一种石英管组件的制作方法

本技术涉及石英管，尤其涉及一种石英管组件。

背景技术：

1、在半导体制作中，半导体材料常放置于石英管中进行真空加热，因此需要耗费使用大量的高纯石英管。目前制作高纯石英管的材料高纯石英砂全部依赖于进口，呈一体式结构，密封真空加热完毕后，常采用敲碎方式取出高纯石英管内的半导体材料，石英管一次使用后便直接废弃，不能重复利用，造成了使用浪费，极大的提升了生产加工成本。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种石英管组件，呈分段式结构，能够循环使用，降低加工成本。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种石英管组件，包括：

4、第一管体，内部中空，且一端设有第一开口；

5、第二管体，内部中空，且两端各设有第二开口，所述第二管体一端的所述第二开口与所述第一开口正对；

6、连接件，能够连接所述第一开口和所述第二开口；

7、塞体，能够封堵所述第二管体另一端的所述第二开口。

8、可选地，所述连接件的一端与所述第一开口插装连接，另一端与所述第二开口插装连接。

9、可选地，所述连接件内插于所述第一开口和所述第二开口，所述第一开口外周与所述第二开口外周封焊连接。

10、可选地，所述连接件外插于所述第一开口和所述第二开口，所述第一开口外周与所述第二开口内周封焊连接。

11、可选地，所述连接件包括石英环。

12、可选地，所述第二管体设置有多个，相邻两个所述第二管体通过所述连接件连接。

13、可选地，所述塞体与所述第二开口的连接处封焊连接。

14、可选地，所述连接件的轴向长度范围为40mm-60mm。

15、可选地，所述塞体包括石英帽。

16、可选地，所述第一管体和所述第二管体的径向尺寸相等。

17、本实用新型的有益效果：

18、本实用新型的石英管组件为分段式结构，第一管体和第二管体间通过连接件拼装连接，待加工产品容放于第一管体和第二管体内，第一管体和第二管体间无需复杂的加工处理便可实现快速连接，待产品加工完毕后，第一管体和第二管体可回收重复使用，提升了第一管体和第二管体的重复利用率，降低了生产加工成本。

技术特征：

1.一种石英管组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的石英管组件，其特征在于，所述连接件(3)的一端与所述第一开口(11)插装连接，另一端与所述第二开口(21)插装连接。

3.根据权利要求2所述的石英管组件，其特征在于，所述连接件(3)内插于所述第一开口(11)和所述第二开口(21)，所述第一开口(11)外周与所述第二开口(21)外周封焊连接。

4.根据权利要求2所述的石英管组件，其特征在于，所述连接件(3)外插于所述第一开口(11)和所述第二开口(21)，所述第一开口(11)外周与所述第二开口(21)内周封焊连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的石英管组件，其特征在于，所述连接件(3)包括石英环。

6.根据权利要求1-4任一项所述的石英管组件，其特征在于，所述第二管体(2)设置有多个，相邻两个所述第二管体(2)通过所述连接件(3)连接。

7.根据权利要求1-4任一项所述的石英管组件，其特征在于，所述塞体(4)与所述第二开口(21)的连接处封焊连接。

8.根据权利要求1-4任一项所述的石英管组件，其特征在于，所述连接件(3)的轴向长度范围为40mm-60mm。

9.根据权利要求1-4任一项所述的石英管组件，其特征在于，所述塞体(4)包括石英帽。

10.根据权利要求1-4任一项所述的石英管组件，其特征在于，所述第一管体(1)和所述第二管体(2)的径向尺寸相等。

技术总结
本技术属于石英管技术领域，公开了一种石英管组件，包括第一管体、第二管体、连接件和塞体。第一管体内部中空，且一端设有第一开口；第二管体内部中空，且两端各设有第二开口，第二管体一端的第二开口与第一开口正对；连接件能够连接第一开口和第二开口；塞体能够封堵第二管体另一端的第二开口。该石英管组件为分段式结构，第一管体和第二管体间通过连接件拼装连接，待加工产品容放于第一管体和第二管体内，第一管体和第二管体间无需复杂的加工处理便可实现快速连接，待产品加工完毕后，第一管体和第二管体可回收重复使用，提升了第一管体和第二管体的重复利用率，降低了生产加工成本。

技术研发人员：陈成,穆怀慈,朱蓉辉,卢王威,李德亮,张珍珍
受保护的技术使用者：材料科学姑苏实验室
技术研发日：20230616
技术公布日：2024/1/15