一种探针卡烘干装置的制作方法

本技术涉及半导体设备，具体涉及一种探针卡烘干装置。

背景技术：

1、芯片测试探针卡是用于芯片引脚测试，当探针卡从硅片上释放后，由于表面有药剂、水渍，需要进行表面清洗，并且要进行烘干，然后才能进入下一道工序。而市场上的相关的烘干设备并非是专门针对探针卡进行烘干而设计的设备，存在着在烘干过程中由于温升过高过快，烘干风力过大，照成探针卡变形且烘干不均匀，烘干效果不很理想并且操作不便的问题。因此探针卡测试相关技术人员希望有一种新的装置对上述问题进行改善和解决。

技术实现思路

1、有鉴于此，提供一种探针卡烘干装置，其是专门针对探针卡进行烘干而开发的设备，且操作方便，极大地增强了用户使用的体验感。

2、一种探针卡烘干装置，所述探针卡烘干装置包括腔体、至少一组喷嘴机构、挂架、至少一组动力组件。

3、所述腔体为一端开口的中空壳体，所述喷嘴机构安装于所述腔体内侧面，所述动力组件安装于所述腔体内侧，所述喷嘴机构与所述动力组件连接，所述挂架放置于所述腔体内部中部位置，所述喷嘴机构能相对所述腔体上下移动，所述动力组件用于使所述喷嘴机构相对所述腔体上下移动。

4、所述喷嘴机构包括多个喷嘴，所述喷嘴机构连接有压缩空气管道，所述喷嘴与压缩空气管道连通以喷压缩空气。

5、所述挂架用于放置安装探针卡，所述喷嘴机构用于向挂架喷压缩空气以烘干所述探针卡。

6、优选地，所述喷嘴机构还包括基体、气压表和气体管路，多个所述喷嘴安装于所述基体朝向挂架一侧，所述基体通过所述气体管路与供气系统连接，所述基体具有气路通道，所述气路通道用于使所述气体管路的气体连通于多个所述喷嘴，多个所述喷嘴为雾状喷嘴，多个所述雾状喷嘴用于向探针卡喷出干燥气体。

7、所述气压表固定安装于所述腔体一侧，所述气压表与所述气体管路连通，所述气压表用于显示所述气体管路的气体气压。

8、在一些具体实施方案中，所述喷嘴机构还包括两组导柱组件，每组所述导柱组件包括导柱、直线轴承和两个连接座，所述导柱通过两个所述连接座固定连接于所述腔体，所述直线轴承固定安装于所述基体，所述导柱滑动穿于所述直线轴承，所述基体通过两组所述导柱组件能顺畅地滑动。

9、进一步地，所述喷嘴机构组数与所述动力组件组数相同，所述动力组件为伺服电机带动滚珠丝杠结构或伺服电机带动同步带结构。

10、进一步地，所述动力组件为伺服电机带动滚珠丝杠结构，所述动力组件包括伺服电机组件、支撑件和滚珠丝杠组件，所述支撑件固定安装于所述腔体内侧上部，所述伺服电机组件包括伺服电机和联轴器，滚珠丝杠组件包括丝杠和螺母，所述伺服电机固定安装于所述支撑件，所述伺服电机具有能旋转的电机轴，所述电机轴通过所述联轴器与所述丝杠固定连接，所述螺母安装于所述基体对应的安装孔柱中，所述丝杠螺旋旋转穿过所述螺母，所述基体能在所述动力组件驱动下上下移动。

11、优选地，所述挂架包括架体和多个夹子，所述架体具有多排和/或多列夹具结构，所述夹具结构两端分别安装一个所述夹子，所述夹具结构中间安装至少一个所述夹子，所述夹具结构两端安装的所述夹子用于夹住固定探针卡的两端，所述夹具结构中间安装的所述夹子用于夹住固定探针卡的中间。

12、优选地，所述探针卡烘干装置还包括排气扇，所述排气扇固定安装于所述腔体一侧，所述排气扇用于加快所述探针卡烘干装置中气体的空气流动。

13、具体地，所述喷嘴机构还包括至少一个极限感应开关，所述极限感应开关为行程开关或光电感应开关，所述极限感应开关可调整地固定安装于所述腔体内侧，所述极限感应开关用于感应所述基体移动的最大极限位置。

14、优选地，所述腔体安装有能开闭的腔体门，所述腔体门具有多个孔，多个所述孔用于所述探针卡烘干装置通风透气。

15、进一步地，所述探针卡烘干装置还包括控制组件，所述控制组件包括触摸显示屏和中央控制器，所述触摸显示屏安装于所述腔体外侧，所述中央控制器安装于所述腔体内侧，所述中央控制器具有线路与所述触摸显示屏、所述极限感应开关、所述排气扇、所述动力组件、所述气压表分别一一对应相互连接，所述中央控制器为单片机控制器或plc控制器。

