一个排气子系统，所述排气 子系统包括压力基准点、压力控制点、排风机和风管集管，所述排气子系统的压力基准点设
置在室内。可选地，在所述排气系统包括多个排气子系统时，与所述多个排气子系统对应的 多个压力基准点合在一起设置在室内。
可选地，所述多个排气子系统的压力基准点联合在一起，构成一个共用压力基准
点ο可选地，所述排气系统包括酸排气子系统、碱排气子系统、挥发性有机类溶剂排气 子系统和一般排气子系统。可选地，所述排气系统还包括设置于室内的零点箱，所述一个或多个排气子系统 的压力基准点配置在所述零点箱内。可选地，所述排气系统还包括设置于室内的中控室，所述一个或多个排气子系统 的压力控制点配置在所述中控室内。与现有技术相比，本发明提供的排气系统，将其中排气子系统的压力基准点设置 在室内，可避免受到外界环境条件的干扰，压力基准点的零点位压力得以稳定，确保排气系 统的稳定运行。另外，本发明提供的排气系统，可以将对应多个排气子系统中的压力基准点集中 在一起设置在室内，除可避免受到外界环境条件的干扰之外，还可以使得整个排气系统的 多个排气子系统共用一个压力基准点的零点位压力，在确保零点位压力稳定和统一的同 时，也利于管控。
图1为现有技术中排气系统的架构示意图；图2为本发明实施例提供的排气系统的架构示意图。
具体实施例方式本发明的发明人发现，现有的排气系统中的压力基准点设置都是在室外，存在压 力基准点易受外界环境条件影响而引起零点位压力波动，造成排气系统压力不稳定的问题。有鉴于此，本发明的发明人设计了一种排气系统，将其中的压力基准点设置在可 以免受外界环境干扰的室内，确保排气系统的稳定运行。下面结合附图和实施例对本发明的实施方式进行详细说明。请参阅图2，其为本发明的排气系统在一个实施例中的架构示意图。预先需说明的 是，所述排气系统是应用于半导体制造工厂中，用于将半导体器件制造过程中所产生的化 学物质排出。所述化学物质大多有毒、腐蚀性、易燃性或易爆性等特质，因此在工厂内配置 排气系统就显得相当重要。如图2所示，所述排气系统包括酸(Acid)排气子系统21、碱(Alkaline)排气子系 统22、挥发性有机类溶剂(Solvent或V0C)排气子系统23和一般排气子系统M。需说明 的是，在本实施例中，所述排气系统大致分为上述四个排气子系统，但并不以此为限，在其 他实施例中，可以根据所需排出的化学物质的特质，将整个排气系统划分为更多的排气子 系统，例如热(Heat)排气子系统、易爆性或易燃性气体(Flammable或Combustible)排气 子系统、氨(NH3)排气子系统、氮氧化物(NOX)排气子系统、臭氧(O3)排气子系统等。在本实施例中，所述排气系统包括四个排气子系统，其中的每一个排气子系统都 包括压力基准点、压力控制点、排风机和风管集管。所述压力基准点用于提供零点位压力，所述压力控制点用于控制所述排风机，所述风管集管作为排气通道连通工厂室内和废气处 理装置，所述排风机则设置在所述风管集管的至少一端。具体来讲，酸排气子系统21包括 压力基准点211、压力控制点212、风管集管213和酸排风机214;碱排气子系统22包括压力 基准点221、压力控制点222、风管集管223和碱排风机224 ；挥发性有机类溶剂排气子系统 23包括压力基准点231、压力控制点232、风管集管233和有机排风机234 ；—般排气子系统 24包括压力基准点Ml、压力控制点M2、风管集管243和一般排风机M4。在实际应用中， 对于其中的每一个排气子系统来讲，所述压力控制点用于根据所述压力基准点提供的零点 位压力来控制所述排气子系统中的排风机执行相应的运作，例如可以通过所述排风机的运 转将工厂内的气体经由所述风管集管排放出去。特别地，为避免受到外界环境条件的干扰，在本实施例中，每一个排气子系统中的 压力基准点均被设置在室内。具体地，酸排气子系统21中的压力基准点211、碱排气子系统 22中的压力基准点221、挥发性有机类溶剂排气子系统23中的压力基准点231和一般排气 子系统M中的压力基准点241通过传输线设置在室内。