一种碳化硅桨调节装置的制作方法

本技术涉及泛半导体及光伏的，特别是涉及一种碳化硅桨调节装置。

背景技术：

1、在工艺炉自动化生产的过程中，需要利用推舟桨(通常为碳化硅桨)将硅片载舟放入石英炉管内进行工艺过程，完成工艺过程后再将硅片载舟取出，若碳化硅桨空间对位不准确，或者硅片载舟在石英管内滑动，会导致碳化硅桨碰撞硅片载舟，进而导致设备出现故障，降低设备的使用效率，同时也会造成部分硅片可能出现返工报废的现象。

2、现有推舟模组的调节机构是使用支块和螺钉来调节改变桨的摆动位置，从而改变产品进入炉体位置，调节也不是很方便，当产品有侧翻的风险时只能上下调节。

技术实现思路

1、本实用新型针对现有技术的不足，本实用新型提供一种碳化硅桨调节装置，可以快速的调节好推舟桨的位置，方便产品能调节至合适的位置进入炉体，并且可有效防止产品的侧翻，降低调节时间增加设备使用时间提高生产效率。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是一种碳化硅桨调节装置，包括：用于承托产品的推舟桨、套设于推舟桨上的回转调节机构以及设置于推舟桨尾部的水平调节机构，水平调节机构包括左支架连接板、右支架连接板、设置于左支架连接板与右支架连接板之间的滑动板、与滑动板滑动连接的水平安装板以及设置于水平安装板上的拉块，所述水平安装板的前后两侧分别设置有前加强板、后加强板，所述后加强板上设置有驱动推舟桨上、下摆动的水平调节组件；所述回转调节机构包括设置于左支架连接板、右支架连接板之间的桨前托块、设置于桨前托块上方的托块连接板以及设置于桨前托块内的用于夹持推舟桨的夹持组件，所述桨前托块通过两根回转轴转动设置于左支架连接板和右支架连接板上，且可在水平调节机构的带动下沿所述回转轴俯仰摆动以调节合适的角度将产品送入炉体内。

3、在本实用新型一个较佳实施例中，所述水平安装板上设置有若干腰型孔，所述滑动板上设置有可在腰型孔内滑动的第一柱销。

4、在本实用新型一个较佳实施例中，所述第一柱销的数量与所述腰型孔数量一一对应。

5、在本实用新型一个较佳实施例中，所述拉块的侧边设置有可推动所述左支架连接板与右支架连接板左、右移动的推拉件。

6、在本实用新型一个较佳实施例中，所述拉块的侧边设置有三个通孔，所述推拉件包括穿过中间通孔的主销柱以及贯穿两边通孔的左销柱和右销柱，所述主销柱的前端与所述左支架连接板相连接。

7、在本实用新型一个较佳实施例中，所述水平调节组件包括套设于推舟桨尾部的上压紧块、下压紧块以及设置于上压紧块、下压紧块外周的外压紧块，所述上压紧块和下压紧块相结合并一体式地结合至所述推舟桨的外周，所述外压紧块与上压紧块、下压紧块之间设置有可驱动所述推舟桨上、下、左、右移动的销柱调节组件。

8、在本实用新型一个较佳实施例中，所述销柱调节组件包括设置于外压紧块左、右两侧的若干左定位销柱和右定位销柱以及设置于外压紧块上、下两侧的若干上定位销柱和下定位销柱。

9、在本实用新型一个较佳实施例中，所述夹持组件包括设置于桨前托块左、右两侧的侧调节块以及设置于桨前托块底面的下调节块，两组所述侧调节块的内侧设置有抱紧块，所述抱紧块与侧调节块之间设置有圆柱销且可环绕圆柱销实现左右的角度摆动。

10、在本实用新型一个较佳实施例中，所述桨前托块的侧面设置有下调节块挡板，所述回转轴上套设有深沟球轴承。

11、在本实用新型一个较佳实施例中，所述前加强板、后加强板之间设置有模组固定板。

12、本实用新型的有益效果是：通过回转轴以及调节块可快速调节桨的上下左右的摆动，可以快速的调节好推舟桨的位置，有利于准确对位，方便产品能调节至合适的位置进入炉体，并且可有效防止产品的侧翻，降低调节时间增加设备使用时间提高生产效率。

