一种带有换热式降温结构的蚀刻槽的制作方法

文档序号:27963802发布日期:2021-12-12 22:08阅读:79来源:国知局
一种带有换热式降温结构的蚀刻槽的制作方法

1.本实用新型涉及蚀刻槽技术领域,特别是涉及一种带有换热式降温结构的蚀刻槽。


背景技术:

2.蚀刻操作时,产品蚀刻过程中会产生大量热量,热量会导致蚀刻效率降低,并且产品容易产生侧蚀,为了解决该问题,常规的情况是将降温管安装在蚀刻槽底部,并通过循环冷却液来对蚀刻液的温度进行降低,该方式有一定缺陷,该缺陷是设备改造成本高,需要换热器设备以及配套管路;为了解决上述问题,设计一种新的带有换热式降温结构的蚀刻槽是非常有必要的。


技术实现要素:

3.本实用新型所要解决的技术问题是提供一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,具有方便蚀刻槽改造、改造成本低、安装方便、结构简单、操作简便、温控效果好等特点。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,包括换热座、蚀刻槽本体和换热金属片,所述的蚀刻槽本体上端设置有开口槽,所述的蚀刻槽本体的下端设置有换热金属片,换热金属片的上端设置有若干穿过蚀刻槽本体的上部换热片,所述的换热金属片的下端面上均匀安装有下部换热片,所述的换热座上部设置有降温槽,所述的蚀刻槽本体安装在换热座内,下部换热片插入降温槽内。
5.作为对本技术方案的一种补充,所述的蚀刻槽本体的开口槽底面上对称设置有两个安装座,所述的安装座上设置有蚀刻工装。
6.作为对本技术方案的一种补充,所述的上部换热片中设置有四片定位式换热片,四片定位式换热片分为两组,穿过安装座和蚀刻工装。
7.作为对本技术方案的一种补充,所述的蚀刻工装上设置有放置槽。
8.作为对本技术方案的一种补充,所述的换热座上端边缘处设置有一圈定位台阶,所述的蚀刻槽本体下端卡入到定位台阶内。
9.作为对本技术方案的一种补充,所述的换热座一端底部设置有与降温槽底部对应的进水管,所述的换热座另一端上部设置有与降温槽上部对应的出水管。
10.有益效果:本实用新型涉及一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,具体有益效果如下:
11.(1)、本装置通过增加一个换热器金属片即可对蚀刻槽进行改造,不需要负责的冷却管铺设,不需要改变蚀刻槽整体结构,大大降低设备改造成本以及改造难度;
12.(2)、通过增加换热座,方便冷却空间的布置,同时通过设置定位式换热片方便蚀刻工装的定位,对接时,只需要将蚀刻槽本体直接放置在换热座上即可,大大简化了换热工作的操作。
附图说明
13.图1是本实用新型的俯视图;
14.图2是本实用新型的全剖视图。
15.图示:1、换热座,2、蚀刻槽本体,3、进水管,4、出水管,5、换热金属片,6、下部换热片,7、安装座,8、蚀刻工装,9、上部换热片,10、定位台阶,11、定位式换热片,12、放置槽。
具体实施方式
16.下面结合具体实施例,进一步阐述本实用新型。应理解,这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解,在阅读了本实用新型讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
17.本实用新型的实施方式涉及一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,如图1—2所示,包括换热座1、蚀刻槽本体2和换热金属片5,所述的蚀刻槽本体2上端设置有开口槽,所述的蚀刻槽本体2的下端设置有换热金属片5,换热金属片5的上端设置有若干穿过蚀刻槽本体2的上部换热片9,所述的换热金属片5的下端面上均匀安装有下部换热片6,所述的换热座1上部设置有降温槽,所述的蚀刻槽本体2安装在换热座1内,下部换热片6插入降温槽内。
18.本技术方案进行工作的时候,首先将冷却水或者冰或者干冰放置在换热座1的降温槽内,之后将带有换热金属片5的蚀刻槽本体2安装在换热座1上,然后启动阀门从进水管3处开始通水,接着将蚀刻液导入到开口槽内,最后将带有产品的蚀刻工装8安装在安装座7即可,在蚀刻液反应生热时,上部换热片9对蚀刻液进行降温,确保生产效率。
19.作为对本技术方案的一种补充,所述的蚀刻槽本体2的开口槽底面上对称设置有两个安装座7,所述的安装座7上设置有蚀刻工装8。
20.作为对本技术方案的一种补充,所述的上部换热片9中设置有四片定位式换热片11,四片定位式换热片11分为两组,穿过安装座7和蚀刻工装8。
21.通过设置四片定位式换热片11方便对蚀刻工装8进行定位。
22.作为对本技术方案的一种补充,所述的蚀刻工装8上设置有放置槽12。
23.作为对本技术方案的一种补充,所述的换热座1上端边缘处设置有一圈定位台阶10,所述的蚀刻槽本体2下端卡入到定位台阶10内。
24.通过设置定位台阶10,方便换热座1与蚀刻槽本体2进行对接。
25.作为对本技术方案的一种补充,所述的换热座1一端底部设置有与降温槽底部对应的进水管3,所述的换热座1另一端上部设置有与降温槽上部对应的出水管4。
26.进水管3的进水流量小于出水管4的出水量。


