一种新型的气体管道结构、高温退火设备的制作方法

本技术涉及光伏和半导体领域，具体涉及一种新型的气体管道结构、高温退火设备。

背景技术：

1、太阳能电池的制作是经过多道工序完成的，其中扩散氧化退火吸杂工序是不可或缺的一步。这个工艺的实现一般有两种方式：管式高温氧化退火吸杂和链式高温氧化退火吸杂。其中，链式高温氧化退火吸杂设备就是采用链式传输的方式，兼容不同尺寸电池片的生产，此设备结构是红外加热管的控温方式，但由于红外加热灯管处于长时间的工作状态，其使用寿命会下降，为此设计一种新型的气体管道结构、高温退火设备，来解决上述问题是必要的。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种新型的气体管道结构、高温退火设备，以解决上述问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型提供了一种新型的气体管道结构，包括：保护罩，所述保护罩内安装有加热灯管；以及

3、所述保护罩一端设置有进气接口；

4、所述保护罩底部开设有若干排气孔；其中

5、所述保护罩内适于通过进气接口通入工艺气体，并通过排气孔排出。

6、进一步地，所述排气孔沿所述保护罩的长度方向均匀开设。

7、进一步地，所述保护罩远离所述进气接口的一端设置有封闭件，所述封闭件与所述保护罩密封连接，且所述封闭件与所述加热灯管卡接。

8、进一步地，所述保护罩外壁设置有螺纹套，所述封闭件与所述螺纹套螺纹连接。

9、进一步地，所述螺纹套端部与所述封闭件之间设置有密封圈。

10、进一步地，所述封闭件内部设置有密封垫，所述密封垫与所述加热灯管密封连接，且所述密封垫设置在所述保护罩端部。

11、此外，本实用新型还提供了一种高温退火设备，包括若干上文中所示的气体管道结构，还包括：高温腔室，所述高温腔室顶部开设有若干安装孔，一个保护罩安装在一个安装孔内。

12、进一步地，所述高温腔室内阵列设置有若干传送辊。

13、相对于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：将工艺气体从原先直接通过管路将气体通入高温腔体内的方式，改为将气体通入保护罩内，以使工艺气体在保护罩内时，通过加热灯管进行预热，从而减少在高温腔室内开进气口，进而减少辅材的消耗。其次，工艺气体通过这种方式，在进气的同时能带走一部分加热灯管的热量，来延长加热灯管的使用寿命。

技术特征：

1.一种新型的气体管道结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的气体管道结构，其特征在于，

3.如权利要求1所述的气体管道结构，其特征在于，

4.如权利要求3所述的气体管道结构，其特征在于，

5.如权利要求4所述的气体管道结构，其特征在于，

6.如权利要求3所述的气体管道结构，其特征在于，

7.一种高温退火设备，包括若干如权利要求1-6任一项所述的气体管道结构，其特征在于，还包括：

8.如权利要求7所述的高温退火设备，其特征在于，

技术总结
本技术涉及光伏和半导体领域，具体涉及一种新型的气体管道结构、高温退火设备。本技术提供了一种新型的气体管道结构，包括：保护罩，所述保护罩内安装有加热灯管；以及所述保护罩一端设置有进气接口；所述保护罩底部开设有若干排气孔。将工艺气体从原先直接通过管路将气体通入高温腔体内的方式，改为将气体通入保护罩内，以使工艺气体在保护罩内时，通过加热灯管进行预热，从而减少在高温腔室内开进气口，进而减少辅材的消耗。其次，工艺气体通过这种方式，在进气的同时能带走一部分加热灯管的热量，来延长加热灯管的使用寿命。

技术研发人员：左国军,杜茂林,李晶晶,王锋,张凯,巩振江,尹丽英,赵俊
受保护的技术使用者：常州捷佳创精密机械有限公司
技术研发日：20230727
技术公布日：2024/2/25