技术特征：

1.一种碳化硅桨调节装置，包括：用于承托产品的推舟桨、套设于推舟桨上的回转调节机构以及设置于推舟桨尾部的水平调节机构，其特征在于，所述水平调节机构包括左支架连接板、右支架连接板、设置于左支架连接板与右支架连接板之间的滑动板、与滑动板滑动连接的水平安装板以及设置于水平安装板上的拉块，所述水平安装板的前后两侧分别设置有前加强板、后加强板，所述后加强板上设置有驱动推舟桨上、下摆动的水平调节组件；所述回转调节机构包括设置于左支架连接板、右支架连接板之间的桨前托块、设置于桨前托块上方的托块连接板以及设置于桨前托块内的用于夹持推舟桨的夹持组件，所述桨前托块通过两根回转轴转动设置于左支架连接板和右支架连接板上，且可在水平调节机构的带动下沿所述回转轴俯仰摆动以调节合适的角度将产品送入炉体内。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅桨调节装置，其特征在于，所述水平安装板上设置有若干腰型孔，所述滑动板上设置有可在腰型孔内滑动的第一柱销。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅桨调节装置，其特征在于，所述第一柱销的数量与所述腰型孔数量一一对应。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅桨调节装置，其特征在于，所述拉块的侧边设置有可推动所述左支架连接板与右支架连接板左、右移动的推拉件。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅桨调节装置，其特征在于，所述拉块的侧边设置有三个通孔，所述推拉件包括穿过中间通孔的主销柱以及贯穿两边通孔的左销柱和右销柱，所述主销柱的前端与所述左支架连接板相连接。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅桨调节装置，其特征在于，所述水平调节组件包括套设于推舟桨尾部的上压紧块、下压紧块以及设置于上压紧块、下压紧块外周的外压紧块，所述上压紧块和下压紧块相结合并一体式地结合至所述推舟桨的外周，所述外压紧块与上压紧块、下压紧块之间设置有可驱动所述推舟桨上、下、左、右移动的销柱调节组件。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅桨调节装置，其特征在于，所述销柱调节组件包括设置于外压紧块左、右两侧的若干左定位销柱和右定位销柱以及设置于外压紧块上、下两侧的若干上定位销柱和下定位销柱。

8.根据权利要求1所述的一种碳化硅桨调节装置，其特征在于，所述夹持组件包括设置于桨前托块左、右两侧的侧调节块以及设置于桨前托块底面的下调节块，两组所述侧调节块的内侧设置有抱紧块，所述抱紧块与侧调节块之间设置有圆柱销且可环绕圆柱销实现左右的角度摆动。

9.根据权利要求8所述的一种碳化硅桨调节装置，其特征在于，所述桨前托块的侧面设置有下调节块挡板，所述回转轴上套设有深沟球轴承。

10.根据权利要求1所述的一种碳化硅桨调节装置，其特征在于，所述前加强板、后加强板之间设置有模组固定板。

技术总结
本技术公开了一种碳化硅桨调节装置，包括：推舟桨、回转调节机构及水平调节机构，水平调节机构包括左支架连接板、右支架连接板、滑动板、水平安装板及拉块，水平安装板的前后两侧分别设置有前加强板、后加强板，后加强板上设置有驱动推舟桨上、下摆动的水平调节组件；回转调节机构包括设置于左支架连接板、右支架连接板之间的桨前托块、托块连接板及夹持组件，桨前托块通过两根回转轴转动设置于左支架连接板和右支架连接板上，且可在水平调节机构的带动下沿回转轴俯仰摆动以调节合适的角度将产品送入炉体内，本技术可以快速的调节好推舟桨的位置，降低调节时间增加设备使用时间提高生产效率。

技术研发人员：崔鹏博,吴建芬,张宝锋,王玉明
受保护的技术使用者：苏州拓升智能装备有限公司
技术研发日：20230531
技术公布日：2024/1/15