专利名称：石英坩埚烘干炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石英坩埚烘干炉。
背景技术：
目前，石英坩埚在清洗后为提高效率和质量都需要烘干。国内大多数采用是转盘式圆烘干炉。这种烘干炉存在以下问题由于只有底部有石英加热管，因此坩埚温升慢，工作效率低；由于烘干时坩埚需放置到转盘上随转盘转动，因此坩埚容易碰撞烘干炉内壁造成坩埚崩口，从而影响产品质量。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种温升快，工作效率高，对产品质量无影响的石英坩埚烘干炉。本实用新型是这样实现的它有一个箱体，在箱体前面依次设有多个炉门，在箱体内的两个侧面、后面和底面分别间隔设有挂件，在箱体内的两侧、后部和底部分别通过挂件挂设有石英加热管，在箱体内设有多层支撑托架，在箱体一侧设有电控箱。上述的石英坩埚烘干炉，所述的支撑托架是由多根方管均布排列而成，在箱体两侧内壁对应方管的两端分别焊接有方管托架，所述的方管两端分别插入对应的方管托架内。上述的石英坩埚烘干炉，在箱体壁和炉门壁内分别设有保温棉，以提高保温效果。本实用新型的优点是由于在箱体内的两侧、后部和底部分别通过挂件挂设有石英加热管，因此加热速度快，坩埚温升快，工作效率高；烘干时坩埚放置到支撑托架上固定不动，因此对坩埚产品质量无影响。
图1是本实用新型的结构示意图；图2是图1的A-A剖视图。图中箱体1，炉门2，挂件3，石英加热管4，支撑托架5，方管501，排风嘴6，电控箱7，保温棉8，方管托架9，支撑方管10。
具体实施方式
如图所示，该石英坩埚烘干炉有一个箱体1，在箱体1顶部设有与箱体1内腔相通的排风嘴6，在箱体1前面通过合页依次安装有多个炉门2，炉门2的数量根据箱体1的长度确定，本实施例以三个炉门2为例，在箱体壁和炉门壁内分别设有保温棉8，以提高保温效果。在箱体1内的两个侧面和底面通过铆钉分别间隔固定有二个挂件3，在箱体1内的后面通过铆钉间隔固定有三个挂件3，所述的挂件3上均布有多个卡槽。在箱体1内的两侧、 后部和底部分别通过挂件3挂设有石英加热管4，石英加热管4卡在挂件3的卡槽内。在箱体ι内设有多层支撑托架5，本实施例以三层支撑托架为例，每层支撑托架5是由多根方管501均布排列而成，在箱体1两侧内壁对应方管501的两端分别焊接有槽钢型的方管托架9，所述的方管501两端分别插入对应的方管托架9内。在箱体1内的前后板面之间对应每层支撑托架5的中部分别焊接有二根支撑方管10，所述的支撑托架5中部落在支撑方管 10上。在箱体1 一侧设有用于控制石英加热管4温度的电控箱7，石英加热管4分别通过阻燃电缆与电控箱7电联接。 使用时打开炉门2，将石英坩埚依次放在支撑托架5上，通过电控箱7控制石英加热管4通电，待达到要求的温度后再调到恒温，便可连续进行烘干作业。
权利要求1.一种石英坩埚烘干炉，其特征是它有一个箱体，在箱体前面依次设有多个炉门，在箱体内的两个侧面、后面和底面分别间隔设有挂件，在箱体内的两侧、后部和底部分别通过挂件挂设有石英加热管，在箱体内设有多层支撑托架，在箱体一侧设有电控箱。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚烘干炉，其特征是所述的支撑托架是由多根方管均布排列而成，在箱体两侧内壁对应方管的两端分别焊接有方管托架，所述的方管两端分别插入对应的方管托架内。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚烘干炉，其特征是在箱体壁和炉门壁内分别设有保温棉。
专利摘要本实用新型公开了一种石英坩埚烘干炉，它有一个箱体，在箱体前面依次设有多个炉门，在箱体内的两个侧面、后面和底面分别间隔设有挂件，在箱体内的两侧、后部和底部分别通过挂件挂设有石英加热管，在箱体内设有多层支撑托架，在箱体一侧设有电控箱。优点是由于在箱体内的两侧、后部和底部分别通过挂件挂设有石英加热管，因此加热速度快，坩埚温升快，工作效率高；烘干时坩埚放置到支撑托架上固定不动，因此对坩埚产品质量无影响。
文档编号F26B9/06GK202126154SQ20112021571
公开日2012年1月25日 申请日期2011年6月24日 优先权日2011年6月24日
发明者侯建, 王震 申请人:锦州佑鑫电子材料有限公司