一种密封装置、热炉及加工设备的制作方法

本发明涉及半导体加工，尤其涉及一种密封装置、热炉及加工设备。

背景技术：

1、在热炉设备中，为了确保热炉的密封性，通常会在炉管的一端设置密封装置，行业内较为常见的密封装置是端面密封。端面密封通常将密封圈设置在炉管的端面，通过法兰压紧在炉管的端面上。由于在实际工作过程中，炉门会对法兰进行挤压，这就容易导致密封圈受到的压力存在浮动，从而导致密封圈的使用寿命较短。与此同时，由于法兰直接将密封圈压紧在炉管端面上，需要确保密封圈以及炉管同轴设置，对安装要求较高，从而造成密封装置安装较为不便。

技术实现思路

1、本发明的第一目的在于提出一种密封装置，该密封装置的安装方便，且密封件的使用寿命长。

2、本发明的第二目的在于提出一种热炉，该热炉的密封性好，组装方便，且密封件的使用寿命长。

3、本发明的第三个目的在于提出一种加工设备，该加工设备的密封性好，组装方便，且密封件的使用寿命长。

4、为实现上述技术效果，本发明的技术方案如下：

5、本发明公开了一种密封装置，用于密封炉管，包括：第一法兰，所述第一法兰的一端伸入所述炉管内部；密封件，所述密封件套设于所述第一法兰伸入所述炉管的一端，且所述密封件抵接于所述炉管的内侧壁；压紧件，所述压紧件设于所述第一法兰，且所述压紧件用于向所述密封件施加朝向炉管方向的力。

6、在一些实施例中，所述第一法兰包括：配合面，所述配合面位于所述第一法兰与所述炉管配合的一端，所述配合面与所述炉管的轴向方向呈夹角设置；安装部，所述安装部形成于所述配合面靠近所述第一法兰的内侧壁的一侧，且沿所述第一法兰的轴向延伸设置，所述安装部远离所述配合面的一端伸入所述炉管内，所述密封件套设于所述安装部；其中：所述配合面形成有安装槽，所述安装槽用于收容所述压紧件。

7、在一些具体的实施例中，所述第一法兰还包括：止挡部，所述止挡部形成于所述安装部远离所述第一法兰(100)内侧壁的一侧，所述止挡部包括压紧侧壁，所述压紧侧壁位于所述止挡部靠近所述配合面的一侧；其中，所述压紧件位于所述配合面与所述止挡部之间，所述压紧件用于将所述密封件压紧于所述压紧侧壁。

8、在一些实施例中，所述密封装置还包括第一调节件，所述第一调节件穿过所述第一法兰且止抵于所述压紧件，所述第一调节件能够驱动所述压紧件压紧所述密封件。

9、在一些实施例中，所述密封装置还包括第二调节件，所述第二调节件穿过所述第一法兰，所述第二调节件能够带动所述压紧件朝向远离所述密封件的方向运动，以使得所述密封件回弹。

10、在一些实施例中，所述密封装置还包括第二法兰，所述第二法兰套设于所述炉管的外侧壁，且与所述第一法兰抵接，所述第二法兰具有避让所述压紧件的避让槽。

11、在一些具体的实施例中，所述密封装置还包括第三调节件，所述第三调节件与所述第一法兰相连，且所述第三调节件的一端穿过所述压紧件止抵于所述第二法兰；其中：所述第三调节件能够驱动所述第一法兰朝向远离所述第二法兰的方向运动。

12、在一些实施例中，所述压紧件为多个，每个所述压紧件靠近所述第一法兰的内侧壁的一面为弧形面，多个所述压紧件沿所述第一法兰的周向环绕设置。

13、在一些具体的实施例中，所述压紧件第一端设有拼接凸起，所述压紧件的第二端设有拼接凹槽，相邻的两个所述压紧件中，一个所述压紧件的第一端的所述拼接凸起能够插接于另一个所述压紧件的第二端的所述拼接凹槽内。

14、在一些实施例中，所述密封装置还包括防撞件，所述防撞件位于所述压紧件与所述炉管的端部之间，所述压紧件包括推挤部和压紧部，所述推挤部朝向所述炉管的一侧还设有配合槽，所述防撞件置于所述配合槽。

15、在一些具体的实施例中，所述第一法兰内限定出沿所述炉管周向延伸设置的第一冷却腔；和/或：所述第二法兰限定出沿所述炉管周向延伸设置的第二冷却腔。

16、在一些具体的实施例中，所述密封装置还包括固定板，所述固定板套设于所述炉管，所述第一法兰通过连接件与所述固定板相连，所述第二法兰相对设置的两侧分别止抵于所述第一法兰和所述固定板。

