一种硼扩散工艺腔室炉门结构的制作方法

本技术涉及光伏电池制造，尤其是一种硼扩散工艺腔室炉门结构。

背景技术：

1、太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型清洁能源电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池，包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。太阳能光伏电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。在光伏电池的制备过程中，硼扩散炉是常用的发生反应的工艺炉体，其工艺腔室的四周内壁会在硼扩散中生成一层硼硅玻璃(b2o3)，在温度骤然下降后，工艺腔室表面的硼硅玻璃容易开裂和剥落；特别是现有硼扩散炉采用纯石英门，石英门的表面要承受大气压力和气缸关门力的双重作用，更易发生硼硅玻璃开裂和剥落的损坏。

技术实现思路

1、本申请人针对上述现有技术中采用纯石英门存在的石英门表面要承受大气压力和气缸关门力的双重作用，更易发生硼硅玻璃开裂和剥落的损坏等缺陷，提供了一种结构合理的硼扩散工艺腔室炉门结构，将连接板和石英隔热包连接成一个整体，与外炉门之间通过缓冲组件实现柔性连接，有效保护石英隔热包，防止石英隔热包破碎损坏。

2、本实用新型所采用的技术方案如下：

3、一种硼扩散工艺腔室炉门结构，包括外炉门、连接板和石英隔热包，外炉门对应位于炉腔管口外侧，连接板和石英隔热包位于外炉门的内侧，连接板和石英隔热包固定连接，外炉门和连接板之间通过缓冲组件弹性活动连接。

4、作为上述技术方案的进一步改进：

5、外炉门和炉腔管口对应的一侧表面通过喷涂工艺设有保护层。

6、保护层的厚度为0.1-0.5mm。

7、保护层为耐高温、耐腐蚀材料。

8、保护层为c原子层、si原子层或者氧化锆层。

9、外炉门的内侧面边缘开设有密封圈槽，密封圈槽内嵌设有密封圈，外炉门的内侧面边缘与炉腔管口对应密封接触配合。

10、外炉门为金属门，连接板为金属板。

11、缓冲组件的数量为两个以上，分布在外炉门的内侧。

12、缓冲组件包括弹簧和螺栓，螺栓的头部位于在连接板的内侧，杆部穿过连接板向外与外炉门的内侧面固定连接，弹簧套设在杆部上，且弹簧位于外炉门和连接板之间。

13、外炉门内设有水冷系统，通过外部液体进入外炉门循环冷却，实现降温效果。

14、石英隔热包朝向外炉门的一侧为环形筒状结构，环形筒状结构内设有卡槽，连接板固定安装在卡槽内，且与石英隔热包保持平行。

15、环形筒状结构具有伸出的筒口部，外炉门上开设有与筒口部对应的凹槽，筒口部位于凹槽内，且与凹槽之间存在间隙。

16、本实用新型的有益效果如下：

17、本实用新型将连接板和石英隔热包连接成一个整体，与外炉门之间通过缓冲组件实现柔性连接，有效保护石英隔热包，防止石英隔热包破碎损坏。外炉门和炉腔管口对应的一侧表面通过喷涂工艺设有保护层，有效隔绝工艺气体和外炉门的接触，避免外炉门对工艺腔室的污染。在对工艺腔室不产生污染的情况下，有效的隔绝酸性气体对金属门的腐蚀。

18、本实用新型通过把纯石英门改成水冷金属门，极大的提高的密封门使用寿命，常规纯石英门的使用寿命为3-6个月，水冷金属门的使用寿命为1-3年；同时水冷金属门结构易于加工，价格便宜，是同等尺寸纯石英门价格的2/3，这样能极大的降低使用成本。

技术特征：

1.一种硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：包括外炉门(1)、连接板(2)和石英隔热包(3)，外炉门(1)对应位于炉腔管口外侧，连接板(2)和石英隔热包(3)位于外炉门(1)的内侧，连接板(2)和石英隔热包(3)固定连接，外炉门(1)和连接板(2)之间通过缓冲组件(4)弹性活动连接。

2.根据权利要求1所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：外炉门(1)和炉腔管口对应的一侧表面通过喷涂工艺设有保护层。

3.根据权利要求2所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：保护层的厚度为0.1-0.5mm。

4.根据权利要求2所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：保护层为耐高温、耐腐蚀材料。

5.根据权利要求2所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：保护层为c原子层、si原子层或者氧化锆层。

6.根据权利要求1所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：外炉门(1)的内侧面边缘开设有密封圈槽，密封圈槽内嵌设有密封圈(5)，外炉门(1)的内侧面边缘与炉腔管口对应密封接触配合。

7.根据权利要求1所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：外炉门(1)为金属门，连接板(2)为金属板。

8.根据权利要求1所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：缓冲组件(4)的数量为两个以上，分布在外炉门(1)的内侧。

9.根据权利要求1所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：缓冲组件(4)包括弹簧和螺栓，螺栓的头部位于在连接板(2)的内侧，杆部穿过连接板(2)向外与外炉门(1)的内侧面固定连接，弹簧套设在杆部上，且弹簧位于外炉门(1)和连接板(2)之间。

10.根据权利要求1所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：外炉门(1)内设有水冷系统，通过外部液体进入外炉门(1)循环冷却，实现降温效果。

11.根据权利要求1所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：石英隔热包(3)朝向外炉门(1)的一侧为环形筒状结构，环形筒状结构内设有卡槽，连接板(2)固定安装在卡槽内，且与石英隔热包(3)保持平行。

12.根据权利要求11所述的硼扩散工艺腔室炉门结构，其特征在于：环形筒状结构具有伸出的筒口部，外炉门(1)上开设有与筒口部对应的凹槽，筒口部位于凹槽内，且与凹槽之间存在间隙。

技术总结
本技术公开了一种硼扩散工艺腔室炉门结构，包括外炉门、连接板和石英隔热包，外炉门对应位于炉腔管口外侧，连接板和石英隔热包位于外炉门的内侧，连接板和石英隔热包固定连接，外炉门和连接板之间通过缓冲组件弹性活动连接。本技术将连接板和石英隔热包连接成一个整体，与外炉门之间通过缓冲组件实现柔性连接，有效保护石英隔热包，防止石英隔热包破碎损坏。外炉门和炉腔管口对应的一侧表面通过喷涂工艺设有保护层，有效隔绝工艺气体和外炉门的接触，避免外炉门对工艺腔室的污染。

技术研发人员：陈庆敏,李丙科,张海洋
受保护的技术使用者：无锡松煜科技有限公司
技术研发日：20221125
技术公布日：2024/1/11