一种电炉退热托盘的制作方法

1.本实用新型涉及一种电炉退热托盘。


背景技术：

2.目前，真空镀膜机用于抽高真空的真空泵使用最大量的是扩散泵，而扩散泵使用的真空泵油由于它的理化特性，必须在《10-1pa压强的真空环境中被加热后才能工作，一旦在加热的情况下接触到大气，真空泵油的理化指标迅速恶化直到失去功用，所以，当镀膜机结束工作后，真空泵油必须被冷却到一定的温度下才能关闭设备。
3.现在对扩散泵采用的冷却方法是仅靠扩散泵外壁的冷却水管冷却，而底部热源电炉盘没有移除，由于电炉盘为了提高加热效果，四周使用了保温材料，使得散热过程的时间很长。另外，由于现在电炉盘与扩散泵之间采用悬挂连接，在电炉电源刚切断时的温度很高，人手无法移除电炉盘。这样由于热源的存在，使得扩散泵的冷却效果不好，冷却的时间很长。而在扩散泵冷却阶段还需辅以机械泵和冷水机和冷却塔水冷，造成多余的电力等资源浪废。加上看管设备的人工成本，产生很高的生产成本。


技术实现要素：

4.针对上述现有技术存在的缺陷，本实用新型要解决的技术问题是：设计了扩散泵加热电炉下方采用可升降的托盘机构，这样当需要对扩散泵进行加热时将电炉盘升超贴近扩散泵底部，当需要对扩散泵进行冷却时将电炉降底离开底部，使得有保温材料的电炉盘的余热不再影响扩散泵的冷却降温，从而达到快速冷却扩散泵的作用。
5.一种电炉退热托盘，包括：
6.托盘架，在其上具有一供放置加热电炉的平台；
7.升降构件，其设置于托盘架下方，供驱使托盘架上下移动。
8.在一种实施例中，所述升降构件包括底座和转动设置于底座上的摆杆，所述底座上间隔设有若干轴套筒，所述托盘架下表面对应若干轴套筒配合设有若干导杆，所述摆杆一端活动抵接于托盘架下表面，所述摆杆另一端延伸至托盘架外侧。
9.在一种实施例中，所述底座上贯穿有供摆杆穿过的穿槽，所述底座上沿穿槽轴向对称间隔设有若干螺丝孔一，在其中一组螺丝孔一内通过螺丝可安装拆卸连接有供抵压摆杆的限位板。
10.在一种实施例中，所述摆杆供抵触托盘架的一端活动镶嵌有活动球体一。
11.在一种实施例中，所述轴套筒沿圆周均布贯穿有螺丝孔二，所述螺丝孔二内螺纹配合限位杆，所述限位杆位于轴套筒内腔一端活动镶嵌有供抵触导杆的活动球体二。
12.在一种实施例中，所述摆杆采用热绝缘材料。
13.综上所述，本实用新型相对于现有技术其有益效果是：
14.本实用新型结构简单，通过升降构件升降托盘架，这样当需要对扩散泵进行加热时将电炉盘随托盘架上升贴近扩散泵底部，当需要对扩散泵进行冷却时将电炉随托盘架下
降离开底部，使得有保温材料的电炉盘的余热不再影响扩散泵的冷却降温，从而达到快速冷却扩散泵的作用。
附图说明
15.图1为本实用新型一个实施例中一种电炉退热托盘的立体结构示意图之一；
16.图2为本实用新型一个实施例中一种电炉退热托盘的平面结构示意图；
17.图3为本实用新型一个实施例中一种电炉退热托盘的立体结构示意图之二。
具体实施方式
18.下面结合附图说明和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：
19.如图1至3所出示的，其本实用新型的实施例较佳地提供一种电炉退热托盘，包括：托盘架1，在其上具有一供放置加热电炉的平台2；升降构件，其设置于托盘架1下方，供驱使托盘架1上下移动。具体的，通过升降构件升降托盘架，这样当需要对扩散泵进行加热时将电炉盘随托盘架上升贴近扩散泵底部，当需要对扩散泵进行冷却时将电炉随托盘架下降离开底部，使得有保温材料的电炉盘的余热不再影响扩散泵的冷却降温，从而达到快速冷却扩散泵的作用。
