一种半导体材料结晶炉的制作方法

本技术涉及半导体，具体为一种半导体材料结晶炉。

背景技术：

1、半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mω·cm～1gω·cm范围内)可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料，结晶意思是热的饱和溶液冷却后溶质因溶解度降低导致溶液过饱和，从而溶质以晶体的形式析出的过程。

2、传统的半导体材料结晶炉结构简单、功能单一，在经过长时间的加热处理后，炉内温度过高，冷却时间较长，导致再次进行工作时时间拉长，容易使得装置老化，在放取的时候使用锅钳去夹持结晶体材料，容易导致烫手误触，使用安全度降低。

3、为解决上述问题，经过检索，公告号为cn214485716u的专利公开一种半导体材料结晶炉，文中提出“将原料盛放在放置腔16内，通过加热室外壳5对原料进行加热，加热后转动转钮一11，使转钮一11带动转轴12和齿轮13转动，使挡块一14移动，脱离进水管3的底部，使水箱2的冷却水进入到冷却腔15内，对放置腔16进行冷却”虽然可对放置腔16进行快速冷却，但是水接触高温容易产生大量水蒸气，容易使得结晶炉内零件老化腐蚀，使用稳定性欠佳。

4、鉴于此，针对上述问题深入研究，遂有本案产生。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、本实用新型的目的在于提供一种半导体材料结晶炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体材料结晶炉，包括结晶炉本体，所述结晶炉本体的外壁固定连接有冷却水泵，所述冷却水泵的输出轴固定连接有冷却管道，所述冷却管道的一端固定连接有储水箱，所述储水箱的底部固定连接有输水管，所述输水管的外壁固定连接有冷却水泵，所述冷却管道的外壁固定连接有结晶炉本体，所述储水箱的顶部固定安装有进水管道。可以有效的利用水循环对结晶炉本体进行冷却，避免结晶炉工作结束温度过高，节省结晶炉冷却时间，保障设备各部件的及时降温，降低老化。

5、优选的，所述结晶炉本体的外壁固定连接有螺帽，所述螺帽的内壁螺纹连接有螺母，所述螺母的外壁螺纹连接有风箱，所述风箱的内壁固定连接有微型电机，所述微型电机的输出轴通过连轴器固定连接有扇叶，所述风箱的内壁固定开设有通风口。可以有效的进行空气交换，加快冷却速度，提升冷却管道的冷却效果，增加使用效率。

6、优选的，所述结晶炉本体的内壁固定连接有滑槽，所述滑槽的内壁滑动连接有滑块，所述滑块的外壁固定连接有底盘，所述底盘的外壁固定连接有炉门。可以便捷的将进过热处理的半导体材料结晶推送出结晶炉本体，便于进行后续夹持移动该结晶，增加使用安全性。

7、优选的，所述炉门的外壁固定连接有套杆，所述套杆的外壁滑动连接有套筒，所述套筒的外壁固定连接有结晶炉本体。可以对炉门进行支撑，增加炉门的稳定性，保障使用安全性。

8、优选的，所述套筒的顶部固定连接有卡块结构，所述卡块结构包括有连接块，所述连接块的内壁固定连接有凹型卡块，所述凹型卡块的内壁贴合连接有凸型卡块，所述凸型卡块的外壁固定连接有弹簧，所述凹型卡块的外壁贴合连接有连接箱，所述连接箱的内壁开设有限位槽，所述限位槽的内壁贴合连接有弹簧，所述连接块的外壁固定连接有炉门，所述连接箱的外壁固定连接有套筒。保障半导体材料结晶炉在工作时的稳定性，增加炉门和结晶炉本体连接牢和性，使用方法简单方便，增加实用性。

9、优选的，所述结晶炉本体的顶部固定连接有相同的二个卡块结构，所述卡块结构的底部固定安装在结晶炉本体的二侧。可以便捷的进行取放半导体结晶材料，避免遮挡取放途径。

10、优选的，所述风箱的外壁固定连接有限位块，所述结晶炉本体和风箱的夹缝中固定连接有冷却管道。避免风箱压迫冷却管道导致冷却管道的老化损坏，增加使用安全性。

11、(三)有益效果

12、与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体材料结晶炉，具备以下

13、有益效果：

14、1、该半导体材料结晶炉，通过的设置的结晶炉本体、冷却水泵、冷却管道、储水箱、输水管、进水管道，可以有效的利用水循环对结晶炉本体进行冷却，避免结晶炉工作结束温度过高，节省结晶炉冷却时间，保障设备各部件的及时降温，降低老化；

