一种用于扩散炉中的炉门结构及扩散炉的制作方法

本发明涉及光伏生产设备，尤其涉及一种管式扩散炉设备。

背景技术：

1、现有技术中的扩散炉主体包括加热炉,石英管腔体，石英管腔体前端设置炉口法兰，石英管腔体后端设置进气管与抽气管。当硅片载具与硅片被送入石英管腔体内部时，炉门从侧面移动过来与石英管腔体前端的炉口法兰贴紧，炉门与炉口法兰之间由炉门密封圈实现石英管腔体的密封。对于当前的扩散炉软着陆工艺设备，通常炉门采用石英材料或者金属材料。如果炉门采用石英材料，则炉门在对石英管腔体进行关门密封时，由于石英材质较脆，炉门在运动或者挤压过程中容易碎裂。如果炉门采用金属材料，则炉门关门以后，在进行高温扩散工艺时，金属杂质逸出会对石英管腔体内正在发生的扩散工艺造成污染。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题在于克服上述现有技术之不足，提供一种安装和拆卸更加简单、调节更加方便的用于扩散炉的炉门结构。

2、本发明所要解决的另一技术问题在于克服上述现有技术之不足，提供一种炉门安装和拆卸方便、安全可靠的扩散炉。

3、按照本发明提供的用于扩散炉的炉门结构，包括金属炉门、悬挂组件和热辐射阻挡件，所述金属炉门和所述热辐射阻挡件通过所述悬挂组件活动连接。

4、按照本发明提供的用于扩散炉的炉门结构还具有如下附属技术特征：

5、进一步包括，所述悬挂组件包括支撑板和多个调节支撑座，所述支撑板安装在所述热辐射阻挡件的外侧，所述支撑板上设置有多个卡槽，所述调节支撑座设置在所述金属炉门的内侧，所述调节支撑座与所述卡槽一一对应并活动连接。

6、进一步包括，所述支撑板的形状包括但不限于t字形、三角形或四边形。

7、进一步包括，所述卡槽的数量为两个、三个或四个，所述卡槽以所述支撑板的轴线为中心均匀排列或左右对称排列。

8、进一步包括，所述卡槽为半圆形状或葫芦孔形状。

9、进一步包括，所述调节支撑座包括中空底座、以及安装在所述中空底座内的顶板和底板，所述中空底座安装在所述金属炉门的内侧，所述顶板伸出所述中空底座，所述顶板和所述底板之间设置有调节弹簧，所述中空底座设置有一凸环，所述中空底座卡入所述卡槽中，所述凸环抵靠所述支撑板的内侧。

10、进一步包括，所述底板上安装有弹力调节螺钉，所述弹力调节螺钉调节所述底板与所述顶板之间的间距，从而调节所述调节弹簧的弹力。

11、进一步包括，所述顶板上设置有伸出调节螺钉和安装在所述伸出调节螺钉上的锁紧螺母，所述锁紧螺母突出于所述顶板，所述锁紧螺母顶靠在所述热辐射阻挡件上。

12、进一步包括，所述热辐射阻挡件外侧的边缘设置有多段限位挡边，相邻所述限位挡边之间设置有间隙，所述支撑板的外周部分结构沿所述间隙压入并转动与所述限位挡边相抵触，所述支撑板上安装有多个防转限位件，所述防转限位件用于阻止所述热辐射阻挡件与所述支撑板之间相互转动。

13、进一步包括，所述支撑板的内侧设置有多个弹性卡扣，所述弹性卡扣顶靠在所述热辐射阻挡件的限位挡边内部。

14、进一步包括，所述热辐射阻挡件包括石英制成的外壳和填充在所述外壳中的不透明耐高温材料。

15、进一步包括，所述金属炉门上设置有进气管，惰性气体经由所述进气管充入所述金属炉门与所述热辐射阻挡件之间的间隙空间。

16、按照本发明提供的一种扩散炉，包括加热炉、石英管腔体和位于所述石英管腔体端部的炉口法兰，所述炉口法兰处设置有炉门结构，所述炉门包括金属炉门、悬挂组件和热辐射阻挡件，所述金属炉门和所述热辐射阻挡件通过所述悬挂组件活动连接，所述热辐射阻挡件位于所述石英管腔体中，所述金属炉门紧靠在所述炉口法兰外侧。