为便于对所述多个压力基准点进行集中管控，本实施例还提供了设置在室内的零 点箱26。这样，就可以将所述的酸排气子系统21中的压力基准点211、碱排气子系统22中 的压力基准点221、挥发性有机类溶剂排气子系统23中的压力基准点231和一般排气子系 统M中的压力基准点241集中设置在零点箱沈内。更进一步地，在酸排气子系统21、碱 排气子系统22、挥发性有机类溶剂排气子系统23和一般排气子系统M所采用的零点位压 力相同或相近时，所述对应各个排气子系统的压力基准点211、221、231、241还可以相互联 合在一起，构成一个共用压力基准点，以提供共用的一个零点位压力给所述多个排气子系 统。也就是说，所述排气系统中的酸排气子系统21、碱排气子系统22、挥发性有机类溶剂排 气子系统23和一般排气子系统M能共用一个零点位压力，确保用以作为所述多个排气子 系统参考的零点位压力保持一致性；同时，由于多个排气子系统共用一个零点位压力基准 点，相比于现有技术的各个排气子系统的压力基准点分散设置且在出现波动时需要分散控 制来说，管理和控制更容易，并且更利于各排气子系统的压力控制点的检测。另外，在本实施例中，还提供了设置在室内的中控室25，可以将所述的酸排气子系 统21中的压力控制点212、碱排气子系统22中的压力控制点222、挥发性有机类溶剂排气 子系统23中的压力控制点232和一般排气子系统M中的压力控制点242集中设置在中控 室25内。这样，透过中控室25就可以向所述的多个排气子系统的压力控制点发出控制指 令，以令相应的排风机执行运作，便于进行集中管控。上述排气系统在工作时，透过中控室25向所述对应排气子系统的压力控制点发 出控制指令，所述压力控制点以设置在室内的零点箱中的压力基准点提供的零点位压力为 基准，控制对应的排气子系统中的排风机执行相应的运作(例如开始工作、加快或减慢运 转速度、停止工作等)，可以将工厂内的气体经由所述风管集管排放出去，实施有效的排气 作业，确保工厂内气体处于稳定的状态。本发明提供的排气系统，主要在于将各个排气子系统的压力基准点设置在室内， 可避免受到外界环境条件的干扰，能由所述压力基准点获得稳定的零点位压力，确保排气 系统的稳定运行。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应 视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种排气系统，包括至少一个排气子系统，所述排气子系统包括压力基准点、压力控 制点、排风机和风管集管，其特征在于，所述排气子系统的压力基准点设置在室内。
2.如权利要求1所述的排气系统，其特征在于，在所述排气系统包括多个排气子系统 时，所述多个排气子系统的压力基准点集中设置在室内。
3.如权利要求2所述的排气系统，其特征在于，所述多个排气子系统的压力基准点联 合在一起，构成一个共用压力基准点。
4.如权利要求2所述的排气系统，其特征在于，所述排气系统包括酸排气子系统、碱排 气子系统、挥发性有机类溶剂排气子系统和一般排气子系统。
5.如权利要求1、2或3所述的排气系统，其特征在于，还包括设置于室内的零点箱，所 述一个或多个排气子系统的压力基准点配置在所述零点箱内。
6.如权利要求1、2或3所述的排气系统，其特征在于，还包括设置于室内的中控室，所 述一个或多个排气子系统的压力控制点配置在所述中控室内。
全文摘要
一种排气系统，所述排气系统包括至少一个排气子系统，其中的排气子系统包括压力基准点、压力控制点、排风机和风管集管，所述压力基准点是设置在室内，以提供不受外界环境影响的零点位压力信号。相较于现有技术，本发明通过提供排气系统，将压力基准点设置在室内，可避免受到外界环境条件的干扰，压力基准点的零点位压力得以稳定，确保排气系统的稳定运行。
文档编号F24F7/06GK102072544SQ20091024631
公开日2011年5月25日 申请日期2009年11月25日 优先权日2009年11月25日
发明者孙屏 申请人:无锡华润上华半导体有限公司, 无锡华润上华科技有限公司