一种晶圆旋转烘干机构的制作方法

本发明涉及半导体制作技术领域，更具体的说涉及一种晶圆旋转烘干机构。

背景技术：

通过去离子水清洗后，需要在最短的时间里把晶圆表面的水分去除，而且去除后晶圆的外表不要有任何水痕，否则会降低晶圆的良率。半导体生产上常采用以下几种干燥方式：旋转甩干、热氮气烘干等；

现有的旋转甩干装置中，其需要将晶圆逐一安装到架体上，其安装拆卸麻烦，效率低。

技术实现要素：

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种晶圆旋转烘干机构，它可以直接将安装有多个晶圆的旋转架安装到主箱体中直接进行甩干和烘干，安装拆卸方便，效果好。

本发明的技术解决措施如下：

一种晶圆旋转烘干机构，包括主箱体，所述主箱体的左端板的左侧壁中部固定有旋转电机，旋转电机的输出轴穿过主箱体的左端板的右侧壁并固定有夹持块，夹持块上具有夹持凹槽，安装有晶圆的旋转架的左端板插入夹持凹槽中，主箱体的右端板的中部成型有安装通槽，右连接板固定在主箱体的右端板的右侧壁上，右连接板覆盖安装通槽，右连接板的中部铰接有传动轴，传动轴的左端穿过安装通槽并固定有右定位块，旋转架的右端板插套在右定位块的左侧壁上成型有定位槽中；

所述主箱体的顶板的底面固定有下喷气槽体，下喷气槽体的底板上成型有多个螺接通孔，喷气头螺接在对应的螺接通孔中，喷气头的底端对着旋转架；

所述主箱体的顶板上成型有多个进气连接螺接通孔，进气连接螺接通孔与下喷气槽体相通。

所述主箱体的底板的中部通接有出液管。

所述主箱体的底板的顶面的左部和右部均固定有斜向板，两个斜向板的相远离的一端高于相靠近的一端，两个斜向板的相远离的一端固定在主箱体的左端板或右端板的内侧壁上。

所述传动轴的右端伸出右连接板的右侧壁并固定有转动部。

所述主箱体的前后两个侧板的中部均成型有长形通槽，支撑板插套在两个长形通槽上，支撑板的顶面靠近旋转架的底面。

所述主箱体的前侧板的前壁面上固定有支撑槽体，支撑槽体覆盖对应的长形通槽，支撑板的前端插套在支撑槽体中。

所述支撑板的后端伸出后方的长形通槽并固定有握持板，握持板压靠在主箱体的后壁板上。

所述主箱体的后壁板的后壁面上固定有长形导风筒，长形通槽与主箱体的后壁板的长形导风筒相通。

本发明的有益效果在于：其可以直接将安装有多个晶圆的旋转架安装到主箱体中直接进行甩干和烘干，安装拆卸方便，效果好。

附图说明

图1为本发明的局部剖视图；

图2为主箱体的前后两个侧板与旋转架之间的局部结构示意图。

具体实施方式

实施例：见图1至2所示，一种晶圆旋转烘干机构，包括主箱体10，所述主箱体10的左端板的左侧壁中部固定有旋转电机12，旋转电机12的输出轴穿过主箱体10的左端板的右侧壁并固定有夹持块13，夹持块13上具有夹持凹槽131，安装有晶圆的旋转架100的左端板插入夹持凹槽131中，主箱体10的右端板的中部成型有安装通槽14，右连接板15固定在主箱体10的右端板的右侧壁上，右连接板15覆盖安装通槽14，右连接板15的中部铰接有传动轴16，传动轴16的左端穿过安装通槽14并固定有右定位块17，旋转架100的右端板插套在右定位块17的左侧壁上成型有定位槽中；

所述主箱体10的顶板的底面固定有下喷气槽体20，下喷气槽体20的底板上成型有多个螺接通孔，喷气头21螺接在对应的螺接通孔中，喷气头21的底端对着旋转架100；

所述主箱体10的顶板上成型有多个进气连接螺接通孔18，进气连接螺接通孔18与下喷气槽体20相通。

进一步的说，所述主箱体10的底板的中部通接有出液管1。

进一步的说，所述主箱体10的底板的顶面的左部和右部均固定有斜向板2，两个斜向板2的相远离的一端高于相靠近的一端，两个斜向板2的相远离的一端固定在主箱体10的左端板或右端板的内侧壁上，出液管1通接在处于两个斜向板2之间的主箱体10的底板上。

进一步的说，所述传动轴16的右端伸出右连接板15的右侧壁并固定有转动部161。

进一步的说，所述主箱体10的前后两个侧板的中部均成型有长形通槽3，支撑板4插套在两个长形通槽3上，支撑板4的顶面靠近旋转架100的底面。

进一步的说，所述主箱体10的前侧板的前壁面上固定有支撑槽体5，支撑槽体5覆盖对应的长形通槽3，支撑板4的前端插套在支撑槽体5中。

进一步的说，所述支撑板4的后端伸出后方的长形通槽3并固定有握持板41，握持板41压靠在主箱体10的后壁板上。

进一步的说，所述主箱体10的后壁板的后壁面上固定有长形导风筒6，长形通槽3与主箱体10的后壁板的长形导风筒6相通。

本实施例在使用时，其安装拆卸旋转架100时，只需要将支撑板4插套在两个长形通槽3上，支撑板4的前端插套在支撑槽体5中，将右连接板15拆卸下来，然后，将旋转架100从安装通槽14伸入主箱体10中，使得旋转架100的左端板插入夹持凹槽131中，然后，将右连接板15的传动轴16转动，使得右定位块17的左侧壁上成型有定位槽与旋转架100的右端板相对齐，然后，将右连接板15固定在主箱体10的右端板的右侧壁上，此时的旋转架100的右端板插套在右定位块17的左侧壁上成型有定位槽中，完成定位夹持，然后，将支撑板4抽出，将模块化的通风机装置固定在长形导风筒6上即可。

