石英炉门链接机构的制作方法

文档序号:27869757发布日期:2021-12-08 14:06阅读:267来源:国知局
石英炉门链接机构的制作方法

1.本实用新型涉及扩散炉门领域,特别涉及一种石英炉门链接机构。


背景技术:

2.扩散炉主要用于硅片太阳能器件制造中的扩散、氧化工艺,炉体是扩散、氧化工艺的反应腔室,炉门的结构形式非常关键,在工艺运行时,为了避免炉门与石英管的碰撞造成石英管损坏,炉门开启和关闭动作均为二步,快进

慢进和慢退

快退,即在接近石英管和远离石英管时需要缓慢动作。扩散炉的炉门装置主要有旋转式炉门和直线式炉门两种,旋转式炉门被普遍采用,但其需要占用垂直方向空间,目前根据客户需求,一台设备普遍安装4管甚至5管炉体,导致整台设备高度较高,不便于设备的运输、安装调试和日常维护。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的是提供一种石英炉门链接机构,具有与固定石英炉门配套使用时保护石英突出的优点。
4.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
5.一种石英炉门链接机构,包括底板、连接块、定位装置和盖板,所述底板水平放置,所述底板的周缘开设有槽体,所述定位装置固定安装在所述槽体的内部,所述定位装置的右侧间隔设置有连接块,所述连接块的顶部固定安装有盖板。
6.进一步的,所述槽体的内壁的顶部开设有第一定位孔和第二定位孔。
7.进一步的,所述连接块的顶部中间位置开设有通孔,所述连接块的外部套设有弹簧,所述连接块的顶部和所述连接块的底部固定安装有垫圈。
8.进一步的,所述定位装置包括第一组件、第二组件、销钉和压板;所述第一组件水平放置,所述第二组件的左侧的顶部开设有第三定位孔,所述第二组件的右侧的顶部开设有第四定位孔,所述第二组件固定安装在所述第一组件的顶部,所述第二组件的前端面的中间位置开设有通孔,所述通孔用于穿过所述销钉,所述压板固定安装在所述第一组件的顶部。
9.进一步的,所述第一定位孔与所述第三定位孔同轴,所述第二定位孔与所述第四定位孔同轴。
10.综上所述,本实用新型具有以下有益效果:
11.1.通过定位装置和连接块上垫圈的设置,能够起到更好保护石英的效果。
附图说明
12.图1是本实施例中石英炉门链接机构结构示意图,用于体现底板、连接块、定位装置和盖板之间的连接关系;
13.图2是本实施例中用于体现垫圈、弹簧和连接块之间连接关系的结构示意图;
14.图3是本实施例中用于体现第一组件、第二组件、销钉、压板、第三定位孔和第四定
位孔之间连接关系的结构示意图;
15.图4是本实施例中用于体现槽体、第一定位孔和第二定位孔之间连接关系的结构示意图。
16.图中,1、底板;11、槽体;12、第一定位孔;13、第二定位孔;2、连接块;21、弹簧;22、垫圈;3、定位装置;31、第一组件;32、第二组件;321、第三定位销;322、第四定位销;33、销钉;34、压板;4、盖板。
具体实施方式
17.以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
18.其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是,下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向,词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定中心的方向。
19.实施例:一种石英炉门链接机构器,如图1所示,包括底板1、连接块2、定位装置3和盖板4,所述底板1水平放置,所述底板1的周缘开设有槽体11,所述定位装置3固定安装在所述槽体11的内部,所述定位装置3的右侧间隔设置有连接块2,所述连接块2的顶部固定安装有盖板4。
20.作为本实用新型的一种技术优化方案,所述槽体11的内壁的顶部开设有第一定位孔12和第二定位孔13;所述连接块2的顶部中间位置开设有通孔,所述连接块2的外部套设有弹簧21,所述连接块2的顶部和所述连接块2的底部固定安装有垫圈22,所述垫圈22用于缓冲和保护作用。
21.作为本实用新型的一种技术优化方案,所述定位装置3包括第一组件31、第二组件32、销钉33和压板34;所述第一组件31水平放置,所述第二组件32 的左侧的顶部开设有第三定位孔321,所述第二组件32的右侧的顶部开设有第四定位孔322,所述第二组件32固定安装在所述第一组件31的顶部,所述第二组件32的前端面的中间位置开设有通孔,所述通孔用于穿过所述销钉33,所述压板34固定安装在所述第一组件31的顶部。
22.作为本实用新型的一种技术优化方案,所述第一定位孔12与所述第三定位孔321同轴,所述第二定位孔13与所述第四定位孔322同轴,通过定位销连接。
23.具体实施过程:当石英炉门链接机构安装时,先将底板1水平放置,通过第一定位孔12、第二定位孔13、第三定位孔321和第四定位孔322将所述底板 1、第一组件31和第二组件32定位连接,所述销钉33穿入所述第二组件32的通孔中,将压板34固定安装在所述第一组件31的顶部,所述连接块2通过底板1上的专属定位孔定位,先将弹簧21套在所述连接块2的外部,在所述连接块2的通孔出穿入定位销,连接所述连接块2、底板1和盖板4,在连接块2对应位置的底板1的底部和盖板4的顶部安装垫圈22。
24.本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释,其并不是对本实用新型的限制,本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改,但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。


技术特征:
1.石英炉门链接机构,包括底板(1)、连接块(2)、定位装置(3)和盖板(4),其特征在于:所述底板(1)水平放置,所述底板(1)的周缘开设有槽体(11),所述定位装置(3)固定安装在所述槽体(11)的内部,所述定位装置(3)的右侧间隔设置有连接块(2),所述连接块(2)的顶部固定安装有盖板(4)。2.根据权利要求1所述的石英炉门链接机构,其特征在于:所述槽体(11)的内壁的顶部开设有第一定位孔(12)和第二定位孔(13)。3.根据权利要求1所述的石英炉门链接机构,其特征在于:所述连接块(2)的顶部中间位置开设有通孔,所述连接块(2)的外部套设有弹簧(21),所述连接块(2)的顶部和所述连接块(2)的底部固定安装有垫圈(22)。4.根据权利要求2所述的石英炉门链接机构,其特征在于:所述定位装置(3)包括第一组件(31)、第二组件(32)、销钉(33)和压板(34);所述第一组件(31)水平放置,所述第二组件(32)的左侧的顶部开设有第三定位孔(321),所述第二组件(32)的右侧的顶部开设有第四定位孔(322),所述第二组件(32)固定安装在所述第一组件(31)的顶部,所述第二组件(32)的前端面的中间位置开设有通孔,所述通孔用于穿过所述销钉(33),所述压板(34)固定安装在所述第一组件(31)的顶部。5.根据权利要求4所述的石英炉门链接机构,其特征在于:所述第一定位孔(12)与所述第三定位孔(321)同轴,所述第二定位孔(13)与所述第四定位孔(322)同轴。

技术总结
一种石英炉门链接机构,包括底板、连接块、定位装置和盖板,所述底板水平放置,所述底板的周缘开设有槽体,所述定位装置固定安装在所述槽体的内部,所述定位装置的右侧间隔设置有连接块,所述连接块的顶部固定安装有盖板。本实用新型的目的是提供一种石英炉门链接机构,具有与固定石英炉门配套使用时保护石英突出的优点。的优点。的优点。


技术研发人员:刘鹤川 林双全 蔡萍
受保护的技术使用者:无锡市索克赛斯科技有限公司
技术研发日:2021.04.08
技术公布日:2021/12/7
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1