一种半导体设备用换热组件的制作方法

本发明涉及热回收，具体为一种半导体设备用换热组件。

背景技术：

1、热交换又称换热，热交换就是由于温差而引起的两个物体或同一物体各部分之间的热量传递过程，热交换一般通过热传导、热对流和热辐射三种方式来完成。

2、现有的热交换设备，由于长时间的运行并且加上部件的损耗以及磨损，容易导致冷却中的杂质过多出现冷却黏稠结块，在热交换管中容易堵塞，而且由于整个冷却循环设备较为复杂，难以拆卸清理，并且现有的热交换系统中的流体管道尺寸固定，不能根据热流的温度进行流量的调节，从而导致热交换效率和效果较差；

3、半导体在加工过程中需要保持恒温状态，传统的设备体积大，换热稳定性不足，可能会出现性能下降或故障等问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体设备用换热组件，解决了传统的热交换系统不具备调节和过滤，导致冷却效率低和冷却效果差的问题。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种半导体设备用换热组件，包括两组固定架和紧固螺栓，一组固定架的内侧设置有上夹板，另一组固定架的内侧设置有下夹板，上夹板和下夹板通过紧固螺栓与固定架进行连接，上夹板和下夹板的内侧设置有密封外壳，密封外壳的中部设置有热交换组件；

3、换热组件包括换热箱，换热箱内分围两层设置，换热箱内固定连接有多组换热板，换热箱的两侧分别贯通连接有第一贯通管和第二贯通管，换热箱内的其中一层内连接有厂务水冷却水，且换热箱连接有厂务水冷却水的一层与第一贯通管贯通设置，换热箱内的另一层填充有循环液，且换热箱填充循环液的一层与第二贯通管贯通设置；相邻的两个换热箱之间连接有加热板；其中换热箱有多组，相邻的两组换热箱的第一贯通管与第二贯通管分别对应串联设置；

4、上夹板的顶端设置有散热顶盖，散热顶盖的内侧设置有过滤组件，固定架的顶部设置有连接头，固定架的顶部设置有交换头，连接头的顶部设置有循环泵，循环泵与过滤组件固定连接，交换头与热交换组件高度连接。

5、进一步地，密封外壳的中部开设有第一空腔和第二空腔，第一空腔的内壁设置有分流管，分流管的一端与循环泵固定连接，分流管的另一端与第一贯通管贯通连接第二贯通管，换热箱固定连接在第二空腔内。

6、进一步地，热交换组件还包括检测头、热源管和限流片，热源管设置在第一空腔的内壁，检测头设置在热源管的一端，热源管的另一端与第二贯通管连接，限流片设置在检测头的内侧壁。

7、进一步地，热交换组件还包括导流腔、安装座和阻流片，导流腔开设在热源管的中部，安装座设置在限流片的内侧壁，阻流片活动安装在安装座的内侧。

8、进一步地，限流片与检测头连通设置，安装座的表面开设有通孔，阻流片呈螺旋设置且表面光滑，其中热源管和阻流片均采用金属铜制作而成。

9、进一步地，过滤组件包括滤筒、滤液腔和卡槽，滤筒设置在散热顶盖的内侧，滤液腔开设在滤筒的中部，卡槽开设在滤筒的外侧。

10、进一步地，过滤组件还包括方形插孔一、方形插孔二和套环，方形插孔一在卡槽的内侧壁，方形插孔二开设在卡槽的内侧壁，其中方形插孔一和方形插孔二对称设置，套环套接在卡槽的内侧壁，其中套环的内直径与滤筒的外直径适配。

11、进一步地，过滤组件还包括喷头、阀体和循环管，存储腔存储腔开设在套环的中部，阀体设置在套环的内侧壁，喷头设置在套环的内侧壁，其中喷头和阀体对称设置，循环管设置在套环的外侧，存储腔的内侧壁设置有金属拦截片；

12、循环管的一端与滤液腔连通，阀体和滤液腔均与滤液腔连通，循环管的另一端与循环泵固定连接。

13、进一步地，过滤组件还包括转轴、滤片、滤框，转轴活动安装在滤液腔的内底壁，滤片活动安装在转轴的外侧，滤框设置在滤片的外侧。

14、本发明具有以下有益效果：

15、（1）本发明通过多组换热箱串联的设置能够同时保障厂务冷却水以及循环液的流通，当某一组换热箱出现损坏时，该换热系统组件依然能正常换热作业，同一组换热箱之间设置的加热板能够对循环液进行加热，保证半导体在加工过程中处于恒定温度，同时还能够节约安装体积。

16、（2）本发明通过对循环泵进行通电使其处于运行状态来对第一空腔内部的冷却进行抽取，经过分流管抽取的冷却液通过循环管流动到套环和滤筒中，经过过滤的冷却液再通过另一组循环管排放至分流管，并且从分流管外侧的排放口排放至第一空腔的内部，其中冷却液在经过循环管、套环以及滤筒的时候，将部分热量通过空气进行传导，从而完成热量的交换并且达到对冷却液过滤的效果。