其中模块化的通风机装置为连接架上安装至少一个通风机(其为常用的结构，不再详述，附图中也未显示)，连接架直接固定在长形导风筒6上并覆盖长形导风筒6。

然后，通过旋转电机12运行，可以实现旋转架100旋转，将其内的晶圆上的液体甩出，同时，进气连接螺接通孔18上通接热氮气进气管，热氮气可以通入主箱体10中，对其内的晶圆进行烘干，并通过开启通风机可以将气体进行排出，而甩出的液体可以由出液管1排出，非常方便。

拆卸时，将模块化的通风机装置卸下后，将支撑板4插入两个长形通槽3中，当其旋转架100未摆正时，可以通过开启旋转电机12，实现微调节旋转，以保证支撑板4可以插入两个长形通槽3中，并保证旋转架100处于支撑板4的正上方，然后，可以将右连接板15拆卸，使得传动轴16可以抽出，然后，即可将旋转架100拆卸从长形通槽3中移出，非常方便。

技术特征：

1.一种晶圆旋转烘干机构，包括主箱体(10)，其特征在于：所述主箱体(10)的左端板的左侧壁中部固定有旋转电机(12)，旋转电机(12)的输出轴穿过主箱体(10)的左端板的右侧壁并固定有夹持块(13)，夹持块(13)上具有夹持凹槽(131)，安装有晶圆的旋转架(100)的左端板插入夹持凹槽(131)中，主箱体(10)的右端板的中部成型有安装通槽(14)，右连接板(15)固定在主箱体(10)的右端板的右侧壁上，右连接板(15)覆盖安装通槽(14)，右连接板(15)的中部铰接有传动轴(16)，传动轴(16)的左端穿过安装通槽(14)并固定有右定位块(17)，旋转架(100)的右端板插套在右定位块(17)的左侧壁上成型有定位槽中；

所述主箱体(10)的顶板的底面固定有下喷气槽体(20)，下喷气槽体(20)的底板上成型有多个螺接通孔，喷气头(21)螺接在对应的螺接通孔中，喷气头(21)的底端对着旋转架(100)；

所述主箱体(10)的顶板上成型有多个进气连接螺接通孔(18)，进气连接螺接通孔(18)与下喷气槽体(20)相通。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆旋转烘干机构，其特征在于：所述主箱体(10)的底板的中部通接有出液管(1)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆旋转烘干机构，其特征在于：所述主箱体(10)的底板的顶面的左部和右部均固定有斜向板(2)，两个斜向板(2)的相远离的一端高于相靠近的一端，两个斜向板(2)的相远离的一端固定在主箱体(10)的左端板或右端板的内侧壁上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆旋转烘干机构，其特征在于：所述传动轴(16)的右端伸出右连接板(15)的右侧壁并固定有转动部(161)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆旋转烘干机构，其特征在于：所述主箱体(10)的前后两个侧板的中部均成型有长形通槽(3)，支撑板(4)插套在两个长形通槽(3)上，支撑板(4)的顶面靠近旋转架(100)的底面。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆旋转烘干机构，其特征在于：所述主箱体(10)的前侧板的前壁面上固定有支撑槽体(5)，支撑槽体(5)覆盖对应的长形通槽(3)，支撑板(4)的前端插套在支撑槽体(5)中。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆旋转烘干机构，其特征在于：所述支撑板(4)的后端伸出后方的长形通槽(3)并固定有握持板(41)，握持板(41)压靠在主箱体(10)的后壁板上。

8.根据权利要求5所述的一种晶圆旋转烘干机构，其特征在于：所述主箱体(10)的后壁板的后壁面上固定有长形导风筒(6)，长形通槽(3)与主箱体(10)的后壁板的长形导风筒(6)相通。

技术总结
本发明公开一种晶圆旋转烘干机构，包括主箱体，所述主箱体的左端板的左侧壁中部固定有旋转电机，旋转电机的输出轴穿过主箱体的左端板的右侧壁并固定有夹持块，夹持块上具有夹持凹槽，安装有晶圆的旋转架的左端板插入夹持凹槽中，主箱体的右端板的中部成型有安装通槽，右连接板固定在主箱体的右端板的右侧壁上，右连接板覆盖安装通槽，右连接板的中部铰接有传动轴，传动轴的左端穿过安装通槽并固定有右定位块，旋转架的右端板插套在右定位块的左侧壁上成型有定位槽中。本发明可以直接将安装有多个晶圆的旋转架安装到主箱体中直接进行甩干和烘干，安装拆卸方便，效果好。

技术研发人员：罗永胜
受保护的技术使用者：台州市老林装饰有限公司
技术研发日：2020.08.24
技术公布日：2020.11.27