专利名称：异丙醇蒸汽清洗干燥装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于玻璃片清洗干燥装置，特别涉及 一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置。
背景技术：
在对玻璃进行湿法清洗之后，必须对玻璃进行有效的干 燥，以防止水或清洗液等残留物残留在玻璃表面。目前常用的
干燥技术是旋转清洗干燥(SRD)、异丙醇或者马兰高尼干燥。
旋转清洗干燥工艺中，使湿玻璃晶圆高速旋转，通过利用离心
力，将附着于玻璃晶圆表面的水或清洗液从玻璃晶圆中心甩到
玻璃晶圆的外部，并且进一步脱离玻璃晶圆，在玻璃晶圆中心
作用在小液滴上的离心力小，则很难将玻璃晶圆中心的残留物
甩离玻璃晶圆，因此这种方法在减少形成在玻璃晶圆表面的清
洗液小液滴方面存在困难，且因为疏水性晶片表面排斥水和水
基(含水)清洗液，所以旋转清洗干燥工艺难以对疏水性晶片
表面进行干燥。
异丙醇干燥目前是通过将处理槽内的纯水从处理槽底部
排出，使在处理槽内的玻璃露出来，由处理槽上部空间的异丙 醇蒸汽与附着在玻璃的表面的水滴进行置换，这样来干燥玻璃 表面。
另外，取代通过使处理槽内的纯水从处理槽底部排出、在 处理槽内露出玻璃片的情况，也有通过将玻璃片从处理槽内提 起，在处理槽内使玻璃片露出，并由处理槽上部空间的异丙醇蒸汽与附着在玻璃片表面的水滴置换来进行干燥的干燥装置。 然而，在上述构造的装置中，纯水清洗玻璃片时产生的异 物在处理槽的纯水液面附近呈浮游状态，处理槽内的纯水从处 理槽底部排出使在处理槽内的玻璃片露出，由于有异物微小颗 粒浮游的纯水在最后排除，就会在玻璃的表面附着有上述微小 颗粒，造成玻璃无法清洗干净。
另外，在上述构造的装置中，由于通过从处理槽底部排出 纯水使玻璃露出，在处理槽内含有微小颗粒的纯水不会全部都 排出，则在清洗液表面异丙醇的溶入量随着时间的推移而增 大，则在清洗液表面的纯水的异丙醇的浓度将增大并且异丙醇 溶入层的厚度也将变厚，这样异丙醇蒸汽置换玻璃片表面水滴 的效率就会下降，也就降低了干燥效率，并且会在玻璃表面产 生干燥斑纹。 ，
发明内容
为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种异丙醇蒸汽清 洗干燥装置，其结构简单，使用方便，干燥效率高。
本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是一 种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，包括氮气供气装置、第一过滤器、 第一减压阀、第一气动阀、第一流量计、异丙醇喷头、第二减 压阀、第二气动阀、第二流量计、异丙醇槽、第三气动阀、第 二过滤器、第三流量计、第四气动阀、安全阀、工作腔、料盒、 固定支架、加热灯、异丙醇浓度检测报警仪、排气装置和导流 管，以使用方向为基雍，氮气供气装置的出气端与第一过滤器 进气端连接，第一过滤器出气端分成两条支路，第一条支路依
5次串联了第一减压阀、第一气动阀和第一流量计，最终与异丙 醇喷头的进气端连接，,将设定压力和流量的氮气供给到异丙醇 喷头，另一条支路分别依次串联了第二减压阀、第二流量计和 第二气动阀，最终与异丙醇槽的进气端连接，将异丙醇槽内的 异丙醇液体压出，异丙醇槽的出液端分别依次串联了第三气动 阀、第二过滤器、第三流量计和第四气动阀，最终与异丙醇喷 头的进液端连接，将异丙醇槽内的异丙醇液体以设定液压和流 量供给到异丙醇喷头，异丙醇液体在异丙醇喷头内遇到设定压 力的氮气，氮气将异丙醇液体打成雾状喷出，异丙醇槽连接有 一安全阀，当异丙醇槽的进气压力过大，超过异丙醇槽的出液 端设定液压时，安全阀打开，释放异丙醇槽内过大气压，当异 丙醇槽的出液端低于设定液压时，安全阀关闭，停止释放异丙
醇槽内气压； '
异丙醇喷头和加热灯固设于工作腔内上端，异丙醇喷头出 气端朝向工作腔内侧，料盒固设于固定支架上，固定支架可移 动定位于工作腔内，需要清洗干燥的玻璃晶圆可放置于料盒 内，料盒在固定支架的带动下分别置于异丙醇喷头和加热灯下 方进行清洗和加热干燥，工作腔内固设有异丙醇浓度检测报警 仪和排气装置，当工作腔内的异丙醇超过设定浓度后，异丙醇 浓度检测报警仪将发出报警信号，此时工作腔的排气装置则打 开排气，当工作腔内的异丙醇低于设定浓度后，工作腔的排气 装置则关闭停止排气，这样就保证了工作腔内异丙醇浓度的稳 定性及工作腔内的工作安全性，工作腔体下方设有导流管，异 丙醇蒸汽冷却后变成异丙醇小液滴，该小液滴可沿导流管排出 工作腔外。
