硅料清洗干燥工装的制作方法

1.本申请涉及晶圆领域，特别是一种硅料清洗干燥工装。


背景技术：

2.现有技术中，硅料清洗效果较差，且效率较低。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种硅料清洗干燥工装，以克服现有技术中的不足。
4.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
5.本申请实施例公开了一种硅料清洗干燥工装，其特征在于：包括清洗箱以及设置在清洗箱内的工装篮，所述工装篮内设有横轴，所述横轴的两端贯穿工装篮延伸至清洗箱内，所述工装篮两侧的清洗箱内设有一对支撑块，一对所述支撑块上设有分别与横轴两端配合连接的轴承，所述横轴内设有第一腔体，所述第一腔体贯穿横轴的一端，所述工装篮内的横轴上凹设有与第一腔体连通的若干通孔，所述清洗箱左侧的外壁上凸设有环形齿，所述环形齿上啮合有齿轮，所述清洗箱外设有驱动电机，所述驱动电机的输出端延伸至清洗箱内与齿轮连接且驱动齿轮转动。
6.优选的，在上述的一种硅料清洗干燥工装中，所述清洗箱上可开合连接有第一密封盖，所述工装篮上可开合连接有第二密封盖。
7.优选的，在上述的一种硅料清洗干燥工装中，所述清洗箱外设有与横轴同轴设置的连接轴，所述连接轴朝向横轴的一端贯穿清洗箱延伸至清洗箱内，所述连接轴朝向横轴的一端凸设有插入第一腔体的插块，所述插块与第一腔体过盈配合连接，所述连接轴内设有与第一腔体连通的第二腔体，所述第二腔体贯穿连接轴的两端，所述清洗箱外壁上设有伸缩气缸，所述伸缩气缸驱动连接轴水平移动，所述轴承为半圆轴承，一对所述轴承相背的端面上设有限位块，靠近所述连接轴一侧的限位块上设有配合连接轴穿过的缺口。
8.优选的，在上述的一种硅料清洗干燥工装中，所述清洗箱底部设有排污口，所述工装篮下方的清洗箱内设有与排污口衔接的引导板。
9.优选的，在上述的一种硅料清洗干燥工装中，所述驱动电机为旋转电机。
10.优选的，在上述的一种硅料清洗干燥工装中，所述工装篮内设有水平设有多个搅拌轴，多个所述搅拌轴包围横轴设置，所述搅拌轴通过连接杆与横轴固定连接。
11.与现有技术相比，本发明的优点在于：
12.该工装通过第一腔体和通孔的配合实现中轴进风或进水，并且工装篮在结构配合下保持旋转，旋转过程中使得风或水对硅料充分的进行清洗或干燥，清洗更加高效，干燥更快快速。
附图说明
13.为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现
有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1所示为本发明具体实施例中硅料清洗干燥工装的俯视结构示意图。
具体实施方式
15.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
16.参图1所示，本实施例中的硅料清洗干燥工装，包括清洗箱1以及设置在清洗箱1内的工装篮2，工装篮2内设有横轴3，横轴3的两端贯穿工装篮2延伸至清洗箱1内，工装篮2两侧的清洗箱1内设有一对支撑块4，一对支撑块4上设有分别与横轴3两端配合连接的轴承5，横轴3内设有第一腔体6，第一腔体6贯穿横轴3的一端，工装篮2内的横轴3上凹设有与第一腔体6连通的若干通孔7，清洗箱1左侧的外壁上凸设有环形齿8，环形齿8上啮合有齿轮9，清洗箱1外设有驱动电机10，驱动电机10的输出端延伸至清洗箱1内与齿轮9连接且驱动齿轮9转动。
17.进一步的，清洗箱1上可开合连接有第一密封盖101，工装篮2上可开合连接有第二密封盖201。
18.进一步的，清洗箱1底部设有排污口102，工装篮2下方的清洗箱1内设有与排污口102衔接的引导板103。
19.进一步的，驱动电机10为旋转电机。
20.在该技术方案中，该工装通过第一腔体和通孔的配合实现中轴进风或进水，并且工装篮在结构配合下保持旋转，旋转过程中使得风或水对硅料充分的进行清洗或干燥，清洗更加高效，干燥更快快速。
21.在一实施例中，清洗箱1外设有与横轴3同轴设置的连接轴11，连接轴11朝向横轴3的一端贯穿清洗箱1延伸至清洗箱1内，连接轴11朝向横轴3的一端凸设有插入第一腔体6的插块12，插块12与第一腔体6过盈配合连接，连接轴11内设有与第一腔体6连通的第二腔体13，第二腔体13贯穿连接轴11的两端，清洗箱1外壁上设有伸缩气缸14，伸缩气缸14驱动连接轴11水平移动，轴承5为半圆轴承，一对轴承5相背的端面上设有限位块15，靠近连接轴11一侧的限位块15上设有配合连接轴11穿过的缺口16。
22.在该技术方案中，通过半圆轴承与连接轴的配合，实现整个工装篮与清洗箱的拆接，可以对工装篮进行整体的取出或放入清洗箱内，提高整体的清洗烘干效率，气缸驱动连接轴伸缩从而调整插块与第一腔体的连接关系进而实现拆接。
23.在一实施例中，工装篮2内设有水平设有多个搅拌轴17，多个搅拌轴17包围横轴3设置，搅拌轴17通过连接杆18与横轴3固定连接。
24.在该技术方案中，通过设置搅拌轴从而使得硅料清洗或公干效率更高。
25.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存
在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
26.以上仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。


