专利名称：热处理设备炉丝引线安装固定装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体热处理设备炉丝引线安装固定装置。
背景技术：
目前这一领域热处理设备上炉丝引线固定结构所采用的方式，如果炉丝引线在安装过程中存在明显的安装误差，则不能有效的对固定块进行调节以消除误差所带来的不利影响，而且炉丝引线与炉体内壁的绝缘不能进行良好的防范；目前的炉丝引线固定结构还存在着结构复杂，安装不方便的特点。
为了解决以上问题，本发明做了有益改进。
发明内容
(一)要解决的技术问题本发明的目的是提供一种能够有效避免炉丝引线与炉体内壁接触，且有效消除安装误差带来的不利影响的炉丝引线安装固定结构。(二)技术方案本发明是通过以下技术方案实现的一种热处理设备炉丝引线安装固定装置，包括引线固定块；所述引线固定块上设有通孔，用于通过炉丝引线；所述通孔周围设有凸台，所述凸台位于所述引线固定块的一侧；所述引线固定块的材质为绝缘材料。具体地，所述的通孔为长圆孔。进一步，该装置还包括固定螺栓；所述的引线固定块上设有安装孔，所述的固定螺栓穿过该安装孔来固定所述的引线固定块。进一步，所述的安装孔为长圆孔，该安装孔的长度方向与所述通孔的长度方向相垂直；所述的引线固定块在长圆孔的长度方向进行位置调节后，通过固定螺栓固定。再进一步，所述的安装孔为两个，且所述两个安装孔分别设置在所述通孔的两端。另外，所述的引线固定块的材质为陶瓷。(三)有益效果与现有技术和产品相比，本发明有如下优点I.有效消除了对于热处理设备中由炉丝引线的安装误差带来的安全隐患及其他不利影响；2.该炉丝引线的安装固定装置结构简单，便于安装调试。
图I是本发明的引线固定块的主视图；图2是图I的剖面视图；图3是本发明的引线固定块的后视图；图4是本发明的引线固定块在炉体上的安装位置示意图5是本发明对炉丝引线的安装位置示意图。附图中，各标记所代表的组件及相应结构列表如下I、引线固定块，2、凸台，3、通孔，4、安装孔，5、炉丝引线，6、炉体内壁，7、固定螺栓。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的具体实施方式
做一个详细的说明。如图I、图2和图3所示，用于半导体热处理设备炉丝引线的安装固定装置，该装置主要为引线固定块1，该引线固定块I上设有凸台2和通孔3。凸台2设置在通孔3的一侧的端口周围。通孔3为长圆孔形状。在通孔3的两端，引线固定块I上还设有两个安装孔4，这两个安装孔4同样为长圆孔形状，并且它们的长度方向与通孔3的长度方向垂直。如图4所示，凸台2能够嵌入在炉体内壁6里，炉丝引线5从该引线固定块I上的通孔3伸出。凸台2能够有效防止炉丝引线5和炉体内壁6的接触，增强了设备的安全性。 炉丝引线5置于所述的通孔3内，引线固定块I上的通孔3采用长圆孔的形式来吸收炉丝引线5在炉体内壁6上的安装误差，确保炉丝引线5不会因为加工误差或安装误差的作用而使炉丝引线5产生相应的外力。如图5所示，固定螺栓7通过安装孔4将引线固定块I固定在炉体内壁6上。由于安装孔4也是长圆孔形状，故引线固定块I可以沿该长圆孔长度方向左右移动，引线固定块I在长圆孔的长度方向进行位置调节后，通过固定螺栓7固定。从而完成引线固定块I与炉丝引线5的相对位置的调节。该装置的设计材料应为耐高温、绝缘材料；优选为陶瓷。以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。
权利要求
1.一种热处理设备炉丝引线安装固定装置，其特征在于，包括引线固定块，所述引线固定块上设有通孔，用于通过炉丝引线；所述通孔周围设有凸台，所述凸台位于所述引线固定块的一侧；所述引线固定块的材质为绝缘材料。
2.根据权利要求I所述的炉丝引线安装固定装置，其特征在于，所述的通孔为长圆孔。
3.根据权利要求2所述的炉丝引线安装固定装置，其特征在于，该装置还包括固定螺栓；所述的引线固定块上设有安装孔，所述的固定螺栓穿过该安装孔来固定所述的引线固定块。
4.根据权利要求3所述的炉丝引线安装固定装置，其特征在于，所述的安装孔为长圆孔，该安装孔的长度方向与所述通孔的长度方向相垂直；所述的引线固定块在长圆孔的长度方向进行位置调节后，通过固定螺栓固定。
5.根据权利要求4所述的炉丝引线安装固定装置，其特征在于，所述的安装孔为两个，且所述两个安装孔分别设置在所述通孔的两端。
6.根据权利要求I所述的炉丝引线安装固定装置，其特征在于，所述的引线固定块的材质为陶瓷。
全文摘要
本发明涉及一种半导体热处理设备炉丝引线安装固定装置，包括引线固定块；所述引线固定块上设有通孔，用于通过炉丝引线；所述通孔周围设有凸台，所述凸台位于所述引线固定块的一侧；所述引线固定块的材质为绝缘材料。本发明能够有效消除热处理设备中由炉丝引线的安装误差带来的安全隐患及其他不利影响，并且本发明的炉丝引线的安装固定装置结构简单，便于安装调试。
文档编号F27D11/02GK102809297SQ20121031428
公开日2012年12月5日 申请日期2012年8月29日 优先权日2012年8月29日
发明者孙少东, 董金卫, 王健, 钟华 申请人:北京七星华创电子股份有限公司