本实用新型属于一种磁性材料、半导体材料、功能材料等电子材料精密真空热处理炉领域，更具体地说，涉及一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置。
背景技术：
电子材料、磁性材料、功能材料在热处理过程中的不同工艺下所需的温度也不同，温度检测点越接近原材料越能更好的反应出材料实际的工艺温度。现有技术的真空热处理设备是在工艺反应腔外加热装置上设置温度监控热电偶，这样检测的温度与材料实际的工艺温度有较大的误差，无法准确监测材料在热处理是的实际温度，产成品的品质控制难度大，合格率低，生产成本较大。
技术实现要素：
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置，设计合理，内置热电偶监控装置的内置铠装热电偶安装在工艺反应腔内，能够直接检测原材料的工艺环境温度，准确的反馈材料热处理时的工艺温度，通过温度控制系统控制工艺反应腔外部加热装置，使材料在稳定准确的温度环境下进行热处理，保证了产成品的品质，大大提高合格率，降低生产成本，实用性强，适于推广。
为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：
一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置，与真空热处理炉相对应，其特征在于：所述内置热电偶监控装置包括若干内置测温热电偶，所述内置测温热电偶为铠装热电偶，所述内置测温热电偶通过热电偶密封装置穿过料腔门，所述热电偶密封装置密封安装在料腔门上；所述内置测温热电偶通过热电偶补偿导线连接至控温系统。
作为一种优化的技术方案，所述安装在工艺反应腔内的若干内置测温热电偶，每支长度各不相同，位置与外加热装置的测温热电偶位于同一切面，与外加热装置的测温热电偶一一对应。
作为一种优化的技术方案，所述热电偶密封装置包括压紧螺母、压紧垫圈、密封圈，每一支内置测温热电偶各通过一套热电偶密封装置进行密封。
作为一种优化的技术方案，所述内置测温热电偶通过连接件，连接热电偶补偿导线，连接至控温系统，用于控温外部加热装置加热和监测工艺反应腔内的温度。
由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型设计合理，内置热电偶监控装置的内置铠装热电偶安装在工艺反应腔内，能够直接检测原材料的工艺环境温度，准确的反馈材料热处理时的工艺温度，通过温度控制系统控制工艺反应腔外部加热装置，使材料在稳定准确的温度环境下进行热处理，保证了产成品的品质，大大提高合格率，降低生产成本，实用性强，适于推广。
参照附图和实施例对本实用新型做进一步说明。
附图说明
图1为本实用新型一种实施例的结构示意图。
图2为本实用新型一种实施例的热偶密封组件剖视图。
具体实施方式
实施例
如图1-2所示，一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置，与真空热处理炉相对应，所述内置热电偶监控装置包括若干内置测温热电偶1，所述内置测温热电偶为铠装热电偶，所述内置测温热电偶1通过热电偶密封装置5穿过料腔门8，所述热电偶密封装置5密封安装在料腔门8上；所述内置测温热电偶1通过热电偶补偿导线2连接至控温系统7。
所述安装在工艺反应腔内的若干内置测温热电偶1，每支长度各不相同，位置与外加热装置的测温热电偶3位于同一切面，与外加热装置4的测温热电偶3一一对应。
所述热电偶密封装置5包括压紧螺母9、压紧垫圈10、密封圈11，每一支内置测温热电偶1各通过一套热电偶密封装置5进行密封。
所述内置测温热电偶1通过连接件，连接热电偶补偿导线2，连接至控温系统7，用于控温外部加热装置4加热和监测工艺反应腔6内的温度。
本实用新型设计合理，内置热电偶监控装置的内置监控热电偶为铠装热电偶，安装在工艺反应腔内，与工艺反应腔外加热装置的监控热电偶的位置一一对应，直接检测材料的工艺环境温度；内置监控的铠装热电偶通过料腔门上的密封装置进行密封，达到真空热处理的密封要求；在不同的热处理工艺温度段，内置热电偶将温度测量信号通过连接件和热电偶补偿导线反馈给控温系统，控温系统实时显示反应腔内的各测温点温度，与设定的温度值进行比较后，对工艺反应腔外加热装置进行加热功率调节，实现系统的温度控制，使材料在稳定准确的温度环境下进行工艺热处理，保证了产成品品质，大大提高了合格率，降低生产成本，实用性强，适于推广。
本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。