作为本实用新型的进一步改进，工作腔上的排气装置由第五气动阀和排气管组成，当工作腔内的异丙醇超过设定浓度 后，异丙醇浓度检测报警仪将发出报警信号，此时工作腔的排 气装置的第五气动阀打开，则排气管开始排气，当工作腔内的 异丙醇低于设定浓度后，排气装置的第五气动阀关闭则排气管 停止排气。
作为本实用新型的进一步改进，设有两个异丙醇喷头，第 三气动阀分两路分别串联有第二过滤器、第三流量计和第四气 动阀，最终分别与一个与异丙醇喷头的进液端连接，两个异丙 醇喷头同时清洗使清洗效率高，清洗更均匀、更彻底。
作为本实用新型的进一歩改进，料盒固设于固定支架结构 为料盒上设有一把手，该把手与固定支架上端固连，这样很 方便料盒的安装与拆卸。
作为本实用新型的进一步改进，加热灯为紫外灯管。
本实用新型的有益技术效果是本实用新型用设定压力的 氮气将异丙醇液体打成蒸汽对需要清洗的玻璃晶圆进行清洗， 然后再用加热灯对清洗过的玻璃晶圆进行干燥，此装置结构简 单，操作方便，清洁效率高，玻璃晶圆表面清洗的均匀又彻底， 玻璃晶圆清洗干燥后表面无干燥纹。
图1为本实用新型的示意图。
具体实施方式
实施例 一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，包括氮气供气装
置l、第一过滤器2、第一减压阀3、第一气动阀4、第一流量 计5、异丙醇喷头6、第二减压阀7、第二气动阀8、第二流量计9、异丙醇槽IO、第三气动阀ll、第二过滤器12、第三流 量计13、第四气动阀14、安全阀15、工作腔16、料盒17、 固定支架18、加热灯19、异丙醇浓度检测报警仪20、排气装 置21和导流管22，以使用方向为基准，氮气供气装置l的出 气端与第一过滤器2进气端连接，第一过滤器2出气端分成两 条支路，第一条支路依次串联了第一减压阀3、第一气动阀4 和第一流量计5，最终与异丙醇喷头6的进气端连接，将设定 压力和流量的氮气供给到异丙醇喷头6，另一条支路分别依次 串联了第二减压阀7、第二流量计9和第二气动阀8，最终与 异丙醇槽10的进气端连接，将异丙醇槽10内的异丙醇液体压 出，异丙醇槽10的出液端分别依次串联了第三气动阀11、第 二过滤器12、第三流量计13和第四气动阀14，最终与异丙醇 喷头6的进液端连接，将异丙醇槽10内的异丙醇液体以设定 液压和流量供给到异丙醇喷头6，异丙醇液体在异丙醇喷头6 内遇到设定压力的氮气，氮气将异丙醇液体打成雾状喷出，异 丙醇槽10连接有一安全阀15，当异丙醇槽10的进气压力过 大，超过异丙醇槽10的出液端设定液压时，安全阀15打开， 释放异丙醇槽10内过大气压，当异丙醇槽10的出液端低于设 定液压时，安全阀15关闭，停止释放异丙醇槽10内气压；
异丙醇喷头6和加热灯19固设于工作腔16内上端，异丙 醇喷头6出气端朝向工作腔16内侧，料盒17固设于固定支架 18上，固定支架18可移动定位于工作腔16内，需要清洗干 燥的玻璃晶圆可放置于料盒17内，料盒17在固定支架18的 带动下分别置于异丙醇喷头6和加热灯19下方进行清洗和加 热干燥，工作腔16内固设有异丙醇浓度检测报警仪20和排气 装置21，当工作腔16内的异丙醇超过设定浓度后，异丙醇浓度检测报警仪20将发出报警信号，此时工作腔16的排气装置 21则打开排气，当工作腔16内的异丙醇低于设定浓度后，工 作腔16的排气装置21则关闭停止排气，这样就保证了工作腔 16内异丙醇浓度的稳定性及工作腔内16的工作安全性，工作 腔16体下方设有导流管22，异丙醇蒸汽冷却后变成异丙醇小 液滴，该小液滴可沿导流管22排出工作腔16外。
所述工作腔16上的排气装置21由第五气动阀211和排气 管212组成，当工作腔16内的异丙醇超过设定浓度后，异丙 醇浓度检测报警仪20将发出报警信号，此时工作腔的排气装 置21的第五气动阀211打开，则排气管212开始排气，当工 作腔16内的异丙醇低于设定浓度后，排气装置21的第五气动 阀211关闭则排气管212停止排气。
所述设有两个异丙醇喷头6，第三气动阀11分两路分别 串联有第二过滤器12、第三流量计13和第四气动阀14，最终 分别与一个与异丙醇喷头6的进液端连接，两个异丙醇喷头同 时清洗使清洗效率高，清洗更均匀、更彻底。
所述料盒17固设于固定支架18结构为料盒17上设有 一把手171，该把手171与固定支架18上端固连，这样很方 便料盒17的安装与拆卸。
