双凸齿平板硅片花篮的制作方法

本技术涉及硅片花篮领域，更具体地说，涉及双凸齿平板硅片花篮。

背景技术：

1、硅片花篮是在硅片加工过程中用来承载硅片的，简单的说，硅片是由硅锭切割而成，这时的硅片有很多杂质，需要清洗等工艺，这些工艺是把硅片放在花篮里，花篮就是一个载具。

2、在硅片完成清洗完成后，往往需要对硅片进行烘干操作，传统的硅片花篮为了保持硅片的放置稳定，都会设置挡板对硅片进行限制，从而造成硅片表面造成部分遮挡，影响烘干的全面性与烘干效率，硅片花篮的整体通风能力不足，导致烘干空气流通效果差，进一步降低烘干效果，影响硅片的生产效率。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供双凸齿平板硅片花篮。

2、为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

3、双凸齿平板硅片花篮，包括两个安装架，两个所述安装架之间安装有三个硅片齿排；

4、所述安装架上开设有通孔，所述硅片齿排的两端通过通孔与安装架连接，所述安装架上开设有均匀分布的通风口；

5、所述硅片齿排包含有两个不锈钢螺纹杆，两个所述不锈钢螺纹杆之间通过注塑方式包裹有双凸齿齿排，所述不锈钢螺纹杆的两端通过通孔延伸至两个所述安装架相背的一侧并螺纹连接有不锈钢螺丝。

6、作为上述技术方案的进一步描述：

7、所述双凸齿齿排包含有包裹部，所述包裹部包裹于不锈钢螺纹杆上，所述包裹部上一体成型有等距离排列的连接部，所述连接部上一体成型有两个对称设置的分隔齿。

8、作为上述技术方案的进一步描述：

9、所述分隔齿的截面形状为菱形，所述分隔齿与搁置硅片的接触处为菱角。

10、作为上述技术方案的进一步描述：

11、所述连接部的两侧均开设有通风槽，所述通风槽位于；两个分隔齿之间。

12、作为上述技术方案的进一步描述：

13、所述安装架上一体成型有均匀分布的加强条，所述加强条位于相邻的两个通风口之间。

14、相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

15、本方案，方便对硅片进行规整的放置整理，并避免硅片相互接触粘接，同时对硅片表面的遮挡较少，通风效果佳，方便对放置于硅片花篮内的硅片进行烘干工作，提高烘干效率与烘干效果，提升硅片的生产效率。

技术特征：

1.双凸齿平板硅片花篮，包括两个安装架(1)，其特征在于：两个所述安装架(1)之间安装有三个硅片齿排(2)；

2.根据权利要求1所述的双凸齿平板硅片花篮，其特征在于：所述双凸齿齿排(22)包含有包裹部(221)，所述包裹部(221)包裹于不锈钢螺纹杆(21)上，所述包裹部(221)上一体成型有等距离排列的连接部(222)，所述连接部(222)上一体成型有两个对称设置的分隔齿(223)。

3.根据权利要求2所述的双凸齿平板硅片花篮，其特征在于：所述分隔齿(223)的截面形状为菱形，所述分隔齿(223)与搁置硅片的接触处为菱角。

4.根据权利要求2所述的双凸齿平板硅片花篮，其特征在于：所述连接部(222)的两侧均开设有通风槽(224)，所述通风槽(224)位于；两个分隔齿(223)之间。

5.根据权利要求1所述的双凸齿平板硅片花篮，其特征在于：所述安装架(1)上一体成型有均匀分布的加强条(13)，所述加强条(13)位于相邻的两个通风口(12)之间。

技术总结
本技术公开了双凸齿平板硅片花篮，包括两个安装架，两个所述安装架之间安装有三个硅片齿排；所述安装架上开设有通孔，所述硅片齿排的两端通过通孔与安装架连接，所述安装架上开设有均匀分布的通风口；所述硅片齿排包含有两个不锈钢螺纹杆，两个所述不锈钢螺纹杆之间通过注塑方式包裹有双凸齿齿排，所述不锈钢螺纹杆的两端通过通孔延伸至两个所述安装架相背的一侧并螺纹连接有不锈钢螺丝。该技术，方便对硅片进行规整的放置整理，并避免硅片相互接触粘接，同时对硅片表面的遮挡较少，通风效果佳，方便对放置于硅片花篮内的硅片进行烘干工作，提高烘干效率与烘干效果，提升硅片的生产效率。

技术研发人员：张旭强,张剑侠,张曼曼
受保护的技术使用者：江苏国汇合瑞半导体材料有限公司
技术研发日：20221213
技术公布日：2024/1/12