本发明涉及一种具备容器保管架和非活性气体供应装置的容器保管设备，该容器保管架具备多个分别载置容器的容器载置部，该非活性气体供应装置对载置于容器载置部的每一个容器供应非活性气体。
背景技术：
1、在国际公开第2015/045582号（专利文献1）中公开了这样的容器保管设备的一例。以下，在该背景技术的说明中，在括号内引用专利文献1中的符号和名称。
2、专利文献1所记载的净化装置配置于在洁净室内设置的储料器（2）中。储料器（2）的内部空间（6）被分割为作业区域（12）和非作业区域（14）。在作业区域（12）和非作业区域（14）的边界设置有限制净化气体从非作业区域（14）向作业区域（12）侵入的隔板（30）。在作业者进入内部空间（6）时，净化装置停止作业区域（12）中的净化。监视作业区域（12）中的氧浓度，在从氧浓度传感器（54）取得的作业区域（12）内的氧浓度的检测结果为规定值以下的情况下，在非作业区域（14）中也停止净化气体的供应。
技术实现思路
1、在专利文献1所记载的技术中，在作业者进入内部空间时，停止作业区域的净化，以确保作业者的安全。此外，在作业区域的氧浓度变为规定值以下的情况下，停止非作业区域的净化，由此，谋求作业区域的氧浓度的恢复。但是，在停止净化气体的供应而等待氧浓度恢复这样的专利文献1所记载的技术中，在氧浓度降低到规定值以下的情况下，不能迅速地恢复氧浓度，例如，在氧浓度的恢复缓慢的情况下，作业者有时也必须中断作业。因此，专利文献1所记载的技术有可能对作业者的作业产生障碍。
2、因此，期望实现能够避免氧浓度的降低而避免对作业者的作业产生障碍的容器保管设备。
3、鉴于上述的容器保管设备的特征结构之处在于，
4、一种容器保管设备，具备：
5、容器保管架，具备多个分别载置容器的容器载置部；以及
6、非活性气体供应装置，对载置于所述容器载置部的每一个所述容器供应非活性气体，
7、其中，所述容器保管设备具备：
8、传感器组，由在所述容器保管架的周边分散配置的多个氧浓度传感器构成；
9、扩散用风扇，以能够对所述容器保管架的必要处送风的方式设置；以及
10、控制装置，
11、所述控制装置将所述容器保管架的整个区域划分为多个监视区域，基于构成所述传感器组的多个所述氧浓度传感器的每一个的检测值估计所述多个监视区域的每一个的氧浓度，在存在估计出的所述氧浓度为规定的判定阈值以下的所述监视区域即氧浓度降低区域的情况下，使所述扩散用风扇工作，以使得对该氧浓度降低区域送风。
12、在具备具有多个分别载置容器的容器载置部的容器保管架和对载置于容器载置部的每一个容器供应非活性气体的非活性气体供应装置的容器保管设备中，有时氧浓度根据从容器的非活性气体的泄漏的程度而局部地降低。在该情况下，作业者不能进入氧浓度降低了的区域。根据本结构，针对容器保管架的多个监视区域的每一个监视氧浓度，在容器保管设备内存在氧浓度降低区域的情况下，对该氧浓度降低区域送风，由此，能够使氧浓度降低区域的非活性气体扩散。由此，能够避免容器保管设备内的局部的氧浓度的降低，从而避免对作业者的作业产生障碍。
13、通过参照附图所记述的以下的示例性且非限制性的实施方式的说明，本公开的技术的进一步的特征和优点变得更明确。
1.一种容器保管设备，具备：
2.根据权利要求1所述的容器保管设备，其中，
3.根据权利要求1或2所述的容器保管设备，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的容器保管设备，其中，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的容器保管设备，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的容器保管设备，其中，
7.根据权利要求6所述的容器保管设备，其中，