所述加热灯19为紫外灯管。
本实用新型的工作过程是
1) 将需要清洗干燥的的产品放置于料盒内，并将料盒固 定到固定支架上；
2) 支架带着料盒一起下降到工作腔底部，同时向工作腔 内注入纯水；
3) 支架带着料盒上升，使料盒内的玻璃晶圆从纯水中慢慢露出纯水面，同时打开异丙醇喷头，氮气将异丙醇喷头内的 异丙醇液体打成异丙醇蒸汽喷向需要清洁的玻璃晶圆表面，使
异丙醇蒸汽与附着在玻璃晶圆表面的纯水进行置换；
4) 当玻璃晶圆彻底离开纯水，异丙醇蒸汽与纯水置换完 成后，支架带有玻璃晶圆的料盒送至工作腔的加热灯下方，加 热灯对玻璃晶圆进行加热干燥。
5) 排气装置打开，将工作腔内异丙醇蒸汽排出；
6) 取出料盒。
权利要求1.一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其特征为包括氮气供气装置(1)、第一过滤器(2)、第一减压阀(3)、第一气动阀(4)、第一流量计(5)、异丙醇喷头(6)、第二减压阀(7)、第二气动阀(8)、第二流量计(9)、异丙醇槽(10)、第三气动阀(11)、第二过滤器(12)、第三流量计(13)、第四气动阀(14)、安全阀(15)、工作腔(16)、料盒(17)、固定支架(18)、加热灯(19)、异丙醇浓度检测报警仪(20)、排气装置(21)和导流管(22)，以使用方向为基准，氮气供气装置(1)的出气端与第一过滤器(2)进气端连接，第一过滤器(2)出气端分成两条支路，第一条支路依次串联了第一减压阀(3)、第一气动阀(4)和第一流量计(5)，最终与异丙醇喷头(6)的进气端连接，另一条支路分别依次串联了第二减压阀(7)、第二流量计(9)和第二气动阀(8)，最终与异丙醇槽(10)的进气端连接，异丙醇槽(10)的出液端分别依次串联了第三气动阀(11)、第二过滤器(12)、第三流量计(13)和第四气动阀(14)，最终与异丙醇喷头(6)的进液端连接，异丙醇槽(10)连接有一安全阀(15)；异丙醇喷头(6)和加热灯(19)固设于工作腔(16)内上端，异丙醇喷头(6)出气端朝向工作腔(16)内侧，料盒(17)固设于固定支架(18)上，固定支架(18)可移动定位于工作腔(16)内，工作腔(16)内固设有异丙醇浓度检测报警仪(20)和排气装置(21)，工作腔(16)体下方设有导流管(22)。
2. 根据权利要求4所述的一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置， 其特征为工作腔(16)上的排气装置(21)由第五气动阀(211) 和排气管(212)组成。
3. 根据权利要求1所述的一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其特征为设有两个异丙醇喷头(6)，第三气动阀(ll)分两路分别串联有第二过滤器(12)、第三流量计(13)和第四气动阀 (14)，最终分别与一个与异丙醇喷头(6)的进液端连接。
4. 根据权利要求1所述的一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其特征为料盒固设午固定支架结构为料盒(17)上设有一 把手(171)，该把手(171)与固定支架(18)上端固连。
5. 根据权利要求1所述的一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置， 其特征为加热灯(19)为紫外灯管。
专利摘要本实用新型公开了一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，氮气供气装置输出的氮气经过第一过滤器分成两条支路，第一条支路依次经过第一减压阀、第一气动阀和第一流量计，最终到达异丙醇喷头，另一条支路分别依次经过第二减压阀、第二流量计和第二气动阀，最终到达异丙醇槽，并将异丙醇槽内的异丙醇液体通过第三气动阀、第二过滤器、第三流量计和第四气动阀，压入异丙醇喷头，异丙醇槽连接有一安全阀；异丙醇喷头和加热灯固设于工作腔内，料盒固设于固定支架上，固定支架可移动定位于工作腔内，工作腔内还固设有异丙醇浓度检测报警仪、排气装置和导流管，此装置结构简单，操作方便，清洁效率高，玻璃晶圆表面清洗的均匀又彻底，干燥后表面无干燥纹。
文档编号F26B7/00GK201371142SQ20092004215
公开日2009年12月30日 申请日期2009年3月23日 优先权日2009年3月23日
发明者吴高军 申请人:昆山西钛微电子科技有限公司