20.所述升降构件包括底座3和转动设置于底座3上的摆杆4，所述底座3上间隔设有若干轴套筒5，所述托盘架1下表面对应若干轴套筒5配合设有若干导杆6，所述摆杆4一端活动抵接于托盘架1下表面，所述摆杆4另一端延伸至托盘架1外侧。具体的，通过按压摆杆远离托盘架的一端，以使摆杆位于托盘架下表面的一端向上移动，进而驱使托盘架沿轴套筒轴向向上移动实现升降。
21.进一步地，所述底座3上贯穿有供摆杆4穿过的穿槽7，所述底座3上沿穿槽7轴向对称间隔设有若干螺丝孔一8，在其中一组螺丝孔一8内通过螺丝可安装拆卸连接有供抵压摆杆4的限位板9。具体的，通过限位板螺丝紧固于底座上以使实现对摆杆的固定抵压，进而以保持托盘架上的电炉处于与扩散泵底部贴近的加热状态；且能通过限位板安装在不同位置实现调节托盘架上电炉相对底座的不同水平高度
22.在一种更佳的实施例中，所述摆杆4供抵触托盘架1的一端活动镶嵌有活动球体一。具体的，通过活动球体一以减少摆杆对托盘架底部的摩擦，且避免对托盘架底部造成磨损。
23.在一种更佳的实施例中，所述轴套筒5沿圆周均布贯穿有螺丝孔二10，所述螺丝孔二10内螺纹配合限位杆11，所述限位杆11位于轴套筒5内腔一端活动镶嵌有供抵触导杆6的活动球体二。具体的，通过限位杆与活动球体二的结合运用，以消除轴套筒与导杆之间因加工误差所产生的配合间隙，以避免托盘架的晃动而影响使用。
24.在一种更佳的实施例中，所述摆杆4采用热绝缘材料。
25.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征以及本实用新型的优点，本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种电炉退热托盘，其特征在于，包括：托盘架(1)，在其上具有一供放置加热电炉的平台(2)；升降构件，其设置于托盘架(1)下方，供驱使托盘架(1)上下移动。2.根据权利要求1所述的一种电炉退热托盘，其特征在于：所述升降构件包括底座(3)和转动设置于底座(3)上的摆杆(4)，所述底座(3)上间隔设有若干轴套筒(5)，所述托盘架(1)下表面对应若干轴套筒(5)配合设有若干导杆(6)，所述摆杆(4)一端活动抵接于托盘架(1)下表面，所述摆杆(4)另一端延伸至托盘架(1)外侧。3.根据权利要求2所述的一种电炉退热托盘，其特征在于：所述底座(3)上贯穿有供摆杆(4)穿过的穿槽(7)，所述底座(3)上沿穿槽(7)轴向对称间隔设有若干螺丝孔一(8)，在其中一组螺丝孔一(8)内通过螺丝可安装拆卸连接有供抵压摆杆(4)的限位板(9)。4.根据权利要求2所述的一种电炉退热托盘，其特征在于：所述摆杆(4)供抵触托盘架(1)的一端活动镶嵌有活动球体一。5.根据权利要求2所述的一种电炉退热托盘，其特征在于：所述轴套筒(5)沿圆周均布贯穿有螺丝孔二(10)，所述螺丝孔二(10)内螺纹配合限位杆(11)，所述限位杆(11)位于轴套筒(5)内腔一端活动镶嵌有供抵触导杆(6)的活动球体二。6.根据权利要求2所述的一种电炉退热托盘，其特征在于：所述摆杆(4)采用热绝缘材料。

技术总结
本实用新型公开的一种电炉退热托盘，其特征在于，包括：托盘架，在其上具有一供放置加热电炉的平台；升降构件，其设置于托盘架下方，供驱使托盘架上下移动。通过升降构件升降托盘架，这样当需要对扩散泵进行加热时将电炉盘随托盘架上升贴近扩散泵底部，当需要对扩散泵进行冷却时将电炉随托盘架下降离开底部，使得有保温材料的电炉盘的余热不再影响扩散泵的冷却降温，从而达到快速冷却扩散泵的作用。从而达到快速冷却扩散泵的作用。从而达到快速冷却扩散泵的作用。


技术研发人员：卢志坚 李素坤
受保护的技术使用者：中山晶通光学技术有限公司
技术研发日：2022.02.23
技术公布日：2022/10/13