17、本发明还公开了一种热炉，包括前文所述的密封装置和炉管，所述密封装置用于对所述炉管密封形成反应腔。

18、本发明还公开了一种加工设备，包括前文所述的密封装置和炉管，所述密封装置用于对所述炉管密封形成反应腔，所述反应腔用于加工衬底。

19、本发明的密封装置的有益效果：由于密封件抵接于炉管的内侧壁，且压紧件能够将密封件压紧在第一法兰上，该密封装置采用了内径向密封的方式密封炉管，密封件受到的压紧力相对稳定，且第一法兰能够阻挡炉管内的热源通过光照辐射带来的高温热量，使得传递到密封件上的热量相对较少，使得密封件的工作温度相对较低，有利于延长密封件的使用寿命。于此同时，在实际组装过程中，先将压紧件和密封件套设在第一法兰上，然后将第一法兰安装到炉管上即可，组装非常方便。

20、本发明的热炉的有益效果：由于具有前文所述的密封装置，该热炉的密封性好，组装方便，且密封件的使用寿命长。

21、本发明的加工设备的有益效果：由于具有前文所述的密封装置，该热炉的密封性好，组装方便，且密封件的使用寿命长，衬底加工质量高。

22、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种密封装置，其用于密封炉管(10)，其特征在于，所述密封装置包括：

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述第一法兰(100)包括：

3.根据权利要求2所述的密封装置，其特征在于，所述第一法兰(100)还包括：

4.根据权利要求1-3中任一项所述的密封装置，其特征在于，所述密封装置还包括第一调节件(500)，所述第一调节件(500)穿过所述第一法兰(100)且止抵于所述压紧件(300)，所述第一调节件(500)能够驱动所述压紧件(300)压紧所述密封件(400)。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的密封装置，其特征在于，所述密封装置还包括第二调节件(600)，所述第二调节件(600)穿过所述第一法兰(100)，所述第二调节件(600)能够带动所述压紧件(300)朝向远离所述密封件(400)的方向运动，以使得所述密封件(400)回弹。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的密封装置，其特征在于，所述密封装置还包括第二法兰(200)，所述第二法兰(200)套设于所述炉管(10)的外壁，且与所述第一法兰(100)抵接，所述第二法兰(200)具有避让所述压紧件(300)的避让槽(210)。

7.根据权利要求6所述的密封装置，其特征在于，所述密封装置还包括第三调节件(700)，所述第三调节件(700)与所述第一法兰(100)相连，且所述第三调节件(700)的一端穿过所述压紧件(300)止抵于所述第二法兰(200)；其中：所述第三调节件(700)能够驱动所述第一法兰(100)朝向远离所述第二法兰(200)的方向运动。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的密封装置，其特征在于，所述压紧件的数量(300)为多个，每个所述压紧件(300)靠近所述第一法兰(100)的内侧壁的一面为弧形面，多个所述压紧件(300)沿所述第一法兰(100)的周向环绕设置。

9.根据权利要求8所述的密封装置，其特征在于，所述压紧件(300)的第一端设有拼接凸起(321)，所述压紧件(300)的第二端设有拼接凹槽，相邻的两个所述压紧件(300)中，一个所述压紧件(300)的第一端的所述拼接凸起(321)能够插接于另一个所述压紧件(300)的第二端的所述拼接凹槽内。

10.根据权利要求1-3中任一项所述的密封装置，其特征在于，所述密封装置还包括防撞件(800)，所述防撞件(800)位于所述压紧件(300)与所述炉管(10)的端部之间，所述压紧件(300)包括推挤部(310)和压紧部(320)，所述推挤部(310)朝向所述炉管(10)的一侧还设有配合槽(311)，所述防撞件(800)置于所述配合槽(311)。

11.根据权利要求6所述的密封装置，其特征在于，所述第一法兰(100)内限定出沿所述炉管(10)周向延伸设置的第一冷却腔(120)；和/或：所述第二法兰(200)限定出沿所述炉管(10)周向延伸设置的第二冷却腔(220)。

12.根据权利要求6所述的密封装置，其特征在于，所述密封装置还包括固定板(900)，所述固定板(900)套设于所述炉管(10)，所述第一法兰(100)通过连接件(1000)与所述固定板(900)相连，所述第二法兰(200)相对设置的两侧分别止抵于所述第一法兰(100)和所述固定板(900)。

13.一种热炉，其特征在于，包括如权利要求1-12中任一项所述的密封装置和炉管(10)，所述密封装置用于对所述炉管(10)密封形成反应腔。

14.一种加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-12中任一项所述的密封装置和炉管(10)，所述密封装置用于对所述炉管(10)密封形成反应腔，所述反应腔用于加工衬底。

技术总结
本发明公开了一种密封装置、热炉及加工设备，该炉管密封装置用于密封炉管,且包括第一法兰、密封件和压紧件，第一法兰的一端伸入炉管内部，密封件套设于第一法兰伸入炉管的一端，且密封件抵接于炉管的内侧壁，压紧件设于第一法兰，且压紧件用于向密封件施加朝向炉管方向的力。该密封装置的安装较为方便，且密封件的使用寿命较长。

技术研发人员：朱太荣,屈亚运,易术,肖阳,张武
受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15