提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置的制作方法

本发明涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备的领域，尤其涉及提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置。

背景技术：

1、无论棉纺、化纤、纸张和包装等生产企业的测试环节，还是工业行业的精密加工领域，设备对工作环境的恒温恒湿稳定性都有极高的要求。以光刻机的应用为例，目前光刻机无论是在半导体芯片制造领域还是包装防伪领域都得到了广泛应用，但光刻机激光头极易受到工作环境温湿度波动的影响，会直接导致产品残次，为确保光刻机的正常工作，提高了光刻机生产的产品的成品率，内部温湿度环境稳定是不可或缺的。

2、热交换后的空气与热蒸汽混合之后通过送风设备，送入设备内部。

3、现有技术缺点：热交换后的空气在热蒸汽出口处开始混合，空气和热蒸汽的温度、湿度差异，使得混合后的气体对系统整体温湿度造成一定波动，使得设备温湿控制精度降低。

4、需解决的技术问题：尽可能减少空气和热蒸汽混合后给系统带来的温湿度波动，有效控制设备的温湿度精度。

技术实现思路

1、发明的目的：为了提供效果更好的提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置，具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。

2、为了达到如上目的，本发明采取如下技术方案：

3、提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置，其特征在于，该蒸汽导流装置安装于恒温恒湿设备的加湿补水箱的热蒸汽的出口位置，该出口位置包含基础板2，该基础板2的边沿通过安装边沿1安装在蒸汽口3，该基础板2伸出有高温蒸汽管道4，高温蒸汽管道4布置于空气混合的空间；

4、将温热交换后空气在热蒸汽出口处混合，延伸至送风口处混合，使得混合后的气体更快地进入风机；

5、将蒸汽导流装置底座固定在加湿补水箱上方，导流管伸至送风口位置；

6、高温蒸汽管道4与水箱平面夹角为15°因此能够防止冷凝水积压在导流管内无法回流至加湿补水箱内。

7、本发明进一步技术方案在于，高温蒸汽管道4的口部导向至混合物质的输入口。

8、本发明进一步技术方案在于，高温蒸汽管道4的口部的截面为斜切面5。

9、采用如上技术方案的本发明，相对于现有技术有如下有益效果：该蒸汽导流装置的增加可使原先的高精度湿度控制精度提升到0.35％rh，突破了目前市面常见的1％rh的精度范围，是湿度精度控制的跨越，更有效的保证了设备工作环境的稳定性，适用于对环境要求更高的精密设备。

技术特征：

1.提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置，其特征在于，该蒸汽导流装置安装于恒温恒湿设备的加湿补水箱的热蒸汽的出口位置，该出口位置包含基础板(2)，该基础板(2)的边沿通过安装边沿(1)安装在蒸汽口(3)，该基础板(2)伸出有高温蒸汽管道(4)，高温蒸汽管道(4)布置于空气混合的空间；

2.如权利要求1所述的提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置，其特征在于，高温蒸汽管道(4)的口部导向至混合物质的输入口。

3.如权利要求1所述的提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置，其特征在于，高温蒸汽管道(4)的口部的截面为斜切面(5)。

技术总结
本发明涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备的领域，尤其涉及提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置。该蒸汽导流装置安装于恒温恒湿设备的加湿补水箱的热蒸汽的出口位置，该出口位置包含基础板(2)，该基础板(2)的边沿通过安装边沿(1)安装在蒸汽口(3)，该基础板(2)伸出有高温蒸汽管道(4)，高温蒸汽管道(4)布置于空气混合的空间；将温热交换后空气在热蒸汽出口处混合，延伸至送风口处混合，使得混合后的气体更快地进入风机；将蒸汽导流装置底座固定在加湿补水箱上方，导流管伸至送风口位置；高温蒸汽管道(4)与水箱平面夹角为15°因此能够防止冷凝水积压在导流管内无法回流至加湿补水箱内。

技术研发人员：卢旭朝,李超,郑颖晨
受保护的技术使用者：西安稳能微电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1