17、进一步包括，所述金属炉门上设置有密封圈，所述金属炉门与所述炉口法兰由所述密封圈实现密封。

18、与现有技术相比，按照本发明提供的用于扩散炉的炉门结构及扩散炉具有如下优点：首先，本发明中的热辐射阻挡件悬挂在金属炉门上构成组合炉门结构，可以同时避免炉门采用石英材质易碎或采用金属材质会对扩散工艺造成污染。由于采用悬挂安装方式，热辐射阻挡件与金属炉门的安装和拆卸更加简单，调节更加方便。其次，本发明特殊设计的调节支撑座组件，可以调节热辐射阻挡件各个方向各个位置的缓冲力，也可以调节悬挂的热辐射阻挡件的姿态，在竖直方向上与金属炉门相互平行，防止热辐射阻挡件受挤压或碰撞而碎裂。

技术特征：

1.一种用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：包括金属炉门、悬挂组件和热辐射阻挡件，所述金属炉门和所述热辐射阻挡件通过所述悬挂组件活动连接。

2.如权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述悬挂组件包括支撑板和多个调节支撑座，所述支撑板安装在所述热辐射阻挡件的外侧，所述支撑板上设置有多个卡槽，所述调节支撑座设置在所述金属炉门的内侧，所述调节支撑座与所述卡槽一一对应并活动连接。

3.如权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述支撑板的形状包括但不限于t字形、三角形或四边形。

4.如权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述卡槽的数量为两个、三个或四个，所述卡槽以所述支撑板的轴线为中心均匀排列或左右对称排列。

5.如权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述卡槽为半圆形状或葫芦孔形状。

6.如权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述调节支撑座包括中空底座、以及安装在所述中空底座内的顶板和底板，所述中空底座安装在所述金属炉门的内侧，所述顶板伸出所述中空底座，所述顶板和所述底板之间设置有调节弹簧，所述中空底座设置有一凸环，所述中空底座卡入所述卡槽中，所述凸环抵靠所述支撑板的内侧。

7.如权利要求6所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述底板上安装有弹力调节螺钉，所述弹力调节螺钉调节所述底板与所述顶板之间的间距，从而调节所述调节弹簧的弹力。

8.如权利要求6所述的一种用于扩散炉中的炉门的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述顶板上设置有伸出调节螺钉和安装在所述伸出调节螺钉上的锁紧螺母，所述锁紧螺母突出于所述顶板，所述锁紧螺母顶靠在所述热辐射阻挡件上。

9.如权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述热辐射阻挡件外侧的边缘设置有多段限位挡边，相邻所述限位挡边之间设置有间隙，所述支撑板的外周部分结构沿所述间隙压入并转动与所述限位挡边相抵触，所述支撑板上安装有多个防转限位件，所述防转限位件用于阻止所述热辐射阻挡件与所述支撑板之间相互转动。

10.如权利要求9所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述支撑板的内侧设置有多个弹性卡扣，所述弹性卡扣顶靠在所述热辐射阻挡件的限位挡边内部。

11.如权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述热辐射阻挡件包括石英制成的外壳和填充在所述外壳中的不透明耐高温材料。

12.如权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构，其特征在于：所述金属炉门上设置有进气管，惰性气体经由所述进气管充入所述金属炉门与所述热辐射阻挡件之间的间隙空间。

13.一种扩散炉，包括加热炉、石英管腔体和位于所述石英管腔体端部的炉口法兰，所述炉口法兰处设置有炉门结构，其特征在于：所述炉门结构为上述权利要求1至11任一权利要求所述的炉门结构，所述热辐射阻挡件位于所述石英管腔体中，所述金属炉门位于所述炉口法兰外侧。

14.如权利要求13所述的扩散炉，其特征在于：所述金属炉门上设置有密封圈，所述金属炉门与所述炉口法兰由所述密封圈实现密封。

技术总结
本发明公开了一种用于扩散炉中的炉门结构及扩散炉，包括金属炉门、悬挂组件和热辐射阻挡件，所述金属炉门和所述热辐射阻挡件通过所述悬挂组件活动连接。本发明中的热辐射阻挡件悬挂在金属炉门上构成组合炉门结构，可以同时避免炉门采用石英材质易碎或采用金属材质会对扩散工艺造成污染。由于采用悬挂安装方式，热辐射阻挡件与金属炉门的安装和拆卸更加简单，调节更加方便。

技术研发人员：毛文瑞,陈程,浦锡伟
受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16