17、（3）本发明通过在热源管的中部开设导流腔用来对流动液体进行导流，其中安装座用来安装阻流片，阻流片用来对流动的流动液体进行阻碍使其沿着阻流片的表面流动，并且将阻流片进行驱动使其发生自转来对流动液体进行搅拌，使其温度得到均匀的交换。

技术特征：

1.一种半导体设备用换热组件，包括两组固定架（1）和紧固螺栓（4），其特征在于：一组固定架（1）的内侧设置有上夹板（2），另一组固定架（1）的内侧设置有下夹板（5），上夹板（2）和下夹板（5）通过紧固螺栓（4）与固定架（1）进行连接，上夹板（2）和下夹板（5）的内侧设置有密封外壳（3），密封外壳（3）的中部设置有热交换组件;

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用换热组件，其特征在于：密封外壳（3）的中部开设有第一空腔（9）和第二空腔（90），第一空腔（9）的内壁设置有分流管（10），分流管（10）的一端与循环泵（6）固定连接，分流管（10）的另一端与第一贯通管（303）贯通连接第二贯通管（305），换热箱（301）固定连接在第二空腔（90）内。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备用换热组件，其特征在于：热交换组件还包括检测头（26）、热源管（11）和限流片（27），热源管（11）设置在第一空腔（9）的内壁，检测头（26）设置在热源管（11）的一端，热源管（11）的另一端与第二贯通管（305）连接，限流片（27）设置在检测头（26）的内侧壁。

4.根据权利要求3所述的一种半导体设备用换热组件，其特征在于：热交换组件还包括导流腔（30）、安装座（28）和阻流片（29），导流腔（30）开设在热源管（11）的中部，安装座（28）设置在限流片（27）的内侧壁，阻流片（29）活动安装在安装座（28）的内侧。

5.根据权利要求4所述的一种半导体设备用换热组件，其特征在于：限流片（27）与检测头（26）连通设置，安装座（28）的表面开设有通孔，阻流片（29）成螺旋设置且表面光滑，其中热源管（11）和阻流片（29）均采用金属铜制作而成。

6.根据权利要求1所述的一种半导体设备用换热组件，其特征在于：过滤组件包括滤筒（15）、滤液腔（24）和卡槽（18），滤筒（15）设置在散热顶盖（12）的内侧，滤液腔（24）开设在滤筒（15）的中部，卡槽（18）开设在滤筒（15）的外侧。

7.根据权利要求6所述的一种半导体设备用换热组件，其特征在于：过滤组件还包括方形插孔一（17）、方形插孔二（19）和套环（14），方形插孔一（17）在卡槽（18）的内侧壁，方形插孔二（19）开设在卡槽（18）的内侧壁，其中方形插孔一（17）和方形插孔二（19）对称设置，套环（14）套接在卡槽（18）的内侧壁，其中套环（14）的内直径与滤筒（15）的外直径适配。

8.根据权利要求7所述的一种半导体设备用换热组件，其特征在于：过滤组件还包括喷头（22）、阀体（23）和循环管（13），存储腔（21）存储腔（21）开设在套环（14）的中部，阀体（23）设置在套环（14）的内侧壁，喷头（22）设置在套环（14）的内侧壁，其中喷头（22）和阀体（23）对称设置，循环管（13）设置在套环（14）的外侧，存储腔（21）的内侧壁设置有金属拦截片；

9.根据权利要求6所述的一种半导体设备用换热组件，其特征在于：过滤组件还包括转轴（16）、滤片（20）和滤框（25），转轴（16）活动安装在滤液腔（24）的内底壁，滤片（20）活动安装在转轴（16）的外侧，滤框（25）设置在滤片（20）的外侧。

技术总结
本发明公开了一种半导体设备用换热组件，涉及半导体组件技术领域，包括两组固定架和紧固螺栓，一组固定架的内侧设置有上夹板，另一组固定架的内侧设置有下夹板，上夹板和下夹板通过紧固螺栓与固定架进行连接，紧固螺栓贯穿下夹板和上夹板以及设置，通过对循环泵进行通电使其处于运行状态来对第一空腔内部的冷却进行抽取，经过分流管抽取的冷却液通过循环管流动到套环和滤筒中，经过过滤的冷却液再通过另一组循环管排放至分流管，并且从分流管外侧的排放口排放至第一空腔的内部，冷却液再经过循环管、套环以及滤筒的时候，将部分热量通过空气进行传导，完成热量的交换并且达到对冷却液过滤的效果。

技术研发人员：张斌,曹亚峰,赵宗龙,石明来
受保护的技术使用者：安徽优睿半导体技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/7/4