技术特征:
1.一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,其特征在于:包括换热座(1)、蚀刻槽本体(2)和换热金属片(5),所述的蚀刻槽本体(2)上端设置有开口槽,所述的蚀刻槽本体(2)的下端设置有换热金属片(5),换热金属片(5)的上端设置有若干穿过蚀刻槽本体(2)的上部换热片(9),所述的换热金属片(5)的下端面上均匀安装有下部换热片(6),所述的换热座(1)上部设置有降温槽,所述的蚀刻槽本体(2)安装在换热座(1)内,下部换热片(6)插入降温槽内。2.根据权利要求1所述的一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,其特征在于:所述的蚀刻槽本体(2)的开口槽底面上对称设置有两个安装座(7),所述的安装座(7)上设置有蚀刻工装(8)。3.根据权利要求2所述的一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,其特征在于:所述的上部换热片(9)中设置有四片定位式换热片(11),四片定位式换热片(11)分为两组,穿过安装座(7)和蚀刻工装(8)。4.根据权利要求2所述的一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,其特征在于:所述的蚀刻工装(8)上设置有放置槽(12)。5.根据权利要求1所述的一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,其特征在于:所述的换热座(1)上端边缘处设置有一圈定位台阶(10),所述的蚀刻槽本体(2)下端卡入到定位台阶(10)内。6.根据权利要求1所述的一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,其特征在于:所述的换热座(1)一端底部设置有与降温槽底部对应的进水管(3),所述的换热座(1)另一端上部设置有与降温槽上部对应的出水管(4)。

技术总结
本实用新型涉及一种带有换热式降温结构的蚀刻槽,包括换热座、蚀刻槽本体和换热金属片,所述的蚀刻槽本体上端设置有开口槽,所述的蚀刻槽本体的下端设置有换热金属片,换热金属片的上端设置有若干穿过蚀刻槽本体的上部换热片,所述的换热金属片的下端面上均匀安装有下部换热片,所述的换热座上部设置有降温槽,所述的蚀刻槽本体安装在换热座内,下部换热片插入降温槽内。本实用新型具有方便蚀刻槽改造、改造成本低、安装方便、结构简单、操作简便、温控效果好等特点。温控效果好等特点。温控效果好等特点。


技术研发人员:任忠平 尹国钦 陈绍文 卞海刚 蒋晶晶
受保护的技术使用者:宁波福至新材料有限公司
技术研发日:2021.06.29
技术公布日:2021/12/11
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