技术特征：
1.一种硅料清洗干燥工装，其特征在于：包括清洗箱以及设置在清洗箱内的工装篮，所述工装篮内设有横轴，所述横轴的两端贯穿工装篮延伸至清洗箱内，所述工装篮两侧的清洗箱内设有一对支撑块，一对所述支撑块上设有分别与横轴两端配合连接的轴承，所述横轴内设有第一腔体，所述第一腔体贯穿横轴的一端，所述工装篮内的横轴上凹设有与第一腔体连通的若干通孔，所述清洗箱左侧的外壁上凸设有环形齿，所述环形齿上啮合有齿轮，所述清洗箱外设有驱动电机，所述驱动电机的输出端延伸至清洗箱内与齿轮连接且驱动齿轮转动。2.根据权利要求1所述的一种硅料清洗干燥工装，其特征在于：所述清洗箱上可开合连接有第一密封盖，所述工装篮上可开合连接有第二密封盖。3.根据权利要求1所述的一种硅料清洗工装，其特征在于：所述清洗箱外设有与横轴同轴设置的连接轴，所述连接轴朝向横轴的一端贯穿清洗箱延伸至清洗箱内，所述连接轴朝向横轴的一端凸设有插入第一腔体的插块，所述插块与第一腔体过盈配合连接，所述连接轴内设有与第一腔体连通的第二腔体，所述第二腔体贯穿连接轴的两端，所述清洗箱外壁上设有伸缩气缸，所述伸缩气缸驱动连接轴水平移动，所述轴承为半圆轴承，一对所述轴承相背的端面上设有限位块，靠近所述连接轴一侧的限位块上设有配合连接轴穿过的缺口。4.根据权利要求1所述的一种硅料清洗干燥工装，其特征在于：所述清洗箱底部设有排污口，所述工装篮下方的清洗箱内设有与排污口衔接的引导板。5.根据权利要求1所述的一种硅料清洗干燥工装，其特征在于：所述驱动电机为旋转电机。6.根据权利要求1所述的一种硅料清洗干燥工装，其特征在于：所述工装篮内设有水平设有多个搅拌轴，多个所述搅拌轴包围横轴设置，所述搅拌轴通过连接杆与横轴固定连接。

技术总结
本申请公开了一种硅料清洗干燥工装，包括清洗箱以及设置在清洗箱内的工装篮，工装篮内设有横轴，横轴的两端贯穿工装篮延伸至清洗箱内，工装篮两侧的清洗箱内设有一对支撑块，一对支撑块上设有分别与横轴两端配合连接的轴承，横轴内设有第一腔体，第一腔体贯穿横轴的一端，工装篮内的横轴上凹设有与第一腔体连通的若干通孔，清洗箱左侧的外壁上凸设有环形齿，环形齿上啮合有齿轮，清洗箱外设有驱动电机，驱动电机的输出端延伸至清洗箱内与齿轮连接且驱动齿轮转动。该工装通过第一腔体和第二腔体的配合实现中轴进风或进水，并且工装篮在结构配合下保持旋转，旋转过程中使得风或水对硅料充分的进行清洗或干燥，清洗更加高效，干燥更快快速。燥更快快速。燥更快快速。


技术研发人员：陈烔杰 何志明 陆进时 丁晓 陈伟
受保护的技术使用者：张家港市超声电气有限公司
技术研发日：2021.12.07
技术公布日：2022/3/1