专利名称：硅片清洗机喷淋用水加热设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种多晶硅片生产设备，具体涉及一种硅片清洗机喷淋用水加热设备。
背景技术：
硅片清洗机中使用的喷淋用水水温需保持在40°C，现有的硅片清洗机中没有加热设备，常因水温不足引起多晶硅片的脏片和花片现象，远远达不到生产工艺的要求。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，解决了因水温不足所引起的多晶硅片的脏片和花片现象。本发明采用的技术方案是一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，包括喷淋用水水箱和电加热管，所述喷淋用水水箱内设有电加热管；
所述电加热管包括金属管、电阻丝和氧化镁粉，所述金属管内设置有电阻丝，金属管内 空隙部分填充有氧化镁粉。工作原理本发明在耐高温不锈钢无缝管内均匀地分布高温电阻丝，在空隙部分致密地填入导热性能和绝缘性能均良好的结晶氧化镁粉，当高温电阻丝中有电流通过时，产生的热通过结晶氧化镁粉向金属管表面扩散，再传递到喷淋用水中去，达到加热的目的，再供硅片清洗机使用。有益效果通过使用本发明产品后，水温达到了工艺要求，保持在40°C左右，杜绝了多晶硅片脏片和花片现象，提高了产品的合格率，降低了生产成本。
附图为本发明的结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步说明
如附图所示一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，包括喷淋用水水箱I和电加热管2，所述喷淋用水水箱I内设有电加热管2 ；
所述电加热管2包括金属管、电阻丝和氧化镁粉，所述金属管内设置有电阻丝，金属管内空隙部分填充有氧化镁粉。
权利要求
1. 一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，其特征在于包括喷淋用水水箱(I)和电加热管(2)，所述喷淋用水水箱(I)内设有电加热管(2)； 所述电加热管(2)包括金属管、电阻丝和氧化镁粉，所述金属管内设置有电阻丝，金属管内空隙部分填充有氧化镁粉。
全文摘要
本发明公开了一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，包括喷淋用水水箱和电加热管，所述喷淋用水水箱内设有电加热管；所述电加热管包括金属管、电阻丝和氧化镁粉，所述金属管内设置有电阻丝，金属管内空隙部分填充有氧化镁粉。通过使用本发明产品后，水温达到了工艺要求，保持在40℃左右，杜绝了多晶硅片脏片和花片现象，提高了产品的合格率，降低了生产成本。
文档编号F24H1/20GK102723256SQ20111007969
公开日2012年10月10日 申请日期2011年3月31日 优先权日2011年3月31日
发明者姚兴平 申请人:江苏新潮光伏能源发展有限公司