炉体结构及半导体装置的制作方法

文档序号:33023946发布日期:2023-01-20 19:10阅读:来源:国知局

技术特征:
1.炉体结构,其特征在于,包括:炉本体(1),所述炉本体(1)具有容纳产品的容纳腔;加热组件(2),所述加热组件(2)设在所述容纳腔内,且为至少一个,每个所述加热组件(2)包括多个并联设置的加热件(21),每个所述加热件(21)为环形波浪结构,且每个所述加热件(21)上具有缺口以使得所述加热组件(2)沿周向具有间隔的两端;电极组件(3),所述电极组件(3)成对设置,成对设置的所述电极组件(3)均穿设在所述炉本体(1)上,且连接在所述加热组件(2)的周向两端。2.根据权利要求1所述的炉体结构,其特征在于,所述容纳腔的内侧壁具有多个安装槽(1211),每个所述安装槽(1211)内安装有一个所述加热件(21)。3.根据权利要求2所述的炉体结构,其特征在于,所述安装槽(1211)内设有挂杆(5),所述加热件(21)设有与所述挂杆(5)配合的挂孔(212)。4.根据权利要求3所述的炉体结构,其特征在于,所述挂杆(5)的下端套设有绝缘套筒(7)和/或所述挂杆(5)的上端设有绝缘垫片(8)。5.根据权利要求1-4中任一项所述的炉体结构,其特征在于,所述加热组件(2)还包括两个连接板(22),两个所述连接板(22)分别连接在所述加热件(21)的周向两端,且与成对设置的所述电极组件(3)分别连接。6.根据权利要求5所述的炉体结构,其特征在于,每个所述加热件(21)的周向两端均设有固定部(211),所述连接板(22)上设有与所述固定部(211)对应设置的连接部(221),所述电极组件(3)与所述连接部(221)及所述固定部(211)相连。7.根据权利要求1-4中任一项所述的炉体结构,其特征在于,所述炉本体(1)包括外壳(11)、隔热主体(12)和端板(13),所述外壳(11)的两端敞开设置,所述端板(13)设在所述外壳(11)的两端,所述隔热主体(12)设在所述外壳(11)内,且所述隔热主体(12)包括多个拼接结构(121),多个所述拼接结构(121)沿圆周方向依次拼接。8.根据权利要求7所述的炉体结构,其特征在于,所述外壳(11)具有位于所述隔热主体(12)径向外侧且环绕所述隔热主体(12)设置的冷却流道(111)。9.根据权利要求1-4中任一项所述的炉体结构,其特征在于,所述炉体结构包括穿设在所述炉本体(1)上的测温组件(4),所述测温组件(4)用于测量所述加热组件(2)的加热温度。10.半导体装置,其特征在于,所述半导体装置包括如权利要求1-9中任一项所述的炉体结构。

技术总结
本发明公开了一种炉体结构及半导体装置,该炉体结构包括炉本体、加热组件和电极组件,炉本体具有容纳产品的容纳腔,加热组件设在容纳腔内,且为至少一个,每个加热组件包括多个并联设置的加热件,每个加热件为环形波浪结构,且每个加热件上具有缺口以使得加热组件沿周向具有间隔的两端,电极组件成对设置,成对设置的电极组件均穿设在炉本体上,且连接在加热组件的周向两端。该炉体结构在一个加热件烧断时能够稳定工作,确保了炉体结构的可靠性,且炉体结构的加热件能够较好地吸收其工作过程中产生的热变形,延长加热件的使用寿命。延长加热件的使用寿命。延长加热件的使用寿命。


技术研发人员:林佳继 龙占勇 李洪 刘群
受保护的技术使用者:深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
技术研发日:2022.10.20
技术公布日:2023/1/19
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