16、上述探针卡烘干装置，其是为针对探针卡进行烘干而专门设计，其具有专门为烘干探针卡而设计的挂架，其喷嘴机构烘干时可上下移动，并且采用了雾状喷嘴，烘干基本无温升，且烘干气体轻柔喷出，这样达到了探针卡烘干均匀、烘干后不变形，且烘干质量好，并且操作方便的使用效果，具有广泛的应用前景。

技术特征：

1.一种探针卡烘干装置，其特征在于，所述探针卡烘干装置包括腔体、至少一组喷嘴机构、挂架、至少一组动力组件；

2.如权利要求1所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述喷嘴机构还包括基体、气压表和气体管路，多个所述喷嘴安装于所述基体朝向挂架一侧，所述基体通过所述气体管路与供气系统连接，所述基体具有气路通道，所述气路通道用于使所述气体管路的气体连通于多个所述喷嘴，多个所述喷嘴为雾状喷嘴，多个所述雾状喷嘴用于向探针卡喷出干燥气体；

3.如权利要求2所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述喷嘴机构还包括两组导柱组件，每组所述导柱组件包括导柱、直线轴承和两个连接座，所述导柱通过两个所述连接座固定连接于所述腔体，所述直线轴承固定安装于所述基体，所述导柱滑动穿于所述直线轴承，所述基体通过两组所述导柱组件能顺畅地滑动。

4.如权利要求2所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述喷嘴机构组数与所述动力组件组数相同，所述动力组件为伺服电机带动滚珠丝杠结构或伺服电机带动同步带结构。

5.如权利要求4所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述动力组件为伺服电机带动滚珠丝杠结构，所述动力组件包括伺服电机组件、支撑件和滚珠丝杠组件，所述支撑件固定安装于所述腔体内侧上部，所述伺服电机组件包括伺服电机和联轴器，滚珠丝杠组件包括丝杠和螺母，所述伺服电机固定安装于所述支撑件，所述伺服电机具有能旋转的电机轴，所述电机轴通过所述联轴器与所述丝杠固定连接，所述螺母安装于所述基体对应的安装孔柱中，所述丝杠螺旋旋转穿过所述螺母，所述基体能在所述动力组件驱动下上下移动。

6.如权利要求1所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述挂架包括架体和多个夹子，所述架体具有多排和/或多列夹具结构，所述夹具结构两端分别安装一个所述夹子，所述夹具结构中间安装至少一个所述夹子，所述夹具结构两端安装的所述夹子用于夹住固定探针卡的两端，所述夹具结构中间安装的所述夹子用于夹住固定探针卡的中间。

7.如权利要求4所述的探针卡烘干装置，其特征在于,所述探针卡烘干装置还包括排气扇，所述排气扇固定安装于所述腔体一侧，所述排气扇用于加快所述探针卡烘干装置中气体的空气流动。

8.如权利要求7所述的探针卡烘干装置，其特征在于,所述喷嘴机构还包括至少一个极限感应开关，所述极限感应开关为行程开关或光电感应开关，所述极限感应开关可调整地固定安装于所述腔体内侧，所述极限感应开关用于感应所述基体移动的最大极限位置。

9.如权利要求1所述的探针卡烘干装置，其特征在于,所述腔体安装有能开闭的腔体门，所述腔体门具有多个孔，多个所述孔用于所述探针卡烘干装置通风透气。

10.如权利要求8所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述探针卡烘干装置还包括控制组件，所述控制组件包括触摸显示屏和中央控制器，所述触摸显示屏安装于所述腔体外侧，所述中央控制器安装于所述腔体内侧，所述中央控制器具有线路与所述触摸显示屏、所述极限感应开关、所述排气扇、所述动力组件、所述气压表分别一一对应相互连接，所述中央控制器为单片机控制器或plc控制器。

技术总结
本技术涉及一种探针卡烘干装置，用于对探针卡进行烘干，所述探针卡烘干装置包括腔体、至少一组喷嘴机构、挂架、至少一组动力组件，所述腔体为一端开口的中空立方形壳体，所述动力组件安装于所述腔体内侧上方，所述喷嘴机构与所述动力组件连接，所述挂架放置于所述腔体内部中部位置，所述喷嘴机构可相对所述腔体上下移动，所述喷嘴机构包括多个喷嘴，所述喷嘴可喷压缩空气。所述挂架用于放置安装探针卡，所述喷嘴机构用于喷压缩空气烘干所述探针卡。该装置烘干均匀且烘干质量好，并且使用操作方便，从而体现了该探针卡烘干装置在性能上的优越性。

技术研发人员：颜烈刚,张海东,刘久源
受保护的技术使用者：道格特半导体科技（武汉）有限公司
技术研发日：20230817
技术公布日：2024/5/19