15、2、该半导体材料结晶炉，通过的设置的结晶炉本体、螺帽、螺母、风箱、微型电机、扇叶、通风口，可以有效的进行空气交换，加快冷却速度，提升冷却管道的冷却效果，增加使用效率；

16、3、该半导体材料结晶炉，通过的设置的结晶炉本体、滑槽、滑块、底盘、炉门，可以便捷的将进过热处理的半导体材料结晶推送出结晶炉本体，便于进行后续夹持移动该结晶，增加使用安全性。

技术特征：

1.一种半导体材料结晶炉，包括结晶炉本体(1)，其特征在于：所述结晶炉本体(1)的外壁固定连接有冷却水泵(4)，所述冷却水泵(4)的输出轴固定连接有冷却管道(2)，所述冷却管道(2)的一端固定连接有储水箱(5)，所述储水箱(5)的底部固定连接有输水管(20)，所述输水管(20)的外壁固定连接有冷却水泵(4)，所述冷却管道(2)的外壁固定连接有结晶炉本体(1)，所述储水箱(5)的顶部固定安装有进水管道(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述结晶炉本体(1)的外壁固定连接有螺帽(3)，所述螺帽(3)的内壁螺纹连接有螺母(14)，所述螺母(14)的外壁螺纹连接有风箱(9)，所述风箱(9)的内壁固定连接有微型电机(12)，所述微型电机(12)的输出轴通过连轴器固定连接有扇叶(13)，所述风箱(9)的内壁固定开设有通风口(10)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述结晶炉本体(1)的内壁固定连接有滑槽(16)，所述滑槽(16)的内壁滑动连接有滑块(15)，所述滑块(15)的外壁固定连接有底盘(17)，所述底盘(17)的外壁固定连接有炉门(7)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述炉门(7)的外壁固定连接有套杆(18)，所述套杆(18)的外壁滑动连接有套筒(19)，所述套筒(19)的外壁固定连接有结晶炉本体(1)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述套筒(19)的顶部固定连接有卡块结构(8)，所述卡块结构(8)包括有连接块(81)，所述连接块(81)的内壁固定连接有凹型卡块(82)，所述凹型卡块(82)的内壁贴合连接有凸型卡块(83)，所述凸型卡块(83)的外壁固定连接有弹簧(84)，所述凹型卡块(82)的外壁贴合连接有连接箱(85)，所述连接箱(85)的内壁开设有限位槽(86)，所述限位槽(86)的内壁贴合连接有弹簧(84)，所述连接块(81)的外壁固定连接有炉门(7)，所述连接箱(85)的外壁固定连接有套筒(19)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述结晶炉本体(1)的结晶炉本体(1)的顶部固定连接有相同的二个卡块结构(8)，所述卡块结构(8)的底部固定安装在结晶炉本体(1)的二侧。

7.根据权利要求2所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述风箱(9)的外壁固定连接有限位块(11)，所述结晶炉本体(1)和风箱(9)的夹缝中固定连接有冷却管道(2)。

技术总结
本技术涉及半导体技术领域，且公开了一种半导体材料结晶炉，包括结晶炉本体，所述结晶炉本体的外壁固定连接有冷却水泵，所述冷却水泵的输出轴固定连接有冷却管道，所述冷却管道的一端固定连接有储水箱，所述储水箱的底部固定连接有输水管，所述输水管的外壁固定连接有冷却水泵，所述冷却管道的外壁固定连接有结晶炉本体，所述储水箱的顶部固定安装有进水管道。该半导体材料结晶炉可以有效的利用水循环对结晶炉本体进行冷却，避免结晶炉工作结束温度过高，节省结晶炉冷却时间，保障设备各部件的及时降温，降低老化，可以便捷的将进过热处理的半导体材料结晶推送出结晶炉本体，便于进行后续夹持移动该结晶，增加使用安全性。

技术研发人员：胡海琴,曹旭锋,汪海燕,李建恒,朱思坤
受保护的技术使用者：铜陵安德科铭电子材料科技有限公司
技术研发日：20220831
技术公布日：2024/1/15